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    • 49. 发明专利
    • 工件處理裝置 WORKPIECE PROCESSING DEVICE
    • 工件处理设备 WORKPIECE PROCESSING DEVICE
    • TWI337759B
    • 2011-02-21
    • TW096118215
    • 2007-05-22
    • 東京精密股份有限公司
    • 川島勇佐藤英志木野秀夫雨谷稔
    • H01LB65H
    • H01L21/67132H01L21/67294Y10S414/135Y10S438/976Y10T156/1105Y10T156/17Y10T156/1906Y10T156/1978
    • 一種工件處理裝置(10),其用於處理一工件(60、20、36)且包括:一表面保護膜剝離構件(50),其用於藉助一剝離剝離膠帶(4)剝離一黏著至工件之正表面(21)之表面保護膜(110);一條碼黏著構件(11),其用於將一對應於工件之條碼(65)黏著至該工件;及一可移動支撐台(72),其用於支撐該工件。在該工件由該支撐台支撐之時,對該工件實施一藉由該表面保護膜剝離構件進行之剝離該表面保護膜之剝離作業及一藉由該條碼黏著構件進行之黏著一條碼之黏著作業。因上述緣由,可避免在將該條碼黏著至例如一晶圓之工件時出現失敗。該條碼黏著構件可將由一光學讀取構件讀出之對應於工件之字元資訊之條碼黏著至工件。
    • 一种工件处理设备(10),其用于处理一工件(60、20、36)且包括:一表面保护膜剥离构件(50),其用于借助一剥离剥离胶带(4)剥离一黏着至工件之正表面(21)之表面保护膜(110);一条码黏着构件(11),其用于将一对应于工件之条码(65)黏着至该工件;及一可移动支撑台(72),其用于支撑该工件。在该工件由该支撑台支撑之时,对该工件实施一借由该表面保护膜剥离构件进行之剥离该表面保护膜之剥离作业及一借由该条码黏着构件进行之黏着一条码之黏着作业。因上述缘由,可避免在将该条码黏着至例如一晶圆之工件时出现失败。该条码黏着构件可将由一光学读取构件读出之对应于工件之字符信息之条码黏着至工件。