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31. 发明专利

TW201506398A 超音波檢查裝置审中-公开
简体标题：超音波检查设备
公开(公告)号：TW201506398A
公开(公告)日：2015-02-16
申请号：TW103112513
申请日：2014-04-03
申请人：日立電力解決方案股份有限公司 , HITACHI POWER SOLUTIONS CO., LTD.
发明人：富田隆 , TOMITA, TAKASHI , 長岡宏和 , NAGAOKA, HIROKAZU , 北見薫 , KITAMI, KAORU , 高田雅文 , TAKADA, MASAFUMI
IPC分类号： G01N29/04 , G01N29/22
CPC分类号： G01N29/0672 , G01N29/11 , G01N29/265 , G01N29/28 , G01N2291/048
摘要：提供將殘留在載置被檢體的試料台的下面的氣泡去除，可進行效率佳的檢査的透過式超音波檢査裝置。超音波檢査裝置(100)係具有：收容水(5)的水槽(19)；被配置在水槽(19)內，載置被檢體(1)的試料台(2)；及以上下方向相對向配置，朝向被檢體(1)照射超音波的第1超音波換能器(3)、及接收透過被檢體的超音波的第2超音波換能器(4)，在試料台(2)的下面(23)側形成有親水性被膜。
简体摘要：提供将残留在载置被检体的试料台的下面的气泡去除，可进行效率佳的检查的透过式超音波检查设备。超音波检查设备(100)系具有：收容水(5)的水槽(19)；被配置在水槽(19)内，载置被检体(1)的试料台(2)；及以上下方向相对向配置，朝向被检体(1)照射超音波的第1超音波换能器(3)、及接收透过被检体的超音波的第2超音波换能器(4)，在试料台(2)的下面(23)侧形成有亲水性被膜。

32. 发明专利

TWI471558B 偵測超音波探頭上塗膠狀態的方法有权
简体标题：侦测超音波探头上涂胶状态的方法
公开(公告)号：TWI471558B
公开(公告)日：2015-02-01
申请号：TW102112885
申请日：2013-04-11
申请人：佳世達科技股份有限公司 , QISDA CORPORATION
发明人：張堂振 , CHANG, TANG CHEN
IPC分类号： G01N29/22 , G01N29/24
CPC分类号： G01N29/0654 , G01N29/11 , G01N29/48

33. 发明专利

TWI356165B 製備多個半導體晶圓之方法 METHOD FOR THE PRODUCTION OF A MULTIPLICITY OF SEMICONDUCTOR WAFERS 有权
简体标题：制备多个半导体晶圆之方法 METHOD FOR THE PRODUCTION OF A MULTIPLICITY OF SEMICONDUCTOR WAFERS
公开(公告)号：TWI356165B
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：TW096121736
申请日：2007-06-15
申请人：世創電子材料公司 , 山姆泰克股份有限公司
发明人：路德威格寇斯特 , 彼得蘇拉提斯 , 克勞斯克雷莫
IPC分类号： G01N , H01L
CPC分类号： G01N29/11 , G01N29/07 , G01N29/225 , G01N29/265 , G01N2291/044 , G01N2291/2626
摘要：本發明係關於一種檢測一鑄錠1中之機械缺陷4的方法，鑄錠1係由半導體材料所構成並具有至少一個平坦表面6及以與該表面成直角之方式測量為1公分至100公分之厚度，於所述方法期間，係經由藉液體偶合介質3與鑄錠1之該平坦表面6偶合之至少一超聲波頭(ultrasound head)2掃描鑄錠1之平坦表面6，且在每個測量點(x，y)產生至少一於鑄錠1之平坦表面6定向之超聲波脈衝8，源於鑄錠1之超聲波脈衝回波係經記錄為一時間函數，從而檢測來自平坦表面6之回波9、來自鑄錠1與該平坦表面相對之一表面7之回波11、以及其他可能之回波10，由該等其他回波10確定鑄錠1中機械缺陷4之位置(xp，yp，zp)。
本發明之標的亦包括進行本發明方法之設備、以及該方法於製備半導體晶片之方法鏈中之整合。
简体摘要：本发明系关于一种检测一铸锭1中之机械缺陷4的方法，铸锭1系由半导体材料所构成并具有至少一个平坦表面6及以与该表面成直角之方式测量为1公分至100公分之厚度，于所述方法期间，系经由藉液体偶合介质3与铸锭1之该平坦表面6偶合之至少一超声波头(ultrasound head)2扫描铸锭1之平坦表面6，且在每个测量点(x，y)产生至少一于铸锭1之平坦表面6定向之超声波脉冲8，源于铸锭1之超声波脉冲回波系经记录为一时间函数，从而检测来自平坦表面6之回波9、来自铸锭1与该平坦表面相对之一表面7之回波11、以及其他可能之回波10，由该等其他回波10确定铸锭1中机械缺陷4之位置(xp，yp，zp)。本发明之标的亦包括进行本发明方法之设备、以及该方法于制备半导体芯片之方法链中之集成。

