会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 43. 发明专利
    • 用於在多個化學氣相沉積反應器之間平衡氣流的方法
    • 用于在多个化学气相沉积反应器之间平衡气流的方法
    • TW201323651A
    • 2013-06-16
    • TW101139306
    • 2012-10-24
    • 應用材料股份有限公司APPLIED MATERIALS, INC.
    • 吳正勳OH, JEONGHOON寇克斯麥可SCOX, MICHAEL S.波亞克亞歷山大SPOLYAK, ALEXANDER S.
    • C23C16/54C23C16/455
    • F16K11/00C23C16/45561Y10T137/0324Y10T137/877
    • 本發明揭示用於使用多個平行反應器的太陽能電池生產的氣體供應系統及方法。第一氣體供應控制系統具有氣體分配盤,該氣體分配盤具有複數個氣體出口管線,該複數個氣體出口管線向第一主要供應管線供氣,該第一主要供應管線具有主要管線質量流量計,該主要管線質量流量計量測該第一主要供應管線中經合併的總氣體質量流率。第一分支管線、第二分支管線及第三分支管線由第一主要供應管線供氣,每一分支管線具有質量流量控制器,且一或更多個控制迴路建立在該質量流量計與該等分支管線質量流量控制器之間。控制迴路基於將總氣流之流動速率除以使用中的反應器的數目,來決定該等分支質量流量控制器中之每一分支質量流量控制器的設定點。此外,第二氣體供應控制系統可耦接至第一氣體供應控制系統,以避免在某些氣體進入該等氣體所供應至的各別反應器之前混合該等氣體。
    • 本发明揭示用于使用多个平行反应器的太阳能电池生产的气体供应系统及方法。第一气体供应控制系统具有气体分配盘,该气体分配盘具有复数个气体出口管线,该复数个气体出口管线向第一主要供应管线供气,该第一主要供应管线具有主要管线质量流量计,该主要管线质量流量计量测该第一主要供应管线中经合并的总气体质量流率。第一分支管线、第二分支管线及第三分支管线由第一主要供应管线供气,每一分支管线具有质量流量控制器,且一或更多个控制回路创建在该质量流量计与该等分支管线质量流量控制器之间。控制回路基于将总气流之流动速率除以使用中的反应器的数目,来决定该等分支质量流量控制器中之每一分支质量流量控制器的设置点。此外,第二气体供应控制系统可耦接至第一气体供应控制系统,以避免在某些气体进入该等气体所供应至的各别反应器之前混合该等气体。
    • 46. 发明专利
    • 流量控制裝置,其檢驗方法及流量控制方法 FLOW CONTROLLER AND TEST METHOD THEREFOR, AND FLOW CONTROL METHOD
    • 流量控制设备,其检验方法及流量控制方法 FLOW CONTROLLER AND TEST METHOD THEREFOR, AND FLOW CONTROL METHOD
    • TW200941172A
    • 2009-10-01
    • TW098110710
    • 2009-03-31
    • 日立金屬股份有限公司
    • 後藤崇夫
    • G05DG01F
    • G05D7/0635Y10T137/0324
    • 本發明目的在於提供一種流量控制裝置、其檢驗方法及流量控制方法,其能夠在半導體製造裝置等工作期間實施流經流路的工藝氣體的流量控制檢驗處理。其在控制流量,使流經流路(4)的流量達到流量設定值時,收集由工藝氣體流量檢測值、壓力檢測值及輸出至流量控制閥機構(7)的閥門驅動控制信息構成的檢驗抽樣信息的特定數,使之與該流量設定值相關並加以存儲。然後,對於作為檢驗抽樣信息存儲的特定數的流量檢測值和閥門驅動控制信息,依次求出表示該相關的相關係數(A),若該相關係數(A)超過了預先設定的範圍,則求出基於新輸入的流量檢測值求得的閥門驅動控制信息同參照預先為檢驗處理用而登錄的閥門特性信息表(K1)所求得的作為基準的閥門驅動控制信息之間的差異量,以該差異量作為檢驗信息。
    • 本发明目的在于提供一种流量控制设备、其检验方法及流量控制方法,其能够在半导体制造设备等工作期间实施流经流路的工艺气体的流量控制检验处理。其在控制流量,使流经流路(4)的流量达到流量设置值时,收集由工艺气体流量检测值、压力检测值及输出至流量控制阀机构(7)的阀门驱动控制信息构成的检验抽样信息的特定数,使之与该流量设置值相关并加以存储。然后,对于作为检验抽样信息存储的特定数的流量检测值和阀门驱动控制信息,依次求出表示该相关的相关系数(A),若该相关系数(A)超过了预先设置的范围,则求出基于新输入的流量检测值求得的阀门驱动控制信息同参照预先为检验处理用而登录的阀门特性信息表(K1)所求得的作为基准的阀门驱动控制信息之间的差异量,以该差异量作为检验信息。