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    • 62. 发明专利
    • 具有用於經減少之導電路徑區域/經增強之電場之間隔物區域之電阻式記憶體單元
    • 具有用于经减少之导电路径区域/经增强之电场之间隔物区域之电阻式内存单元
    • TW201633579A
    • 2016-09-16
    • TW104139485
    • 2015-11-26
    • 微晶片科技公司MICROCHIP TECHNOLOGY INCORPORATED
    • 菲思特 保羅FEST, PAUL
    • H01L45/00H01L27/24
    • H01L45/1273H01L27/2463H01L45/08H01L45/085H01L45/122H01L45/142H01L45/144H01L45/145H01L45/146H01L45/16H01L45/1675
    • 本發明提供一種形成一電阻式記憶體單元(例如導電橋接隨機存取記憶體(CBRAM)或電阻式隨機存取記憶體(ReRAM))之方法,其包含:形成一底部電極層;形成該底部電極之一曝露區域之氧化物區域;移除接近於該氧化物區域之該底部電極層之一區域以形成具有一尖頭或邊緣區域之一底部電極。一電絕緣微型間隔物區域形成於該底部電極相鄰處,且一電解質區域及頂部電極形成於該底部電極及(若干)微型間隔物元件上以界定一記憶體元件。該記憶體元件界定自該底部電極尖頭區域經由該電解質區域而至該頂部電極之一導電細絲/空位鏈路徑。該等微型間隔物元件減少該導電細絲/空位鏈路徑之有效區域或「限制區」,其可改良裝置特性且可提供依靠經增強之電場力之技術之一改良。
    • 本发明提供一种形成一电阻式内存单元(例如导电桥接随机存取内存(CBRAM)或电阻式随机存取内存(ReRAM))之方法,其包含:形成一底部电极层;形成该底部电极之一曝露区域之氧化物区域;移除接近于该氧化物区域之该底部电极层之一区域以形成具有一尖头或边缘区域之一底部电极。一电绝缘微型间隔物区域形成于该底部电极相邻处,且一电解质区域及顶部电极形成于该底部电极及(若干)微型间隔物组件上以界定一内存组件。该内存组件界定自该底部电极尖头区域经由该电解质区域而至该顶部电极之一导电细丝/空位链路径。该等微型间隔物组件减少该导电细丝/空位链路径之有效区域或“限制区”,其可改良设备特性且可提供依靠经增强之电场力之技术之一改良。