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    • 42. 发明专利
    • 過濾設備及其操作方法 THE SEPARATION OF SOLID PARTICLES FROM THE LIQUID IN WHICH THEY ARE DISPERSED
    • 过滤设备及其操作方法 THE SEPARATION OF SOLID PARTICLES FROM THE LIQUID IN WHICH THEY ARE DISPERSED
    • TWI311921B
    • 2009-07-11
    • TW094144225
    • 2005-12-14
    • 德瑞色股份有限公司
    • 葛瑞漢 威廉 GRAHAM, WILLIAM
    • B01D
    • B01D65/00B01D61/145B01D61/147B01D61/18B01D61/20B01D63/10B01D63/12B01D65/02B01D2321/02B01D2321/185B01D2321/2066C02F1/444
    • 揭示一種直立過濾單元(10),其包含由一穿孔垂直滲透管(12)及允許水穿透之複數個可半滲透材料之葉片所組成之一膜。該可半滲透材料定義複數個固態保留通道及複數個滲透通道。該葉片(14)捲繞該滲透水流入之穿孔垂直管(12),該膜位於一外殼(40)中。位於該單元底部之一入口(24)允許未經淨化處理之水於壓力下流至該膜之固態保留通道。位於該單元上端處之一空氣入口(32)允許空氣於壓力下進入該單元之上端,且因此該固態保留通道之上端直到該氣體與水壓力平衡為止。藉由關閉來自該穿孔管之出口與開啓一湧流入口與一湧流出口,而仍維持於該外殼之上端處之空氣壓力以達成保留固體之湧流。
    • 揭示一种直立过滤单元(10),其包含由一穿孔垂直渗透管(12)及允许水穿透之复数个可半渗透材料之叶片所组成之一膜。该可半渗透材料定义复数个固态保留信道及复数个渗透信道。该叶片(14)卷绕该渗透水流入之穿孔垂直管(12),该膜位于一外壳(40)中。位于该单元底部之一入口(24)允许未经净化处理之水于压力下流至该膜之固态保留信道。位于该单元上端处之一空气入口(32)允许空气于压力下进入该单元之上端,且因此该固态保留信道之上端直到该气体与水压力平衡为止。借由关闭来自该穿孔管之出口与开启一涌流入口与一涌流出口,而仍维持于该外壳之上端处之空气压力以达成保留固体之涌流。
    • 44. 发明专利
    • 基體表面上之有機被膜除去方法、以及除去裝置
    • 基体表面上之有机被膜除去方法、以及除去设备
    • TW200702943A
    • 2007-01-16
    • TW095108914
    • 2006-03-16
    • 東亞合成股份有限公司 TOAGOSEI CO., LTD.
    • 新妻裕志 NIIZUMA, HIROSHI飯沼知久 IINUMA, TOMOHISA
    • G03FH01L
    • B01D61/145G03F7/422H01L21/31133
    • 本發明係提供,不需更換剝離液即可將半導體用晶圓或液晶用基板等基板表面上之光阻被膜自該基板上除去之方法。該方法,係使以1分子中具有2個氧以上之有機環狀化合物(例如碳酸烯酯)作為主成分之剝離液,與該基體表面上之光阻被膜接觸以除去該被膜後,將剝離液中所含之該被膜成分藉由超過濾處理以自剝離液中除去,而將該被膜成分已除去之剝離液,循環再使用於基體表面上之有機被膜之除去。又,本發明係提供,具有有機被膜之基體表面之有機被膜除去裝置,其特徵在於具備:混合剝離液貯槽,用以導入剝離液新液且導入處理後之剝離液;將剝離液自混合剝離液貯槽機構供應至接觸槽之機構;收納具有有機被膜之基體的基體保持具;將具有有機被膜之基體自基體保持具取出並導入接觸槽,於接觸槽內,使剝離液與基體之具有有機被膜的表面接觸,俾將有機被膜以剝離液溶解而將有機被膜自基體表面除去,並將有機被膜已除去之基體自接觸槽拉起之機構;將溶解有機被膜之剝離液自接觸槽排出之機構;將自接觸槽所排出之剝離液導入之膜過濾裝置;以及使自膜過濾裝置所排出之剝離液循環並返回至混合剝離液貯槽之機構。本發明之除去方法,經濟性及安全性優異,且不會對環境造成不良影響。
    • 本发明系提供,不需更换剥离液即可将半导体用晶圆或液晶用基板等基板表面上之光阻被膜自该基板上除去之方法。该方法,系使以1分子中具有2个氧以上之有机环状化合物(例如碳酸烯酯)作为主成分之剥离液,与该基体表面上之光阻被膜接触以除去该被膜后,将剥离液中所含之该被膜成分借由超过滤处理以自剥离液中除去,而将该被膜成分已除去之剥离液,循环再使用于基体表面上之有机被膜之除去。又,本发明系提供,具有有机被膜之基体表面之有机被膜除去设备,其特征在于具备:混合剥离液贮槽,用以导入剥离液新液且导入处理后之剥离液;将剥离液自混合剥离液贮槽机构供应至接触槽之机构;收纳具有有机被膜之基体的基体保持具;将具有有机被膜之基体自基体保持具取出并导入接触槽,于接触槽内,使剥离液与基体之具有有机被膜的表面接触,俾将有机被膜以剥离液溶解而将有机被膜自基体表面除去,并将有机被膜已除去之基体自接触槽拉起之机构;将溶解有机被膜之剥离液自接触槽排出之机构;将自接触槽所排出之剥离液导入之膜过滤设备;以及使自膜过滤设备所排出之剥离液循环并返回至混合剥离液贮槽之机构。本发明之除去方法,经济性及安全性优异,且不会对环境造成不良影响。