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    • 42. 发明专利
    • 半導體裝置的製造方法
    • 半导体设备的制造方法
    • TW201735220A
    • 2017-10-01
    • TW106109627
    • 2017-03-23
    • 三井化學東賽璐股份有限公司MITSUI CHEMICALS TOHCELLO, INC.
    • 林下英司HAYASHISHITA, EIJI
    • H01L21/67H01L21/301B32B7/12C09J7/02
    • G01R31/26
    • 本發明的半導體裝置的製造方法至少包括以下4個步驟。(A)準備結構體(100)的步驟,所述結構體(100)包括具有放射線硬化型的黏著性樹脂層(30)的黏著性膜(50)、貼附於黏著性樹脂層(30)上的1個或2個以上的半導體晶片(70);(B)對黏著性膜(50)照射放射線,使黏著性樹脂層(30)進行交聯的步驟;(C)於步驟(B)之後,以貼附於黏著性樹脂層(30)上的狀態,確認半導體晶片(70)的動作的步驟;以及(D)於步驟(C)之後,從黏著性樹脂層(30)上拾取半導體晶片(70)的步驟。
    • 本发明的半导体设备的制造方法至少包括以下4个步骤。(A)准备结构体(100)的步骤,所述结构体(100)包括具有放射线硬化型的黏着性树脂层(30)的黏着性膜(50)、贴附于黏着性树脂层(30)上的1个或2个以上的半导体芯片(70);(B)对黏着性膜(50)照射放射线,使黏着性树脂层(30)进行交联的步骤;(C)于步骤(B)之后,以贴附于黏着性树脂层(30)上的状态,确认半导体芯片(70)的动作的步骤;以及(D)于步骤(C)之后,从黏着性树脂层(30)上十取半导体芯片(70)的步骤。