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41. 发明专利

TW200817098A 用於管理在處理環境中使用液體環式泵及回收系統之流體的系統及方法 SYSTEMS AND METHODS FOR MANAGING FLUIDS IN A PROCESSING ENVIRONMENT USING A LIQUID RING PUMP AND RECLAMATION SYSTEM 审中-公开
简体标题：用于管理在处理环境中使用液体环式泵及回收系统之流体的系统及方法 SYSTEMS AND METHODS FOR MANAGING FLUIDS IN A PROCESSING ENVIRONMENT USING A LIQUID RING PUMP AND RECLAMATION SYSTEM
公开(公告)号：TW200817098A
公开(公告)日：2008-04-16
申请号：TW096117198
申请日：2007-05-15
申请人：液態空氣喬治斯克勞帝方法研究開發股份有限公司 L'AIR LIQUIDE-SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
发明人：卡爾J 尤魁哈特 URQUHART, KARL J. , 喬治古亞內利 GUARNERI, GEORGES , 尚路易斯馬克 MARC, JEAN-LOUIS , 諾伯特法加特 FANJAT, NORBERT , 勞倫特蘭傑利爾 LANGELLIER, LAURENT , 克里斯多寇林 COLIN, CHRISTOPHE
IPC分类号： B05C , H01L , F04B
CPC分类号： F17D1/08 , B24B37/00 , B24B57/02 , F04C19/001 , Y10T137/0318
摘要：一種用於化學藥品管理的方法與系統。在一具體實施例中,摻合器係與處理系統連結並進行構形成將適當的單一溶液或複數個溶液供應至系統。由摻合器所提供的溶液接著從系統回收且隨後再行導入以重複使用。於溶液再行導入系統用於重複使用前,可操作摻合器以控制溶液內的各個成份的濃度。可對某些導入系統的化學藥品加以溫度控制。後端真空泵浦次系統可從液體中分離氣體以作為廢棄物管理系統的一部份。
简体摘要：一种用于化学药品管理的方法与系统。在一具体实施例中,掺合器系与处理系统链接并进行构形成将适当的单一溶液或复数个溶液供应至系统。由掺合器所提供的溶液接着从系统回收且随后再行导入以重复使用。于溶液再行导入系统用于重复使用前,可操作掺合器以控制溶液内的各个成份的浓度。可对某些导入系统的化学药品加以温度控制。后端真空泵浦次系统可从液体中分离气体以作为废弃物管理系统的一部份。

42. 发明专利

TW200741835A 處理裝置及方法 PROCESSING APPARATUS AND METHOD 审中-公开
简体标题：处理设备及方法 PROCESSING APPARATUS AND METHOD
公开(公告)号：TW200741835A
公开(公告)日：2007-11-01
申请号：TW096102494
申请日：2007-01-23
申请人：東芝股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA , 芝浦機械電子裝置股份有限公司 SHIBAURA MECHATRONICS CORPORATION
发明人：和歌月尊彥 WAKATSUKI, TAKAHIKO , 速水直哉 HAYAMIZU, NAOYA , 藤田博 FUJITA, HIROSHI , 齋藤晶子 SAITO, AKIKO , 林俊秀 HAYASHI, TOSHIHIDE , 西部幸伸 NISHIBE, YUKINOBU
IPC分类号： H01L , B08B
CPC分类号： B08B3/022 , B08B7/00 , H01L21/67028 , H01L21/67051 , Y10T137/0318
摘要：本發明提供一種處理裝置,其包括:一處理腔室,其經組態以容納一工件;一設置於該處理腔室中之第一噴嘴,該第一噴嘴將蒸氣排至該工件上;一壁,其圍繞該處理腔室;一設置於該壁內之流體通道;一流體入口;及一流體出口。該流體入口經設置以與該流體通道連通。該流體出口經設置以與該流體通道連通,其中一流體流至該流體入口中,通過該流體通道,且流出該流體出口。本發明亦設置一種用於處理一在一處理腔室中移動之工件之處理方法,該處理方法包括:將一蒸氣自一第一噴嘴排至該工件,同時使一流體流經一設置於一壁內之流體通道,該壁圍繞該處理腔室。
简体摘要：本发明提供一种处理设备,其包括:一处理腔室,其经组态以容纳一工件;一设置于该处理腔室中之第一喷嘴,该第一喷嘴将蒸气排至该工件上;一壁,其围绕该处理腔室;一设置于该壁内之流体信道;一流体入口;及一流体出口。该流体入口经设置以与该流体信道连通。该流体出口经设置以与该流体信道连通,其中一流体流至该流体入口中,通过该流体信道,且流出该流体出口。本发明亦设置一种用于处理一在一处理腔室中移动之工件之处理方法,该处理方法包括:将一蒸气自一第一喷嘴排至该工件,同时使一流体流经一设置于一壁内之流体信道,该壁围绕该处理腔室。

