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61. 发明专利

TW201815660A 微機械構件及微機械構件之製造方法审中-公开
简体标题：微机械构件及微机械构件之制造方法
公开(公告)号：TW201815660A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：TW106135618
申请日：2017-10-18
申请人：德商羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：葛魯札克漢爾姆 , GRUTZECK, HELMUT , 慕裘約克 , MUCHOW, JOERG , 貝德約翰尼斯 , BAADER, JOHANNES
IPC分类号： B81B7/02 , B81B3/00 , B81C1/00 , G02B26/08
摘要：本發明係關於一種微機械構件，其包含一安裝台(10)、藉助於一線圈載體(12)固持之一線圈繞組(14)及一可調整部件(16)，其中該線圈載體(12)及該可調整部件(16)彼此連接且經由至少一個彈簧元件(18a、18b)以一方式連接至該安裝台(10)，使得該可調整部件(16)相對於該安裝台(10)圍繞至少一個旋轉軸線(20)可調整，且其中在該安裝台(10)處存在一經固定地配置或形成的擋止載體(22)，該擋止載體(22)至少部分地由該線圈載體(12)框定且具有突出於該擋止載體(22)之一區處的至少一個第一擋止區域(24)，且至少該線圈載體(12)相對於該安裝台(10)在至少一個方向上的一相對移動藉助於至少一個第一擋止區域(24)受該至少一個第一擋止區域(24)與該線圈載體(12)的一接觸限制。本發明同樣係關於一種用於製造一微機械構件的方法。
简体摘要：本发明系关于一种微机械构件，其包含一安装台(10)、借助于一线圈载体(12)固持之一线圈绕组(14)及一可调整部件(16)，其中该线圈载体(12)及该可调整部件(16)彼此连接且经由至少一个弹簧组件(18a、18b)以一方式连接至该安装台(10)，使得该可调整部件(16)相对于该安装台(10)围绕至少一个旋转轴线(20)可调整，且其中在该安装台(10)处存在一经固定地配置或形成的挡止载体(22)，该挡止载体(22)至少部分地由该线圈载体(12)框定且具有突出于该挡止载体(22)之一区处的至少一个第一挡止区域(24)，且至少该线圈载体(12)相对于该安装台(10)在至少一个方向上的一相对移动借助于至少一个第一挡止区域(24)受该至少一个第一挡止区域(24)与该线圈载体(12)的一接触限制。本发明同样系关于一种用于制造一微机械构件的方法。

62. 发明专利

TW201814158A 一種基於奈米碳管的致動器的製備方法审中-公开
简体标题：一种基于奈米碳管的致动器的制备方法
公开(公告)号：TW201814158A
公开(公告)日：2018-04-16
申请号：TW105134423
申请日：2016-10-25
申请人：鴻海精密工業股份有限公司 , HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.
发明人：馬赫 , MA, HE , 魏洋 , WEI, YANG , 劉鍇 , LIU, KAI , 姜開利 , JIANG, KAI-LI , 范守善 , FAN, SHOU-SHAN
IPC分类号： F03G7/06 , B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0024 , B01J21/185 , B01J23/8472 , B01J23/888 , B81B2201/031 , C01B32/162 , F03G7/005 , F03G7/08 , F05B2250/84 , H01M4/48
摘要：本發明涉及一種致動器的製備方法，該方法包括以下步驟：提供一奈米碳管層；在所述奈米碳管層的表面設置一氧化釩層；以及在含氧氣氛中退火使所述氧化釩層轉變為二氧化釩層。本發明的致動器採用奈米碳管層與二氧化釩層複合結構。由於二氧化釩層相變時形變較大，回應速率快，因此該致動器具有較大的形變和較快的回應速率。
简体摘要：本发明涉及一种致动器的制备方法，该方法包括以下步骤：提供一奈米碳管层；在所述奈米碳管层的表面设置一氧化钒层；以及在含氧气氛中退火使所述氧化钒层转变为二氧化钒层。本发明的致动器采用奈米碳管层与二氧化钒层复合结构。由于二氧化钒层相变时形变较大，回应速率快，因此该致动器具有较大的形变和较快的回应速率。

