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81. 发明专利

TW201326806A 管形濺鍍靶材檢測機構审中-公开
简体标题：管形溅镀靶材检测机构
公开(公告)号：TW201326806A
公开(公告)日：2013-07-01
申请号：TW100147670
申请日：2011-12-21
申请人：光洋應用材料科技股份有限公司 , SOLAR APPLIED MATERIALS TECHNOLOGY CORP.
发明人：馬勝義 , MA, SHENG I , 李傳祥 , LEE, CHUAN HSIANG , 周信君 , CHOU, HSIN JYUN , 李永春 , LEE, YUNG CHUN , 鍾政賢 , CHUNG, CHENG HSIEN
IPC分类号： G01N29/04 , C23C14/34
摘要：本發明是一種管形濺鍍靶材檢測機構，其主要係以一載具的基座上所設之二防水套管用以相對夾持管形濺鍍靶材，且能自防水套管上的注液口對管形濺鍍靶材之內襯管內部注入耦合液，使耦合液於內襯管內部之下段達預定液位高度，基座上設有靶材旋轉驅動裝置，用以驅動管形濺鍍靶材旋轉，並設有一由檢測車驅動裝置驅動的檢測車自防水套管內部與管形濺鍍靶材之內襯管內部之間來回移動，檢測車底部之超音波檢測器可伸入內襯管內部下段的耦合液中對管形濺鍍靶材進行超音波檢測，藉此，避免管形濺鍍靶材設於內襯管外周面之靶材於檢測過程中與水接觸而導致氧化之問題，使其可適用於無法浸水的靶材。
简体摘要：本发明是一种管形溅镀靶材检测机构，其主要系以一载具的基座上所设之二防水套管用以相对夹持管形溅镀靶材，且能自防水套管上的注液口对管形溅镀靶材之内衬管内部注入耦合液，使耦合液于内衬管内部之下段达预定液位高度，基座上设有靶材旋转驱动设备，用以驱动管形溅镀靶材旋转，并设有一由检测车驱动设备驱动的检测车自防水套管内部与管形溅镀靶材之内衬管内部之间来回移动，检测车底部之超音波检测器可伸入内衬管内部下段的耦合液中对管形溅镀靶材进行超音波检测，借此，避免管形溅镀靶材设于内衬管外周面之靶材于检测过程中与水接触而导致氧化之问题，使其可适用于无法浸水的靶材。

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