43. 发明专利

TW200733184A 氣體供給裝置、基板處理裝置、氣體供給方法有权
简体标题：气体供给设备、基板处理设备、气体供给方法
公开(公告)号：TW200733184A
公开(公告)日：2007-09-01
申请号：TW096103352
申请日：2007-01-30
申请人：東京威力科創股份有限公司 TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：水澤兼悦 MIZUSAWA, KENETSU
IPC分类号： H01L
CPC分类号： C23C16/455 , C23C16/45561 , Y10T137/0318 , Y10T137/877
摘要：本發明的課題是在於能以簡單的配管結構,並且以簡單的控制,能夠由處理是內的複數部位供給氣體,可實現期望的面內均等性。用以解決課題之手段為,在進行晶圓處理前,對分流量調整手段230質性調整分流量之壓力比控制,使得各處理氣體用分歧配管內的壓力比成為目標壓力比,將來自於處理氣體供給手段210的處理氣體分流於第1、第2分歧配管254、256,當各處理氣體用分歧流路內的壓力穩定時,將對分流量調整手段之控制,切換成調整分流量以保持壓力穩定時的其中一方之處理氣體用分歧流路內的壓力之壓力一定控制後,藉由附加氣體供給手段220,對另一方的處理氣體用分歧配管供給附加氣體。
简体摘要：本发明的课题是在于能以简单的配管结构,并且以简单的控制,能够由处理是内的复数部位供给气体,可实现期望的面内均等性。用以解决课题之手段为,在进行晶圆处理前,对分流量调整手段230质性调整分流量之压力比控制,使得各处理气体用分歧配管内的压力比成为目标压力比,将来自于处理气体供给手段210的处理气体分流于第1、第2分歧配管254、256,当各处理气体用分歧流路内的压力稳定时,将对分流量调整手段之控制,切换成调整分流量以保持压力稳定时的其中一方之处理气体用分歧流路内的压力之压力一定控制后,借由附加气体供给手段220,对另一方的处理气体用分歧配管供给附加气体。

44. 发明专利

TWI229916B 基材處理系統及其操作方法 A SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM AND OPERATION METHOD THEREOF 有权
简体标题：基材处理系统及其操作方法 A SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM AND OPERATION METHOD THEREOF
公开(公告)号：TWI229916B
公开(公告)日：2005-03-21
申请号：TW091115744
申请日：2002-07-15
申请人：應用材料股份有限公司 APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：亞佛瑞恩奎利斯 EFRAIN QUILES , 米漢貝德傑特 MEHRAN BEHDJAT , 羅伯特B. 勞倫斯 ROBERT B. LOWRANCE , 麥可羅伯特萊斯 MICHAEL ROBERT RICE , 布萊特維帕特 BRENT VOPAT
IPC分类号： B65G , H01L
CPC分类号： H01L21/67017 , F24F9/00 , H01L21/67109 , H01L21/67126 , H01L21/67766 , H01L21/68707 , Y10T137/0318
摘要：在第一態樣中，一第一基材處理系統被提供其包括(1)一室其具有多個開口且一基材可被輸送通過該等開口；(2)一基材載具開啟器其耦合至該等開口中的一第一開口；(3)一熱處理室其耦合至該等開口中的一第二開口；及(4)一在該室內的晶圓搬運器，其具有一基材夾持托板及一用來輸送高溫基材的托板。本發明亦提供許多其它的態樣以及依據這些及其它態樣的方法與電腦程式產品。
简体摘要：在第一态样中，一第一基材处理系统被提供其包括(1)一室其具有多个开口且一基材可被输送通过该等开口；(2)一基材载具打开器其耦合至该等开口中的一第一开口；(3)一热处理室其耦合至该等开口中的一第二开口；及(4)一在该室内的晶圆搬运器，其具有一基材夹持托板及一用来输送高温基材的托板。本发明亦提供许多其它的态样以及依据这些及其它态样的方法与电脑进程产品。

