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    • 6. 发明专利
    • 用於在移動基板上形成多晶材料之沉積裝置 DEPOSITION APPARATUS FOR THE FORMATION OF POLYCRYSTALLINE MATERIALS ON MOBILE SUBSTRATES
    • 用于在移动基板上形成多晶材料之沉积设备 DEPOSITION APPARATUS FOR THE FORMATION OF POLYCRYSTALLINE MATERIALS ON MOBILE SUBSTRATES
    • TW200732493A
    • 2007-09-01
    • TW095134503
    • 2006-09-19
    • 力能轉換裝置公司 ENERGY CONVERSION DEVICES, INC
    • 史丹佛 OVSHINSKY, STANFORD R.
    • C23C
    • C23C16/24C23C16/545H01L27/1214H01L29/78603
    • 用於在一移動的分離或連續之捲式基材上連續沉積一多晶材料(例如多晶矽或多晶矽鍺)層之沉積裝置及方法。裝置包括一供應單元,用於分配一分離或連續之捲式基材,及一沉積單元,接收分離或連續之捲式基材,並在一或多個連續的沉積或處理室中於其上沉積一或多層連續的薄膜層。在一較佳的實施例中,多晶矽經由使用PECVD首先沉積一非晶或微晶矽層,並透過以一或多個雷射、燈、火爐、或其他熱源加熱或退火將該層轉換成多晶矽來形成。利用脈衝式準分子之雷射退火為一較佳的實施例。經由控制處理溫度、非晶或微晶矽層等內部之溫度分布,本沉積裝置提供對多晶矽之晶粒尺寸之控制。多晶矽之保護透過氫電漿之處理而發生。多晶矽鍺層可以類似的方法加以形成。本沉積裝置為包括多晶材料(例如多晶矽及/或多晶矽鍺)之電子裝置及結構之連續沉積提供必要條件。代表性裝置包括光生伏打裝置及薄膜電晶體。本沉積裝置亦供單獨的或與其他金屬、絕緣、及/或半導體層結合的硫屬化合物開關或記憶體材料之連續沉積。
    • 用于在一移动的分离或连续之卷式基材上连续沉积一多晶材料(例如多晶硅或多晶硅锗)层之沉积设备及方法。设备包括一供应单元,用于分配一分离或连续之卷式基材,及一沉积单元,接收分离或连续之卷式基材,并在一或多个连续的沉积或处理室中于其上沉积一或多层连续的薄膜层。在一较佳的实施例中,多晶硅经由使用PECVD首先沉积一非晶或微晶硅层,并透过以一或多个激光、灯、火炉、或其他热源加热或退火将该层转换成多晶硅来形成。利用脉冲式准分子之激光退火为一较佳的实施例。经由控制处理温度、非晶或微晶硅层等内部之温度分布,本沉积设备提供对多晶硅之晶粒尺寸之控制。多晶硅之保护透过氢等离子之处理而发生。多晶硅锗层可以类似的方法加以形成。本沉积设备为包括多晶材料(例如多晶硅及/或多晶硅锗)之电子设备及结构之连续沉积提供必要条件。代表性设备包括光生伏打设备及薄膜晶体管。本沉积设备亦供单独的或与其他金属、绝缘、及/或半导体层结合的硫属化合物开关或内存材料之连续沉积。