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    • 57. 发明专利
    • 半導體熔絲及其製法
    • 半导体熔丝及其制法
    • TW201626505A
    • 2016-07-16
    • TW104126811
    • 2015-08-18
    • 格羅方德半導體公司GLOBALFOUNDRIES US INC.
    • 辛格 杰高爾SINGH, JAGAR密特爾 恩拉MITTAL, ANURAG
    • H01L21/822H01L23/525H01L23/535
    • H01L23/5256G11C17/16H01L21/823431H01L27/0617H01L2924/0002H01L2924/00
    • 本發明提出具有磊晶熔絲連接區之半導體熔絲及其製法。該方法包括:製造包含以熔絲連接區電性連接的陽極區和陰極區的半導體熔絲,該製造包括:在該陽極區和該陰極區之間以磊晶方式形成該熔絲連接區,其中該熔絲連接區有助於在該陽極區和該陰極區之間施加編程電流時令該半導體熔絲形成斷路。該半導體熔絲包括:以熔絲連接區電性連接的陽極區和陰極區,其中該熔絲連接區包括磊晶結構且有助於在該陽極區和該陰極區之間施加編程電流時令該半導體熔絲的形成斷路,其中,該磊晶結構係與該半導體熔絲的該陽極區和該陰極區至少部分結晶對準。
    • 本发明提出具有磊晶熔丝连接区之半导体熔丝及其制法。该方法包括:制造包含以熔丝连接区电性连接的阳极区和阴极区的半导体熔丝,该制造包括:在该阳极区和该阴极区之间以磊晶方式形成该熔丝连接区,其中该熔丝连接区有助于在该阳极区和该阴极区之间施加编程电流时令该半导体熔丝形成断路。该半导体熔丝包括:以熔丝连接区电性连接的阳极区和阴极区,其中该熔丝连接区包括磊晶结构且有助于在该阳极区和该阴极区之间施加编程电流时令该半导体熔丝的形成断路,其中,该磊晶结构系与该半导体熔丝的该阳极区和该阴极区至少部分结晶对准。