45. 发明专利

TW506840B 調節流體泵壓力之裝置及方法有权
简体标题：调节流体泵压力之设备及方法
公开(公告)号：TW506840B
公开(公告)日：2002-10-21
申请号：TW090116418
申请日：2001-07-05
申请人：迪卡公司
发明人：葛萊理 , 巴羅伯
IPC分类号： A61M
CPC分类号： G05D7/0635 , A61M1/282 , A61M5/16809 , A61M2205/3331 , F04B43/043 , F04B43/06 , G05D16/2073 , Y10T137/0318
摘要：提供一種調節流體泵壓力之方法，此方法係藉由偵測一流體流動控制裝置以及與流體流動控制裝置相導通之一流體管線的一末端之間之一海拔高度差來調節流體泵壓力。譬如腹腔透析裝置等一流體流動控制裝置係處於一第一高度，一流動管線的一末端處於一第二高度，而一閥式出口當開啟時可在流體流動控制裝置與流體管線的末端之間提供導通。海拔高度差係可與在方法論中的一項校準程序期間所量測之一壓力產生相關聯。
简体摘要：提供一种调节流体泵压力之方法，此方法系借由侦测一流体流动控制设备以及与流体流动控制设备相导通之一流体管线的一末端之间之一海拔高度差来调节流体泵压力。譬如腹腔透析设备等一流体流动控制设备系处于一第一高度，一流动管线的一末端处于一第二高度，而一阀式出口当打开时可在流体流动控制设备与流体管线的末端之间提供导通。海拔高度差系可与在方法论中的一项校准进程期间所量测之一压力产生相关联。

46. 发明专利

TW454050B 回應於一電子信號以定位一幫浦之限制隔板的裝置與方法失效
简体标题：回应于一电子信号以定位一帮浦之限制隔板的设备与方法
公开(公告)号：TW454050B
公开(公告)日：2001-09-11
申请号：TW087107354
申请日：1998-05-12
申请人：應用材料股份有限公司 , 摩托羅拉股份有限公司
发明人：約翰傑維斯 , 霍大衛 , 貝瑞特亞當斯
IPC分类号： C30B
CPC分类号： F16K51/00 , F04B37/08 , F04B2205/08 , Y10T137/0318
摘要：一種位於一幫浦的入口孔之用來將該幫浦與一半導體晶圓處理系統之處理室隔開來的裝置，其中該裝置具有一可控制之可變化的有效產出(throughput)面積，及一種用來電氣地控制該有效的產出面積的方法。特別是，該裝置為一由一作動件所支撐之可控制的限制隔板，其具有一第一有效的產出面積及一第二有效的產出面積，其中該第一有效的產出面積典型地小於該第二有效的產出面積。該有效產出面積的大小係直接與控制該作動件之電子訊號有關。
简体摘要：一种位于一帮浦的入口孔之用来将该帮浦与一半导体晶圆处理系统之处理室隔开来的设备，其中该设备具有一可控制之可变化的有效产出(throughput)面积，及一种用来电气地控制该有效的产出面积的方法。特别是，该设备为一由一作动件所支撑之可控制的限制隔板，其具有一第一有效的产出面积及一第二有效的产出面积，其中该第一有效的产出面积典型地小于该第二有效的产出面积。该有效产出面积的大小系直接与控制该作动件之电子信号有关。

