会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 74. 发明专利
    • 用於表面電漿處理之裝置及以電漿處理表面之方法
    • 用于表面等离子处理之设备及以等离子处理表面之方法
    • TW201628047A
    • 2016-08-01
    • TW104134297
    • 2015-10-20
    • 特薩股份有限公司TESA SE
    • 海納爾 馬西爾HAEHNEL, MARCEL
    • H01J37/32
    • H01J37/32568B05D3/144B29C59/14C09J5/02H01J37/3244H01J37/32541H01J2237/3322H01J2237/336H05H1/2406H05H2001/2418H05H2001/2431
    • 一種用於表面(2)電漿處理之裝置具有一第一電極(4)和一第二電極(7),和一在該第一電極(4)與該第二電極(7)之間的交流電壓電源(6),及一至少在該第一電極(4)與該第二電極(7)之間形成的電場,一有效面積(9)被定位在該第一電極(4)的前面,以使該有效面積(9)的該表面(2)位於被處理位置,且該第二電極(7)的配置比該第一電極(4)更接近該有效面積(9),其中,在該第一電極(4)中至少提供一個用於至少一個製程氣體流的製程氣體通道(3),該製程氣體通道(3)具有至少一個出口(5),且該至少一個出口(5)指向該有效面積(9)的方向,而該至少一個製程氣體流在該電場上撞擊,且該電場將該至少一個製程氣體流轉化成一電漿流,及該電漿流在該有效面積(9)上撞擊。
    • 一种用于表面(2)等离子处理之设备具有一第一电极(4)和一第二电极(7),和一在该第一电极(4)与该第二电极(7)之间的交流电压电源(6),及一至少在该第一电极(4)与该第二电极(7)之间形成的电场,一有效面积(9)被定位在该第一电极(4)的前面,以使该有效面积(9)的该表面(2)位于被处理位置,且该第二电极(7)的配置比该第一电极(4)更接近该有效面积(9),其中,在该第一电极(4)中至少提供一个用于至少一个制程气体流的制程气体信道(3),该制程气体信道(3)具有至少一个出口(5),且该至少一个出口(5)指向该有效面积(9)的方向,而该至少一个制程气体流在该电场上撞击,且该电场将该至少一个制程气体流转化成一等离子流,及该等离子流在该有效面积(9)上撞击。