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    • 76. 发明专利
    • 敏輻射線性樹脂組成物、層間絕緣膜及微透鏡
    • 敏辐射线性树脂组成物、层间绝缘膜及微透镜
    • TW200516347A
    • 2005-05-16
    • TW093132623
    • 2004-10-27
    • JSR股份有限公司 JSR CORPORATION
    • 佐野公康 SANO, KIMIYASU西川通則 NISHIKAWA, MICHINORI蓑輪貴樹 MINOWA, TAKAKI高本英司 TAKAMOTO, EIJI
    • G03F
    • 本發明係提供,對活體無安全顧慮,在大型基板具有良好塗布性,在高感度,具有充分顯影界限,具有高耐溶劑性,高耐熱性及高光透過率,尤其是對層間絕緣膜及微透鏡之形成為有用之敏輻射線性樹脂組成物,該組成物所形成層間絕緣膜及微透鏡與該等形成方法。敏輻射線性樹脂組成物係含有,(A)鹼可溶性樹脂,(B)敏輻射線性酸產生劑及(C)1-甲氧基-2-(2-甲氧丙氧)丙烷、丙酸1-甲基-2-甲氧乙酯、乙酸2-正丙氧丙酯等所代表之有機溶劑。層間絕緣膜及微透鏡之形成方法係,至少含有,(1)使前述組成物之塗膜在基板上形成之步驟,(ii)輻射線之曝光步驟,(iii)顯影處理步驟及(iv)加熱處理步驟。
    • 本发明系提供,对活体无安全顾虑,在大型基板具有良好涂布性,在高感度,具有充分显影界限,具有高耐溶剂性,高耐热性及高光透过率,尤其是对层间绝缘膜及微透镜之形成为有用之敏辐射线性树脂组成物,该组成物所形成层间绝缘膜及微透镜与该等形成方法。敏辐射线性树脂组成物系含有,(A)碱可溶性树脂,(B)敏辐射线性酸产生剂及(C)1-甲氧基-2-(2-甲氧丙氧)丙烷、丙酸1-甲基-2-甲氧乙酯、乙酸2-正丙氧丙酯等所代表之有机溶剂。层间绝缘膜及微透镜之形成方法系,至少含有,(1)使前述组成物之涂膜在基板上形成之步骤,(ii)辐射线之曝光步骤,(iii)显影处理步骤及(iv)加热处理步骤。