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51. 发明专利

TW201631260A 低溫泵系統，低溫泵控制裝置，及低溫泵再生方法审中-公开
简体标题：低温泵系统，低温泵控制设备，及低温泵再生方法
公开(公告)号：TW201631260A
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：TW105101864
申请日：2016-01-21
申请人：住友重機械工業股份有限公司 , SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
发明人：谷津貴裕 , YATSU, TAKAHIRO
IPC分类号： F04B37/08
CPC分类号： F04B37/085 , F04B41/00 , F04B49/065 , F04B2205/00
摘要：本發明提供一種低溫泵系統、低溫泵控制裝置及低溫泵再生方法，其課題在於縮短低溫泵的再生時間。本發明的低溫泵系統具備：低溫泵(10)；從前述低溫泵(10)排出冷凝物的排出處理且包含進行前述低溫泵(10)的粗抽的排出處理之再生順序，並依據該再生順序控制前述低溫泵(10)之再生控制部(102)；前述再生控制部(102)具備：運算前述低溫泵(10)的粗抽中的前述低溫泵(10)內的壓力下降率之壓力下降率運算部(114)；及檢測前述粗抽中的前述壓力下降率的縮小之壓力下降率監視部(116)。
简体摘要：本发明提供一种低温泵系统、低温泵控制设备及低温泵再生方法，其课题在于缩短低温泵的再生时间。本发明的低温泵系统具备：低温泵(10)；从前述低温泵(10)排出冷凝物的排出处理且包含进行前述低温泵(10)的粗抽的排出处理之再生顺序，并依据该再生顺序控制前述低温泵(10)之再生控制部(102)；前述再生控制部(102)具备：运算前述低温泵(10)的粗抽中的前述低温泵(10)内的压力下降率之压力下降率运算部(114)；及检测前述粗抽中的前述压力下降率的缩小之压力下降率监视部(116)。

52. 发明专利

TWI545627B 半導體裝置的製造方法及雷射退火裝置有权
简体标题：半导体设备的制造方法及激光退火设备
公开(公告)号：TWI545627B
公开(公告)日：2016-08-11
申请号：TW102117739
申请日：2013-05-20
申请人：住友重機械工業股份有限公司 , SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
发明人：櫻木進 , SAKURAGI, SUSUMU , 若林直木 , WAKABAYASHI, NAOKI
IPC分类号： H01L21/265
CPC分类号： H01L21/268 , H01L29/66348

53. 发明专利

TWI544149B 低溫泵及真空排氣方法有权
简体标题：低温泵及真空排气方法
公开(公告)号：TWI544149B
公开(公告)日：2016-08-01
申请号：TW103110882
申请日：2014-03-24
申请人：住友重機械工業股份有限公司 , SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
发明人：髙橋走 , TAKAHASHI, KAKERU
IPC分类号： F04B37/08
CPC分类号： F04B37/08 , F04B37/085

54. 发明专利

TWI542828B 運轉模擬器有权
简体标题：运转仿真器
公开(公告)号：TWI542828B
公开(公告)日：2016-07-21
申请号：TW102123823
申请日：2013-07-03
申请人：住友重機械工業股份有限公司 , SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
发明人： 根薰子 , TSUKANE, KAORU , 伊藤一芳 , ITO, KAZUYOSHI , 藤井大也 , FUJII, HIROTADA
IPC分类号： F22B1/18 , G05B23/02
CPC分类号： G05B17/02

55. 发明专利

TWI541121B 射出成形機有权
简体标题：射出成形机
公开(公告)号：TWI541121B
公开(公告)日：2016-07-11
申请号：TW102103727
申请日：2013-01-31
申请人：住友重機械工業股份有限公司 , SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
发明人：田村惇朗 , TAMURA, ATSURO , 柴田達也 , SHIBATA, TATSUYA , 森谷知寬 , MORIYA, TOMOHIRO , 山下幸貴 , YAMASHITA, KOKI , 森江孝明 , MORIE, TAKAAKI
IPC分类号： B29C45/64 , B29C45/72

