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    • 56. 发明专利
    • 電晶體及記憶胞元陣列 TRANSISTOR AND MEMORY CELL ARRAY
    • 晶体管及记忆胞元数组 TRANSISTOR AND MEMORY CELL ARRAY
    • TW200814318A
    • 2008-03-16
    • TW096130793
    • 2007-08-20
    • 奇夢達股份有限公司 QIMONDA AG
    • 提爾 施勒塞爾 TILL SCHLOESSER
    • H01L
    • H01L27/10891H01L27/10823H01L27/10876H01L27/11507
    • 一形成在一具有一頂部表面之半導體基板之中的電晶體係包括,第一以及第二源極/汲極區域,一連接該第一以及第二源極/汲極區域的通道,一用以控制在該通道中流動之一電流的閘極電極,其中,該閘極電極係設置於一閘極溝槽其定義於該半導體基板之該頂部表面之中的一下部溝槽部分之中,且該溝槽的上部溝槽部分乃會被填以一絕緣材質,再者,該通道係會包括一山脊狀的一類鰭狀部分,且該山脊係具有一頂側以及二側向側邊,而其剖面則是會垂直於一連接該第一以及第二源極/汲極區域的線所定義的一方向,此外,該閘極電極乃會包圍該通道的該頂側以及該二側向側邊。
    • 一形成在一具有一顶部表面之半导体基板之中的晶体管系包括,第一以及第二源极/汲极区域,一连接该第一以及第二源极/汲极区域的信道,一用以控制在该信道中流动之一电流的闸极电极,其中,该闸极电极系设置于一闸极沟槽其定义于该半导体基板之该顶部表面之中的一下部沟槽部分之中,且该沟槽的上部沟槽部分乃会被填以一绝缘材质,再者,该信道系会包括一山嵴状的一类鳍状部分,且该山嵴系具有一顶侧以及二侧向侧边,而其剖面则是会垂直于一连接该第一以及第二源极/汲极区域的线所定义的一方向,此外,该闸极电极乃会包围该信道的该顶侧以及该二侧向侧边。