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    • 31. 发明专利
    • 微影成像用洗淨劑
    • 微影成像用洗净剂
    • TW591348B
    • 2004-06-11
    • TW087109997
    • 1998-06-22
    • 克拉瑞國際股份有限公司 CLARIANT INTERNATIONAL LTD.
    • 武田貴志 TAKASHI TAKEDA
    • G03F
    • C11D7/3227C11D7/261C11D7/263C11D7/264C11D7/266C11D7/5022C11D11/0041G03F7/16G03F7/422H01L21/31133
    • 目的:本案提供一種微影成像用洗淨劑,可用於洗淨塗杯內等之塗佈裝置。除去抗蝕劑塗佈時或塗佈後基板上不要的抗蝕劑,從達成抗蝕劑使用目的後的基板上除去抗蝕劑,洗淨除去抗蝕劑後的基板,以及淋洗等,有優良的抗蝕劑溶解性,對人體的安全性高。
      構成:微影成像用洗淨劑,係由選自包含丙二醇烷基醚、丙二醇烷基醚乙酸酯、乙二醇烷基醚、乙二醇烷基醚乙酸烷基酯、乙酸烷基酯、丙酸烷基酯、烷氧基丙酸烷基酯、乳酸烷基酯、脂肪族酮(酮類)和烷氧基丁醇之至少一種有機溶劑,與選自烷基中含碳數1至4的醇類之至少一種醇,構成之均質溶液。使用丙二醇單甲醚乙酸酯和乙醇之混合溶液時,可得溶解性特優之洗淨劑。
    • 目的:本案提供一种微影成像用洗净剂,可用于洗净涂杯内等之涂布设备。除去抗蚀剂涂布时或涂布后基板上不要的抗蚀剂,从达成抗蚀剂使用目的后的基板上除去抗蚀剂,洗净除去抗蚀剂后的基板,以及淋洗等,有优良的抗蚀剂溶解性,对人体的安全性高。 构成:微影成像用洗净剂,系由选自包含丙二醇烷基醚、丙二醇烷基醚乙酸酯、乙二醇烷基醚、乙二醇烷基醚乙酸烷基酯、乙酸烷基酯、丙酸烷基酯、烷氧基丙酸烷基酯、乳酸烷基酯、脂肪族酮(酮类)和烷氧基丁醇之至少一种有机溶剂,与选自烷基中含碳数1至4的醇类之至少一种醇,构成之均质溶液。使用丙二醇单甲醚乙酸酯和乙醇之混合溶液时,可得溶解性特优之洗净剂。
    • 35. 发明专利
    • 等密度粒或微粒 EQUAL DENSITY PELLETS OR MICRO PELLETS
    • TW200404659A
    • 2004-04-01
    • TW092124196
    • 2003-09-02
    • 克拉瑞國際股份有限公司 CLARIANT INTERNATIONAL LTD.
    • 為德門珍 法蘭斯 WITTMANN, JEAN-FRANCOIS
    • B29B
    • C08J3/226Y10T428/29
    • 本發明係關於包含具有至少兩種不同化學組成物之一或多種單一顏料濃縮物(SPCs)和一或多種添加劑濃縮物的丸粒或微粒,或者是具有至少兩種不同化學組成物之兩或多種單一顏料濃縮物(SPCs)的丸粒或微粒,或者是具有至少兩種不同化學組成物之兩或多種添加劑濃縮物的丸粒或微粒之色母料(masterbatch),其特徵在於具有化學組成物之丸粒或微粒實質上具有相等的密度、大小、形狀和/或靜電性質。本發明尚關於一種製備該種丸粒或微粒之方法,其中以具有一種化學組成物的單一顏料濃縮物(SPC)或添加劑濃縮物的比重做為參考值,並且藉由改變(SPCs中)顏料或(添加濃縮物中)添加劑濃度,或者是在SPCs或添加劑濃縮物中添加一種填料或吹泡劑的方式,將所有其它種SPCs或添加劑濃縮物的比重調整成比重參考值。
    • 本发明系关于包含具有至少两种不同化学组成物之一或多种单一颜料浓缩物(SPCs)和一或多种添加剂浓缩物的丸粒或微粒,或者是具有至少两种不同化学组成物之两或多种单一颜料浓缩物(SPCs)的丸粒或微粒,或者是具有至少两种不同化学组成物之两或多种添加剂浓缩物的丸粒或微粒之色母料(masterbatch),其特征在于具有化学组成物之丸粒或微粒实质上具有相等的密度、大小、形状和/或静电性质。本发明尚关于一种制备该种丸粒或微粒之方法,其中以具有一种化学组成物的单一颜料浓缩物(SPC)或添加剂浓缩物的比重做为参考值,并且借由改变(SPCs中)颜料或(添加浓缩物中)添加剂浓度,或者是在SPCs或添加剂浓缩物中添加一种填料或吹泡剂的方式,将所有其它种SPCs或添加剂浓缩物的比重调整成比重参考值。