47. 发明专利

TW452499B 清除流體輸送系統內之流體之方法、連接器裝置、清除流體分送系統內之分送用流體的系統、及歧管構造有权
简体标题：清除流体输送系统内之流体之方法、连接器设备、清除流体分送系统内之分送用流体的系统、及歧管构造
公开(公告)号：TW452499B
公开(公告)日：2001-09-01
申请号：TW088111784
申请日：1999-07-28
申请人：明尼玻公司
发明人：傑夫瑞M.崁貝爾 , J.卡羅尼爾默亞
IPC分类号： B01D
CPC分类号： B01D65/00 , B01D35/26 , B01D35/30 , B01D36/001 , B01D61/20 , B01D2201/4023 , B01D2201/4046 , Y10T137/0318
摘要：在此提供一種連接器裝置，其構造可使該連接器裝置得以替換一流體分送系統中之一分離模組。由於該連接器裝置之構造與該分離模組之一入口及一出口相同，因此，若需清除該系統中經分送後之流體，可以該連接器裝置替換該分離模組，並使一清洗液流經該系統內。
简体摘要：在此提供一种连接器设备，其构造可使该连接器设备得以替换一流体分送系统中之一分离模块。由于该连接器设备之构造与该分离模块之一入口及一出口相同，因此，若需清除该系统中经分送后之流体，可以该连接器设备替换该分离模块，并使一清洗液流经该系统内。

48. 发明专利

TWI618569B 長方體形狀的單體吸附劑、流體－吸附劑的互相作用製程、氣櫃、及製造氣體源套件之方法有权
简体标题：长方体形状的单体吸附剂、流体－吸附剂的互相作用制程、气柜、及制造气体源套件之方法
公开(公告)号：TWI618569B
公开(公告)日：2018-03-21
申请号：TW103142215
申请日：2003-11-24
申请人：恩特葛瑞斯股份有限公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：丹尼斯布雷斯多文斯基 , DENNIS BRESTOVANSKY , 麥克伍德詹斯基 , MICHAEL J. WODJENSKI , 荷西亞諾 , JOSE I. ARNO , 唐諾卡路瑟斯 , J. DONALD CARRUTHERS , 菲利普馬洛哥 , PHILIP A. MOROCO
IPC分类号： B01D53/02 , B01J20/26 , F17C11/00
CPC分类号： B01D53/053 , B01D53/0407 , B01D2253/102 , B01D2253/304 , B01D2253/342 , B01D2257/40 , B01D2257/704 , B01D2257/706 , B01D2257/93 , B01D2258/0216 , B01D2259/4525 , F17C11/00 , F17C13/084 , F17C2201/0157 , F17C2205/0103 , F17C2205/0338 , F17C2205/0391 , F17C2270/0518 , Y02E60/321 , Y10T137/0318

49. 发明专利

TWI602617B 霧化噴嘴裝置、霧化流體及其用途有权
简体标题：雾化喷嘴设备、雾化流体及其用途
公开(公告)号：TWI602617B
公开(公告)日：2017-10-21
申请号：TW101124205
申请日：2012-07-05
申请人：歐米亞國際公司 , OMYA INTERNATIONAL AG
发明人：桑德斯喬治 , SAUNDERS, GEORGE , 奇崔積萊恩 , KITTREDGE, RYAN
IPC分类号： B05B7/14
CPC分类号： B05B7/0416 , A01M7/0003 , A62C99/0072 , B01F3/04063 , B01F2215/0036 , B01F2215/0055 , B05B1/34 , B05B7/0441 , B05B7/0458 , B05B7/0475 , B05B7/0491 , B05B7/066 , B05B7/267 , F23D1/005 , Y10T137/0318

50. 发明专利

TWI568882B 蒸汽遞送裝置、製造方法及其使用方法有权
简体标题：蒸汽递送设备、制造方法及其使用方法
公开(公告)号：TWI568882B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：TW102124868
申请日：2013-07-11
申请人：羅門哈斯電子材料有限公司 , ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS LLC
发明人：渥克艾格伯特 , WOELK, EGBERT , 迪卡洛二世郎洛德L , DICARLO JR., RONALD L.
IPC分类号： C23C16/455 , F22B35/16
CPC分类号： C23C16/45512 , B01F3/028 , B01F15/00331 , C23C16/4481 , C23C16/4486 , C23C16/45561 , C23C16/52 , C30B25/14 , C30B25/165 , C30B29/40 , Y10T137/0318 , Y10T137/2509

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