34. 发明专利

TW200722749A 用超音波檢查熱滾壓材料的裝置 VORRICHTUNG ZUR ULTRASCHALLPRFUNG VON HEIBEM WALZMATERIAL 失效
简体标题：用超音波检查热滚压材料的设备 VORRICHTUNG ZUR ULTRASCHALLPRFUNG VON HEIBEM WALZMATERIAL
公开(公告)号：TW200722749A
公开(公告)日：2007-06-16
申请号：TW095127695
申请日：2006-07-28
申请人：喬格馬利安于特有限公司 GEORGSMARIENHTTE GMBH
发明人：亞瑟爾許圖伯 STBER, AXEL , 彼得范胡倫 VAN HLLEN, PETER
IPC分类号： G01N , B21B
CPC分类号： G01N29/228 , B21B38/00 , G01N29/043 , G01N29/11 , G01N29/262 , G01N29/27 , G01N2291/106 , G01N2291/2632
摘要：一種用超音波檢查熱滾壓材料的裝置,用於在一滾壓道的數個前後設置的滾子架之一的滾壓過程時作檢查,該裝置由至少二個滾子構成,該二滾子之間留一滾壓縫隙,其中有超音波檢查頭與該滾子配合,該超音波檢查頭的設置方式使該滾子體的一此部分本身當作滾壓縫隙中的通過路徑以供超音波通過到所要檢查的滾壓物上,其中:該設有超音波檢查頭(9)(10)的滾子(3)可以調移且具有直的橫廓形且其直徑為滾子縫隙寬度(2)的倍數,如此存在一大的滾壓角度(��),且這些滾子(3)設在滾壓道的最前數個滾子架之一中。
简体摘要：一种用超音波检查热滚压材料的设备,用于在一滚压道的数个前后设置的滚子架之一的滚压过程时作检查,该设备由至少二个滚子构成,该二滚子之间留一滚压缝隙,其中有超音波检查头与该滚子配合,该超音波检查头的设置方式使该滚子体的一此部分本身当作滚压缝隙中的通过路径以供超音波通过到所要检查的滚压物上,其中:该设有超音波检查头(9)(10)的滚子(3)可以调移且具有直的横廓形且其直径为滚子缝隙宽度(2)的倍数,如此存在一大的滚压角度(��),且这些滚子(3)设在滚压道的最前数个滚子架之一中。

35. 发明专利

TWI243385B 非破壞性核燃料護套管缺陷監測方法失效
简体标题：非破坏性核燃料护套管缺陷监测方法
公开(公告)号：TWI243385B
公开(公告)日：2005-11-11
申请号：TW093128124
申请日：2004-09-17
申请人：行政院原子能委員會核能研究所 INSTITUTE OF NUCLEAR ENERGY RESEARCH, AEC
发明人：彭康能 , 劉清士
IPC分类号： G21C , G01N , G01B
CPC分类号： G01N21/952 , G01N29/11 , G01N29/222 , G01N2291/044 , G01N2291/056 , G01N2291/102 , G01N2291/2634 , G21C17/017 , G21Y2002/201 , G21Y2002/204 , G21Y2002/304 , G21Y2004/40 , Y10S250/90 , Y10S250/901
摘要：本發明係有關一種非破壞性核燃料護套管缺陷監測方法，其主要係利用一檢測波發射器發出檢測波，以斜向入射一待測管，並於管相對於發射器之另一側設置一接收器。若管壁內部有液態物質存在，將可使檢測波產生折射現象，而可使接收器於一特定位置接收到折射後之檢測波信號。藉此機制遂可檢測出管的內部是否有液體存在，並進而檢測出管壁內部之液面高度。
简体摘要：本发明系有关一种非破坏性核燃料护套管缺陷监测方法，其主要系利用一检测波发射器发出检测波，以斜向入射一待测管，并于管相对于发射器之另一侧设置一接收器。若管壁内部有液态物质存在，将可使检测波产生折射现象，而可使接收器于一特定位置接收到折射后之检测波信号。借此机制遂可检测出管的内部是否有液体存在，并进而检测出管壁内部之液面高度。

