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    • 54. 发明专利
    • 電子零件用積層配線膜
    • 电子零件用积层配线膜
    • TW201332076A
    • 2013-08-01
    • TW102103400
    • 2013-01-30
    • 日立金屬股份有限公司HITACHI METALS, LTD.
    • 村田英夫MURATA, HIDEO
    • H01L23/52H01L21/768
    • 本發明提供一種電子零件用積層配線膜,其是以Cu作為主導電層的積層配線膜,該電子零件用積層配線膜使用包覆層,該包覆層可確保對包覆層要求的作為基底層的與基板的密著性、或作為保護主導電層的Cu的表面的上層層(頂蓋膜)的耐熱性,進而即便經過加熱步驟亦可維持低的電阻值。本發明的電子零件用積層配線膜在基板上形成有金屬層,該電子零件用積層配線膜包含以Cu作為主成分的主導電層、及覆蓋該主導電層的至少一個面的包覆層,該包覆層是原子比的組成式由Cu100-X-AlX、20≦X≦60表示,且殘部包含不可避免的雜質的Cu合金。
    • 本发明提供一种电子零件用积层配线膜,其是以Cu作为主导电层的积层配线膜,该电子零件用积层配线膜使用包覆层,该包覆层可确保对包覆层要求的作为基底层的与基板的密着性、或作为保护主导电层的Cu的表面的上层层(顶盖膜)的耐热性,进而即便经过加热步骤亦可维持低的电阻值。本发明的电子零件用积层配线膜在基板上形成有金属层,该电子零件用积层配线膜包含以Cu作为主成分的主导电层、及覆盖该主导电层的至少一个面的包覆层,该包覆层是原子比的组成式由Cu100-X-AlX、20≦X≦60表示,且残部包含不可避免的杂质的Cu合金。
    • 55. 发明专利
    • 電子零件用積層配線膜及被覆層形成用濺鍍靶材
    • 电子零件用积层配线膜及被覆层形成用溅镀靶材
    • TW201310535A
    • 2013-03-01
    • TW101129421
    • 2012-08-14
    • 日立金屬股份有限公司HITACHI METALS, LTD.
    • 村田英夫MURATA, HIDEO
    • H01L21/3205C23C14/14
    • 本發明提供使用包含Mo合金的被覆層的電子零件用積層配線膜及用以形成被覆層的濺鍍靶材,上述包含Mo合金的被覆層可改善耐濕性或耐氧化性,而且在與作為低電阻的主導電層的Cu積層時,即便經過加熱步驟亦可維持較低的電阻值。本發明的電子零件用積層配線膜是在基板上形成有金屬膜,其包括:以Cu為主成分的主導電層、以及覆蓋該導電層的一面及/或另一面的被覆層;該被覆層是以原子比的組成式為Mo100-x-y-Nix-Tiy、10≦x≦50、3≦y≦30、x+y≦53來表示,其餘部分包含不可避免的雜質。
    • 本发明提供使用包含Mo合金的被覆层的电子零件用积层配线膜及用以形成被覆层的溅镀靶材,上述包含Mo合金的被覆层可改善耐湿性或耐氧化性,而且在与作为低电阻的主导电层的Cu积层时,即便经过加热步骤亦可维持较低的电阻值。本发明的电子零件用积层配线膜是在基板上形成有金属膜,其包括:以Cu为主成分的主导电层、以及覆盖该导电层的一面及/或另一面的被覆层;该被覆层是以原子比的组成式为Mo100-x-y-Nix-Tiy、10≦x≦50、3≦y≦30、x+y≦53来表示,其余部分包含不可避免的杂质。
    • 58. 发明专利
    • 半導體變形感測器 SEMICONDUCTOR STRAIN SENSOR
    • 半导体变形传感器 SEMICONDUCTOR STRAIN SENSOR
    • TW200914808A
    • 2009-04-01
    • TW097130822
    • 2008-08-13
    • 日立金屬股份有限公司 HITACHI METALS, LTD.
    • 風間敦 KAZAMA, ATSUSHI岡田亮二 OKADA, RYOJI川井哲郎 KAWAI, TETSUROU
    • G01LG01BG01GH01L
    • G01L1/18G01B7/16G01L1/2293
    • 一種半導體變形感測器,係作為變形檢測部而具備有由具備壓電電阻元件之半導體基板所成的變形感測晶片,其特性係長期間安定,且在因應於測定對象物之變形而在變形感測晶片處所產生之變形的變換係數所測定之大小的變形範圍內係為安定。藉由金屬接合材而被接合有變形感測晶片之金屬基底板,係具備有從變形感測晶片之側邊而突出的用以安裝測定對象物之2個或是4個的突出構件。較理想,在與將變形感測晶片與金屬基底板作接合之接合區域相對應之金屬基底板的下面區域和突出構件的下面之間,係被設置有溝,在金屬基底板之下面,係被設置有藉由溝而被挾持之突出部。
    • 一种半导体变形传感器,系作为变形检测部而具备有由具备压电电阻组件之半导体基板所成的变形传感芯片,其特性系长期间安定,且在因应于测定对象物之变形而在变形传感芯片处所产生之变形的变换系数所测定之大小的变形范围内系为安定。借由金属接合材而被接合有变形传感芯片之金属基底板,系具备有从变形传感芯片之侧边而突出的用以安装测定对象物之2个或是4个的突出构件。较理想,在与将变形传感芯片与金属基底板作接合之接合区域相对应之金属基底板的下面区域和突出构件的下面之间,系被设置有沟,在金属基底板之下面,系被设置有借由沟而被挟持之突出部。