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    • 81. 发明专利
    • 佈線板及其製造方法
    • 布线板及其制造方法
    • TW200637440A
    • 2006-10-16
    • TW095102582
    • 2006-01-24
    • 新光電氣工業股份有限公司 SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
    • 野村智弘 TOMOHIRO NOMURA阿部和則 KAZUNORI ABE
    • H05KH01L
    • (課題)本發明係提供一種能夠高精度地形成連接到半導體元件之電極端子的凸部,即使以極高的密度形成配線圖案時,也能夠防止產生電性短路,且可靠度高的佈線板。(解決手段)在基板12之其中一面形成有配線圖案14,且形成有與形成在該配線圖案14之內側導線14a電性連接,而接合到半導體元件之電極端子之凸部30的佈線板40之製造方法,對在其中一面形成有配線圖案14的基板2,從基板12的另一面實施雷射加工,而在基板形成讓上述配線圖案露出在內端面的凹洞12a,對上述基板12實施電解電鍍,藉由讓電鍍層於上述凹洞12a堆積,而形成端面從上述基板12的另一面突出的凸部(bump)30。
    • (课题)本发明系提供一种能够高精度地形成连接到半导体组件之电极端子的凸部,即使以极高的密度形成配线图案时,也能够防止产生电性短路,且可靠度高的布线板。(解决手段)在基板12之其中一面形成有配线图案14,且形成有与形成在该配线图案14之内侧导线14a电性连接,而接合到半导体组件之电极端子之凸部30的布线板40之制造方法,对在其中一面形成有配线图案14的基板2,从基板12的另一面实施激光加工,而在基板形成让上述配线图案露出在内端面的凹洞12a,对上述基板12实施电解电镀,借由让电镀层于上述凹洞12a堆积,而形成端面从上述基板12的另一面突出的凸部(bump)30。
    • 84. 发明专利
    • 具有超細微圖案之佈線基板的製造方法以及佈線基板 PRODUCTION METHOD OF WIRING SUSTRATE HAVING ULTRA-FINE PATTERN, AND WIRING SUBSTRATE
    • 具有超细微图案之布线基板的制造方法以及布线基板 PRODUCTION METHOD OF WIRING SUSTRATE HAVING ULTRA-FINE PATTERN, AND WIRING SUBSTRATE
    • TW200607419A
    • 2006-02-16
    • TW094118551
    • 2005-06-06
    • 新光電氣工業股份有限公司 SHINKO ELECTRIC INDUSTRIES CO., LTD.
    • 田中秀一 TANAKA, SHUICHI小林和貴 KOBAYASHI, KAZUTAKA
    • H05K
    • H05K3/108H05K2201/0341H05K2203/0384H05K2203/073
    • 為了使用一半加成方法製造一佈線基板,本發明提供一佈線基板的製造方法,以及一佈線基板,該方法在基底蝕刻期間抑制一電解銅電鍍層之底切的形成,而可達到具有25/25微米或更低或進一步為10/10微米或更低之超細微佈線。當製造一佈線基板時,本發明之方法包含了以下步驟:在一由樹脂製成且具有電絕緣特性之基板表面施予一無電式銅電鍍以形成一無電式銅電鍍層;施予一部份曝現之阻抗層圖案用以在該無電式銅電鍍層之表面形成一佈線圖案;電鍍不同於銅之金屬或包含至少一種該等金屬之合金至該曝現之部份以形成一蝕刻障蔽電鍍層;電鍍一蝕刻障蔽金屬以形成一蝕刻障蔽金屬電鍍層;在該蝕刻障蔽金屬電鍍層之表面施予電解銅電鍍以形成一佈線,該佈線具有一傳導層,該傳導層包括一無電式銅電鍍層、該蝕刻障蔽金屬電鍍層及該電解銅電鍍層;移除該阻抗圖案;且蝕刻及移除曝現於該表面之該無電式銅電鍍層以形成一佈線圖案。
    • 为了使用一半加成方法制造一布线基板,本发明提供一布线基板的制造方法,以及一布线基板,该方法在基底蚀刻期间抑制一电解铜电镀层之底切的形成,而可达到具有25/25微米或更低或进一步为10/10微米或更低之超细微布线。当制造一布线基板时,本发明之方法包含了以下步骤:在一由树脂制成且具有电绝缘特性之基板表面施予一无电式铜电镀以形成一无电式铜电镀层;施予一部份曝现之阻抗层图案用以在该无电式铜电镀层之表面形成一布线图案;电镀不同于铜之金属或包含至少一种该等金属之合金至该曝现之部份以形成一蚀刻障蔽电镀层;电镀一蚀刻障蔽金属以形成一蚀刻障蔽金属电镀层;在该蚀刻障蔽金属电镀层之表面施予电解铜电镀以形成一布线,该布线具有一传导层,该传导层包括一无电式铜电镀层、该蚀刻障蔽金属电镀层及该电解铜电镀层;移除该阻抗图案;且蚀刻及移除曝现于该表面之该无电式铜电镀层以形成一布线图案。