36. 发明专利

TW200533911A 偵測金屬間之成帶現象(BANDING)之超音波方法 ULTRASONIC METHOD FOR DETECTING BANDING IN METALS 审中-公开
简体标题：侦测金属间之成带现象(BANDING)之超音波方法 ULTRASONIC METHOD FOR DETECTING BANDING IN METALS
公开(公告)号：TW200533911A
公开(公告)日：2005-10-16
申请号：TW094104903
申请日：2005-02-18
申请人：客寶公司 CABOT CORPORATION
发明人：查爾司E 崴克雪二世 WICKERSHAM, CHARLES E. JR.
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N29/4427 , C22C27/02 , G01N29/06 , G01N29/07 , G01N29/11 , G01N29/265 , G01N29/28 , G01N29/343 , G01N29/348 , G01N29/48 , G01N2291/0231 , G01N2291/044 , G01N2291/101 , G01N2291/2632 , G01N2291/2697
摘要：本發明闡述一種以非破壞性方式偵測一金屬內成帶區域之存在之方法。該方法包括發送一超音波至該金屬內及獲得反射信號。互相比較該等反射信號，以確定信號強度之變化。一金屬內之成帶區域可被觀測為一較一反射後壁信號為弱之反射信號，由此，可精確地識別該金屬內成帶現象之一位置。本發明亦闡述具有低百分比之成帶現象之金屬物件。
简体摘要：本发明阐述一种以非破坏性方式侦测一金属内成带区域之存在之方法。该方法包括发送一超音波至该金属内及获得反射信号。互相比较该等反射信号，以确定信号强度之变化。一金属内之成带区域可被观测为一较一反射后壁信号为弱之反射信号，由此，可精确地识别该金属内成带现象之一位置。本发明亦阐述具有低百分比之成带现象之金属对象。

37. 发明专利

TW584719B 用於測量打線機的自由振盪細管之幅度的方法和裝置失效
简体标题：用于测量打线机的自由振荡细管之幅度的方法和设备
公开(公告)号：TW584719B
公开(公告)日：2004-04-21
申请号：TW092103782
申请日：2003-02-24
申请人：艾斯克通商公司 ESEC TRADING SA
发明人：尼寇林諾安達 ONDA NICOLINO , 亞歷山大葛瑞柏 GREBER ALEXANDER , 彼得荷斯 HESS PETER , 馬庫斯米克勒 MICHLER MARKUS
IPC分类号： G01J
CPC分类号： G01N29/11 , B06B3/02 , G01N29/2418 , G01N2291/015 , H01L24/78 , H01L2224/78925 , H01L2924/00014 , H01L2924/12042 , H01L2224/45099 , H01L2924/00
摘要：用於測量夾在施加了由超音波轉換器(2)發出的超音波的角錐(3)上的細管(1)尖端振盪振幅的分量Ay的方法，其中測量是基於光束(6)被細管(1)遮蔽，並且其中光束(6)的強度通過光接收器(14)測量，細管被設置在光束的一側且不遮蔽光束，並被施加超音波。然後分步驟移動細管通過光束，其中，對於從i=0到n的每個步驟，光接收器輸出信號的直流電壓部分UDC(yi)和交流電壓部分UAC(yi)以及座標yi都可以被決定，其中座標yi代表了細管(1)相對於垂直於光束(6)的座標軸y的位置。然後可以從測量值中計算出分量Ay。
简体摘要：用于测量夹在施加了由超音波转换器(2)发出的超音波的角锥(3)上的细管(1)尖端振荡振幅的分量Ay的方法，其中测量是基于光束(6)被细管(1)屏蔽，并且其中光束(6)的强度通过光接收器(14)测量，细管被设置在光束的一侧且不屏蔽光束，并被施加超音波。然后分步骤移动细管通过光束，其中，对于从i=0到n的每个步骤，光接收器输出信号的直流电压部分UDC(yi)和交流电压部分UAC(yi)以及座标yi都可以被决定，其中座标yi代表了细管(1)相对于垂直于光束(6)的座标轴y的位置。然后可以从测量值中计算出分量Ay。

38. 发明专利

TW511205B 測試材料之方法失效
简体标题：测试材料之方法
公开(公告)号：TW511205B
公开(公告)日：2002-11-21
申请号：TW090113214
申请日：2001-08-30
申请人：哈尼威爾國際公司
发明人：魯索 B 葛瑞 , 羅納得 H 費爾明
IPC分类号： H01L
CPC分类号： G01N29/4445 , G01N29/11 , G01N29/265 , G01N29/30 , G01N2291/012 , G01N2291/015 , G01N2291/02854 , G01N2291/2632 , G01N2291/2698
摘要：本發明包括一種測試材料之方法，該材料為諸如濺射標的材料、用於電子應用之其它材料或其它一般需要材料整體均勻性之材料。該方法將至少穿越一部分材料而定出多數位置。音波能量相繼地照射穿越過該多數位置。偵測由音波能量引發之回聲。至少某些偵測的回聲與觸發偵測的回聲之多數位置的各別位置有關。處理與至少一種偵測的回聲之物理屬性相關的訊息以將偵測的回聲分類成材料中雜相的第一組象徵，及非為材料中雜相的第二組。再將第一組回聲分類成數群，而這些群定義為多數位置之毗連位置的回聲。一起分析及考量與一般群相關之個別的回聲以產生與材料中之雜相有關的訊息。
简体摘要：本发明包括一种测试材料之方法，该材料为诸如溅射标的材料、用于电子应用之其它材料或其它一般需要材料整体均匀性之材料。该方法将至少穿越一部分材料而定出多数码置。音波能量相继地照射穿越过该多数码置。侦测由音波能量引发之回声。至少某些侦测的回声与触发侦测的回声之多数码置的各别位置有关。处理与至少一种侦测的回声之物理属性相关的消息以将侦测的回声分类成材料中杂相的第一组象征，及非为材料中杂相的第二组。再将第一组回声分类成数群，而这些群定义为多数码置之毗连位置的回声。一起分析及考量与一般群相关之个别的回声以产生与材料中之杂相有关的消息。