56. 发明专利

TWI541120B 射出成形機有权
简体标题：射出成形机
公开(公告)号：TWI541120B
公开(公告)日：2016-07-11
申请号：TW101134293
申请日：2012-09-19
申请人：住友重機械工業股份有限公司 , SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
发明人：田村惇朗 , TAMURA, ATSURO , 森谷知寬 , MORIYA, TOMOHIRO , 柴田達也 , SHIBATA, TATSUYA
IPC分类号： B29C45/64

57. 发明专利

TWI534410B 直線形狀測量方法及直線形狀測量裝置有权
简体标题：直线形状测量方法及直线形状测量设备
公开(公告)号：TWI534410B
公开(公告)日：2016-05-21
申请号：TW104106310
申请日：2015-02-26
申请人：住友重機械工業股份有限公司 , SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
发明人：市原浩一 , ICHIHARA, KOICHI
IPC分类号： G01B21/30

58. 发明专利

TWI534349B 低溫泵、低溫泵的再生方法及低溫泵的控制裝置有权
简体标题：低温泵、低温泵的再生方法及低温泵的控制设备
公开(公告)号：TWI534349B
公开(公告)日：2016-05-21
申请号：TW101147462
申请日：2012-12-14
申请人：住友重機械工業股份有限公司 , SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
发明人：福田奨 , FUKUDA, TSUTOMU
IPC分类号： F04B37/08
CPC分类号： B01D8/00 , F04B37/08

59. 发明专利

TWI534281B 成膜裝置有权
简体标题：成膜设备
公开(公告)号：TWI534281B
公开(公告)日：2016-05-21
申请号：TW103113673
申请日：2014-04-15
申请人：住友重機械工業股份有限公司 , SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
发明人：酒見俊之 , SAKEMI, TOSHIYUKI
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/56

60. 发明专利

TW201615981A 低溫泵审中-公开
简体标题：低温泵
公开(公告)号：TW201615981A
公开(公告)日：2016-05-01
申请号：TW104132562
申请日：2015-10-02
申请人：住友重機械工業股份有限公司 , SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
发明人：及川健 , OIKAWA, KEN
IPC分类号： F04B37/08
CPC分类号： F04B37/08 , F04B37/085
摘要：本發明的目的在於抑制真空處理裝置中的恢復時間的增加，且延長低溫泵的再生間隔。本發明的低溫泵(10)具備：低溫泵容器(38)，確定吸氣口(12)；冷凍機(16)，具備容納於低溫泵容器(38)中的第1冷卻台(22)及第2冷卻台(24)，第2冷卻台(24)被冷卻至溫度低於第1冷卻台(22)；第1低溫板(18)，熱連接於第1冷卻台(22)，並被低溫泵容器(38)包圍；及第2低溫板(20)，熱連接於第2冷卻台(24)，並被第1低溫板(18)包圍。第1低溫板(18)具備在吸氣口(12)具有入口開口部的板構件(32)。入口開口部以板構件(32)的氣導相對於吸氣口(12)的開口氣導之比為6%以下的方式形成於板構件(32)。
简体摘要：本发明的目的在于抑制真空处理设备中的恢复时间的增加，且延长低温泵的再生间隔。本发明的低温泵(10)具备：低温泵容器(38)，确定吸气口(12)；冷冻机(16)，具备容纳于低温泵容器(38)中的第1冷却台(22)及第2冷却台(24)，第2冷却台(24)被冷却至温度低于第1冷却台(22)；第1低温板(18)，热连接于第1冷却台(22)，并被低温泵容器(38)包围；及第2低温板(20)，热连接于第2冷却台(24)，并被第1低温板(18)包围。第1低温板(18)具备在吸气口(12)具有入口开口部的板构件(32)。入口开口部以板构件(32)的气导相对于吸气口(12)的开口气导之比为6%以下的方式形成于板构件(32)。

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