63. 发明专利

TW201813918A 用於製造微機械壓力感測器的方法审中-公开
简体标题：用于制造微机械压力传感器的方法
公开(公告)号：TW201813918A
公开(公告)日：2018-04-16
申请号：TW106134909
申请日：2017-10-12
申请人：德商羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：丹那柏格阿娜 , DANNENBERG, ARNE , 克拉莫托斯頓 , KRAMER, TORSTEN , 福列茲尤阿辛 , FRITZ, JOACHIM , 弗烈德利希湯瑪士 , FRIEDRICH, THOMAS
IPC分类号： B81B7/02 , B81B3/00 , G01L9/00
CPC分类号： B81B7/0048 , B81B3/00 , B81B7/00 , B81B7/02 , B81B2201/0264 , B81C1/00 , B81C2201/0112 , G01L9/06 , G01L19/14 , G01L19/146
摘要：本發明提供一種用於製造一微機械壓力感測器(100)之方法，該方法包含以下步驟：- 提供一MEMS晶圓(10)，其包含一矽基板(11)及在一感測器膜(12)下方形成於該矽基板(11)中之一第一空腔(13)；- 提供一第二晶圓(30)；- 將該MEMS晶圓(10)接合至該第二晶圓(30)；及- 自後側釋放一感測器核心(12、13、13a)，其中一第二空腔(18)形成於該感測器核心(12、13、13a)與該矽基板(11)之表面之間，其中該第二空腔(18)藉助於一蝕刻製程形成，該蝕刻製程運用以一經定義方式改變之蝕刻參數來加以執行。
简体摘要：本发明提供一种用于制造一微机械压力传感器(100)之方法，该方法包含以下步骤：- 提供一MEMS晶圆(10)，其包含一硅基板(11)及在一传感器膜(12)下方形成于该硅基板(11)中之一第一空腔(13)；- 提供一第二晶圆(30)；- 将该MEMS晶圆(10)接合至该第二晶圆(30)；及- 自后侧释放一传感器内核(12、13、13a)，其中一第二空腔(18)形成于该传感器内核(12、13、13a)与该硅基板(11)之表面之间，其中该第二空腔(18)借助于一蚀刻制程形成，该蚀刻制程运用以一经定义方式改变之蚀刻参数来加以运行。

64. 发明专利

TW201813915A 一種基於奈米碳管的致動器以及致動系統审中-公开
简体标题：一种基于奈米碳管的致动器以及致动系统
公开(公告)号：TW201813915A
公开(公告)日：2018-04-16
申请号：TW105134421
申请日：2016-10-25
申请人：鴻海精密工業股份有限公司 , HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.
发明人：馬赫 , MA, HE , 魏洋 , WEI, YANG , 劉鍇 , LIU, KAI , 姜開利 , JIANG, KAI-LI , 范守善 , FAN, SHOU-SHAN
IPC分类号： B81B3/00 , F03G7/06
CPC分类号： F03G7/005 , B01J23/22 , B81B3/0018 , B82Y15/00 , B82Y30/00 , H01L41/45 , H01M4/583 , H02N11/006
摘要：本發明涉及一種基於奈米碳管的致動器，其包括：一奈米碳管層；其中，進一步包括一與該奈米碳管層層疊設置的二氧化釩層。本發明的致動器採用奈米碳管層與二氧化釩層複合結構。由於二氧化釩層相變時形變較大，回應速率快，因此該致動器具有較大的形變和較快的回應速率。本發明還涉及一種採用該致動器的致動系統。
简体摘要：本发明涉及一种基于奈米碳管的致动器，其包括：一奈米碳管层；其中，进一步包括一与该奈米碳管层层叠设置的二氧化钒层。本发明的致动器采用奈米碳管层与二氧化钒层复合结构。由于二氧化钒层相变时形变较大，回应速率快，因此该致动器具有较大的形变和较快的回应速率。本发明还涉及一种采用该致动器的致动系统。

65. 发明专利

TW201811657A ＭＥＭＳ裝置與製程审中-公开
简体标题：ＭＥＭＳ设备与制程
公开(公告)号：TW201811657A
公开(公告)日：2018-04-01
申请号：TW106124645
申请日：2017-07-21
申请人：席瑞斯邏輯國際半導體有限公司 , CIRRUS LOGIC INTERNATIONAL SEMICONDUCTOR LTD.
发明人：戴爾司詹姆士湯馬士 , DEAS, JAMES THOMAS , 卡吉爾史考特里歐 , CARGILL, SCOTT LYALL
IPC分类号： B81B3/00 , H04R19/02 , H04R19/04 , H04R31/00
CPC分类号： H04R31/006 , B81B3/0021 , B81B2201/0257 , B81B2203/0127 , B81B2203/04 , B81C1/00158 , H04R9/046 , H04R19/005 , H04R19/02 , H04R19/04 , H04R2201/003 , H04R2499/11
摘要：本申請案描述一種MEMS轉換器，其中一電容器的第一導電元件與第二導電元件均設置於薄膜上。所述薄膜經塑形使得當所述可撓性薄膜回應於跨越所述薄膜的一壓力差而偏轉時，所述第一導電元件與所述第二導電元件相對於彼此位移。舉例而言，所述薄膜可為波形。
简体摘要：本申请案描述一种MEMS转换器，其中一电容器的第一导电组件与第二导电组件均设置于薄膜上。所述薄膜经塑形使得当所述可挠性薄膜回应于跨越所述薄膜的一压力差而偏转时，所述第一导电组件与所述第二导电组件相对于彼此位移。举例而言，所述薄膜可为波形。