39. 发明专利

TW490553B 超音波沃斯田焊縫檢驗方法及裝置失效
简体标题：超音波沃斯田焊缝检验方法及设备
公开(公告)号：TW490553B
公开(公告)日：2002-06-11
申请号：TW090125247
申请日：2001-10-12
申请人：芝加哥橋樑及鋼鐵公司
发明人：羅納德W 克魯利克
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N29/40 , G01N29/11 , G01N29/38 , G01N2291/015 , G01N2291/0234 , G01N2291/02854 , G01N2291/0421 , G01N2291/0422 , G01N2291/044 , G01N2291/106 , G01N2291/2675
摘要：一種雙元轉換器行列，用於自動式超音波檢驗沃斯田鐵材上的一焊縫，係藉用該焊縫之簡要描繪圖配置成形。該焊縫劃分為兩區域，並選用分立的轉換器來檢驗各個區域。上面區域係使用一潛變波轉換器來檢驗，而下面區域係使用一縱波轉換器來檢驗。該縱波轉換器係連接到一電腦處理器以服行「雙重任務」：與一組選通及增益設定連用，以處理所發出聲音的直接反射；及與另一組選通及增益設定連用，以處理該聲音間接的模式變換反射。選通設定係從簡圖量測聲音途徑距離而決定。測試板用以決定靈敏度設定並用以確定各轉換器備有充分之聲場寬度。
简体摘要：一种双元转换器行列，用于自动式超音波检验沃斯田铁材上的一焊缝，系藉用该焊缝之简要描绘图配置成形。该焊缝划分为两区域，并选用分立的转换器来检验各个区域。上面区域系使用一潜变波转换器来检验，而下面区域系使用一纵波转换器来检验。该纵波转换器系连接到一电脑处理器以服行“双重任务”：与一组选通及增益设置连用，以处理所发出声音的直接反射；及与另一组选通及增益设置连用，以处理该声音间接的模式变换反射。选通设置系从简图量测声音途径距离而决定。测试板用以决定灵敏度设置并用以确定各转换器备有充分之声场宽度。

40. 发明专利

TW463048B 使用超音波檢測陰極濺鍍標靶的實際缺陷大小之方法有权
简体标题：使用超音波检测阴极溅镀标靶的实际缺陷大小之方法
公开(公告)号：TW463048B
公开(公告)日：2001-11-11
申请号：TW089122799
申请日：2001-02-20
申请人：普拉塞爾S T 科技股份有限公司
发明人：保羅S 吉爾曼 , 亞福瑞德史諾曼 , 安德烈迪瑟特
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N29/11 , G01N29/30 , G01N2291/0289 , G01N2291/044
摘要：提供一種用超音波檢驗測定標靶內在缺陷實際大小之方法,其中超音波檢驗所產生之訊號振幅與藉由使用光學顯微鏡或掃描電子顯微鏡獲得之金相大小量度比較。由此比較,可以得到相互關係之因數,決定超音波量度的準確性。對於特定之濺鍍標靶材料,超音波檢驗得到缺陷大小之後可以乘以相互關係因數而決定該缺陷之實際缺陷大小。利用實際缺陷大小決定超音波檢得之缺陷大小,提供一種比先前方法之缺陷大小有更為準確之測定,並提供一種用於關鍵電路製造作業對於接收與剔退之可靠方式。
简体摘要：提供一种用超音波检验测定标靶内在缺陷实际大小之方法,其中超音波检验所产生之信号振幅与借由使用光学显微镜或扫描电子显微镜获得之金相大小量度比较。由此比较,可以得到相互关系之因子,决定超音波量度的准确性。对于特定之溅镀标靶材料,超音波检验得到缺陷大小之后可以乘以相互关系因子而决定该缺陷之实际缺陷大小。利用实际缺陷大小决定超音波检得之缺陷大小,提供一种比先前方法之缺陷大小有更为准确之测定,并提供一种用于关键电路制造作业对于接收与剔退之可靠方式。

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