会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 90. 发明专利
    • 半導體光元件之製造方法 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR OPTICAL DEVICE
    • 半导体光组件之制造方法 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR OPTICAL DEVICE
    • TWI370596B
    • 2012-08-11
    • TW097106453
    • 2008-02-25
    • 三菱電機股份有限公司
    • 阿部真司
    • H01S
    • H01S5/22B82Y20/00H01S5/0202H01S5/028H01S5/162H01S5/2009H01S5/2214H01S5/34333
    • 【課題】藉由簡單步驟,製造在GaN系材料之LD中具
      有COD耐性高之窗構造的LD。
      【解決手段】包含:將包含在n-GaN基板12上依序疊層
      有分別由GaN系材料所形成的緩衝層14、第1n-被覆層16、第2n-被覆層18、第3n-被覆層20、n側光導引層22、屬於量子井構造的活性層26、及p側SCH層28、電子障壁層30、p側光導引層32、p-被覆層34及接觸層36,而形成半導體疊層構造55的步驟;將包含半導體疊層構造55的半導體晶圓劈開而使半導體疊層構造55之劈開端面58露出的步驟;以及在所露出之劈開端面上形成SiO2膜60而藉由根據既定之熱處理的Ga空孔擴散,將活性層26予以無秩序化的步驟。
    • 【课题】借由简单步骤,制造在GaN系材料之LD中具 有COD耐性高之窗构造的LD。 【解决手段】包含:将包含在n-GaN基板12上依序叠层 有分别由GaN系材料所形成的缓冲层14、第1n-被覆层16、第2n-被覆层18、第3n-被覆层20、n侧光导引层22、属于量子井构造的活性层26、及p侧SCH层28、电子障壁层30、p侧光导引层32、p-被覆层34及接触层36,而形成半导体叠层构造55的步骤;将包含半导体叠层构造55的半导体晶圆噼开而使半导体叠层构造55之噼开端面58露出的步骤;以及在所露出之噼开端面上形成SiO2膜60而借由根据既定之热处理的Ga空孔扩散,将活性层26予以无秩序化的步骤。