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    • 33. 发明专利
    • 鈷錯合物及其製造方法、含有鈷的薄膜及其製作方法
    • 钴错合物及其制造方法、含有钴的薄膜及其制作方法
    • TW201602120A
    • 2016-01-16
    • TW104118222
    • 2015-06-05
    • 東曹股份有限公司TOSOH CORPORATION公益財團法人相模中央化學研究所SAGAMI CHEMICAL RESEARCH INSTITUTE
    • 尾池浩幸OIKE, HIROYUKI摩庭篤MANIWA, ATSUSHI古川泰志FURUKAWA, TAISHI河野和久KAWANO, KAZUHISA小礒尙之KOISO, NAOYUKI多田賢一TADA, KEN-ICHI
    • C07F15/06C23C16/18C23C16/455H01L21/285H01L21/768
    • C07F15/06C07C11/12C07C11/167C07C11/18C07C13/23C07C13/263C07F17/02C07F19/00C23C16/18
    • 本發明提供一種於在不使用氧化性氣體的條件下製作含有鈷的薄膜時有用的鈷錯合物。本發明的鈷錯合物是由通式(I)所表示。(式中,RA 表示通式(II)所表示的醯基、通式(III)所表示的1-三氟甲基-1-矽烷氧基烷基、通式(IV)所表示的N-烷基醯亞胺基或通式(V)所表示的烯基,m表示0或2;RB 及RC 表示氫原子或成為一體而形成碳數1~4的伸烷基的基團;RD 、RE 、RF 及RG 分別獨立地表示氫原子或碳數1~4的烷基;其中於m為2時,將RA 為醯基(II)、1-三氟甲基-1-矽烷氧基烷基(III)及烯基(V)的情形除外;於RA 為N-烷基醯亞胺基(IV)時,將RB 及RC 為成為一體而形成亞甲基的基團的情形除外),(式中,RH 表示氫原子或可經氟原子取代的碳數1~6的烷基),(式中,RH 與通式(II)的RH 表示相同含意;RI 表示碳數1~4的烷基)   (RJ 表示碳數1~6的烷基;RK表示可經二(碳數1~3的烷基)胺基取代的碳數1~6的烷基),(式中,RM 表示氫原子或碳數1~4的烷基;RL 表示碳數1~4的烷基;波浪線表示E/Z幾何異構物的任一種或該些幾何異構物的混合物)。
    • 本发明提供一种于在不使用氧化性气体的条件下制作含有钴的薄膜时有用的钴错合物。本发明的钴错合物是由通式(I)所表示。(式中,RA 表示通式(II)所表示的酰基、通式(III)所表示的1-三氟甲基-1-硅烷氧基烷基、通式(IV)所表示的N-烷基酰亚胺基或通式(V)所表示的烯基,m表示0或2;RB 及RC 表示氢原子或成为一体而形成碳数1~4的伸烷基的基团;RD 、RE 、RF 及RG 分别独立地表示氢原子或碳数1~4的烷基;其中于m为2时,将RA 为酰基(II)、1-三氟甲基-1-硅烷氧基烷基(III)及烯基(V)的情形除外;于RA 为N-烷基酰亚胺基(IV)时,将RB 及RC 为成为一体而形成亚甲基的基团的情形除外),(式中,RH 表示氢原子或可经氟原子取代的碳数1~6的烷基),(式中,RH 与通式(II)的RH 表示相同含意;RI 表示碳数1~4的烷基)   (RJ 表示碳数1~6的烷基;RK表示可经二(碳数1~3的烷基)胺基取代的碳数1~6的烷基),(式中,RM 表示氢原子或碳数1~4的烷基;RL 表示碳数1~4的烷基;波浪线表示E/Z几何异构物的任一种或该些几何异构物的混合物)。