66. 发明专利

TW201808783A ＭＥＭＳ裝置與製程审中-公开
简体标题：ＭＥＭＳ设备与制程
公开(公告)号：TW201808783A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：TW106122051
申请日：2017-06-30
申请人：席瑞斯邏輯國際半導體有限公司 , CIRRUS LOGIC INTERNATIONAL SEMICONDUCTOR LTD.
发明人：珍金斯柯林羅伯特 , JENKINS, COLIN ROBERT , 卡吉爾史考特里歐 , CARGILL, SCOTT LYALL , 葛拉漢克里夫羅伯特 , GRAHAM, CLIVE ROBERT
IPC分类号： B81B3/00 , B81B7/02 , B81C1/00 , H04R19/00 , H04R19/04 , H04R31/00 , H04R7/04
CPC分类号： B81B3/0021 , B81B3/0078 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2203/04 , B81C1/00158 , B81C3/001 , H04R7/04 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/003 , H04R31/006 , H04R2201/003 , H04R2499/15
摘要：本申請案描述具有一膜片及一膜片電極之MEMS傳感器。該膜片及該膜片電極形成一雙層結構。該膜片電極呈導電材料之一晶格的形式。自該膜片電極之一中心區至在該中心區之側向外部的一區，該晶格之間距及/或開口之大小發生變化。
简体摘要：本申请案描述具有一膜片及一膜片电极之MEMS传感器。该膜片及该膜片电极形成一双层结构。该膜片电极呈导电材料之一晶格的形式。自该膜片电极之一中心区至在该中心区之侧向外部的一区，该晶格之间距及/或开口之大小发生变化。

67. 发明专利

TW201808778A 微型流體控制裝置审中-公开
简体标题：微型流体控制设备
公开(公告)号：TW201808778A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：TW105128585
申请日：2016-09-05
申请人：研能科技股份有限公司 , MICROJET TECHNOLOGY CO., LTD
发明人：韓永隆 , HAN, YUNG-LUNG , 黃啟峰 , HUANG, CHI-FENG , 陳世昌 , CHEN, SHIH-CHANG , 廖家淯 , LIAO, JIA-YU , 廖鴻信 , LIAO, HUNG-HSIN , 黃哲威 , HUANG, CHE-WEI , 陳壽宏 , CHEN, SHOU-HUNG
IPC分类号： B81B3/00 , F04B43/04
CPC分类号： F04B45/047 , F04B43/046 , F04B53/16
摘要：一種微型流體控制裝置，包含壓電致動器及殼體，壓電致動器具有懸浮板、外框、支架以及壓電陶瓷板，懸浮板為正方形型態，具有第一及第二表面，且第二表面上具有凸部，外框環繞設置於懸浮板之外，亦具有第一及第二表面，外框之第二表面與懸浮板之第二表面之凸部之外之區域均為共平面；殼體包括集氣板及底座，集氣板為具有容置空間之框體結構，底座由進氣板及共振片接合而成，並設置於容置空間中，以封閉壓電致動器；其中，壓電致動器之外框之第二表面與底座之共振片之間設置一膠層，以使壓電致動器與共振片之間維持需求之壓縮腔室之深度。
简体摘要：一种微型流体控制设备，包含压电致动器及壳体，压电致动器具有悬浮板、外框、支架以及压电陶瓷板，悬浮板为正方形型态，具有第一及第二表面，且第二表面上具有凸部，外框环绕设置于悬浮板之外，亦具有第一及第二表面，外框之第二表面与悬浮板之第二表面之凸部之外之区域均为共平面；壳体包括集气板及底座，集气板为具有容置空间之框体结构，底座由进气板及共振片接合而成，并设置于容置空间中，以封闭压电致动器；其中，压电致动器之外框之第二表面与底座之共振片之间设置一胶层，以使压电致动器与共振片之间维持需求之压缩腔室之深度。

68. 发明专利

TWI614206B 用於採收聲能之ＭＥＭＳ裝置及其製造方法有权
简体标题：用于采收声能之ＭＥＭＳ设备及其制造方法
公开(公告)号：TWI614206B
公开(公告)日：2018-02-11
申请号：TW105122589
申请日：2016-07-18
申请人：格羅方德半導體私人有限公司 , GLOBALFOUNDRIES SINGAPORE PTE. LTD.
发明人：查特基亞維克納斯 , CHATTERJEE, AVEEK NATH , 庫馬拉蓋 , KUMAR, RAKESH
IPC分类号： B81B3/00 , H04R7/08
CPC分类号： H02N2/188 , H02N2/22 , H03H3/0077 , H03H9/02338 , H03H9/17 , H03H2009/02165 , H03H2009/155

69. 发明专利

TW201802022A 用於壓力感測器裝置的微機械構件审中-公开
简体标题：用于压力传感器设备的微机械构件
公开(公告)号：TW201802022A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：TW106117183
申请日：2017-05-24
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：蘭穆斯猶根 , REINMUTH, JOCHEN
IPC分类号： B81B3/00 , G01L9/12
CPC分类号： G01L9/0072 , G01L9/12 , G01P15/125 , G01P2015/0828
摘要：本發明係關於一種用於一壓力感測器裝置之微機械構件，該微機械構件包含劃定一參考壓力(pr)與一外部壓力(p)的界限的一隔膜(16)、至少一個第一定子電極(28a)、至少一個第二定子電極(28b)及圍繞一旋轉軸線(20)可傾斜之一搖臂結構(22)，該搖臂結構具有至少一個第一致動器電極(24a)及至少一個第二致動器電極(24b)，其中該搖臂結構(22)以一方式連接至該隔膜(16)，使得在該外部壓力(p)與該參考壓力(pr)相等的狀況下，該搖臂結構(22)及其致動器電極(24a、24b)存在於其初始位置，其中在該搖臂結構(22)及其致動器電極(24a、24b)存在於其初始位置之一狀況下，該至少一個第一致動器電極(24a)與該至少一個第一定子電極(28a)之間的一第一電容自該至少一個第二致動器電極(24b)與該至少一個第二定子電極(28b)之間的一第二電容偏離。
简体摘要：本发明系关于一种用于一压力传感器设备之微机械构件，该微机械构件包含划定一参考压力(pr)与一外部压力(p)的界限的一隔膜(16)、至少一个第一定子电极(28a)、至少一个第二定子电极(28b)及围绕一旋转轴线(20)可倾斜之一摇臂结构(22)，该摇臂结构具有至少一个第一致动器电极(24a)及至少一个第二致动器电极(24b)，其中该摇臂结构(22)以一方式连接至该隔膜(16)，使得在该外部压力(p)与该参考压力(pr)相等的状况下，该摇臂结构(22)及其致动器电极(24a、24b)存在于其初始位置，其中在该摇臂结构(22)及其致动器电极(24a、24b)存在于其初始位置之一状况下，该至少一个第一致动器电极(24a)与该至少一个第一定子电极(28a)之间的一第一电容自该至少一个第二致动器电极(24b)与该至少一个第二定子电极(28b)之间的一第二电容偏离。

70. 发明专利

TW201800325A 用於採收聲能之ＭＥＭＳ裝置及其製造方法审中-公开
简体标题：用于采收声能之ＭＥＭＳ设备及其制造方法
公开(公告)号：TW201800325A
公开(公告)日：2018-01-01
申请号：TW105122589
申请日：2016-07-18
申请人：格羅方德半導體私人有限公司 , GLOBALFOUNDRIES SINGAPORE PTE. LTD.
发明人：查特基亞維克納斯 , CHATTERJEE, AVEEK NATH , 庫馬拉蓋 , KUMAR, RAKESH
IPC分类号： B81B3/00 , H04R7/08
CPC分类号： H02N2/188 , H02N2/22 , H03H3/0077 , H03H9/02338 , H03H9/17 , H03H2009/02165 , H03H2009/155
摘要：提供用於採收聲能之微機電系統(MEMS)裝置以及用於採收聲能之MEMS裝置的製造方法。在一具體實施例中，用於採收聲能之MEMS裝置的製造方法包括：形成設置於半導體基板上方且在空腔中包括懸浮結構的壓敏MEMS結構。此外，該方法包括：蝕刻該半導體基板以形成穿過該半導體基板的聲埠，其經組構成允許聲壓使該懸浮結構偏位。
简体摘要：提供用于采收声能之微机电系统(MEMS)设备以及用于采收声能之MEMS设备的制造方法。在一具体实施例中，用于采收声能之MEMS设备的制造方法包括：形成设置于半导体基板上方且在空腔中包括悬浮结构的压敏MEMS结构。此外，该方法包括：蚀刻该半导体基板以形成穿过该半导体基板的声端口，其经组构成允许声压使该悬浮结构偏位。

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