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    • 22. 发明专利
    • 可堆疊的半導體測試系統及其操作方法 STACKABLE SEMICONDUCTOR TEST SYSTEM AND METHOD FOR OPERATING SAME
    • 可堆栈的半导体测试系统及其操作方法 STACKABLE SEMICONDUCTOR TEST SYSTEM AND METHOD FOR OPERATING SAME
    • TWI227784B
    • 2005-02-11
    • TW091122660
    • 2002-10-01
    • 奈泰斯特系統股份有限公司 NEXTEST SYSTEMS CORPORATION
    • 保羅.麥格利可 MAGLIOCCO, PAUL雷.維克費爾德 WAKEFIELD, RAY保羅.楚杜 TRUDEAU, PAUL G.
    • G01R
    • G01R31/31912G01R31/31903G01R31/31907
    • 一測試器之組態被設定成堆疊至少一個其他的測試器,以便提供一可在不同的測試器上以平行之方式同時測試若干裝置或者可測試接腳數大於一單一測試器所能測試的接腳數的一裝置之測試系統。該測試器包含一具有若干接腳電子部分通道之測試單元、用來作為該裝置的介面之一介面、以及一用來作為該測試系統中的一主電腦的介面之一電腦。可將該等測試器直接相互扣接,或將該等測試器扣接到一共用固定框。該介面最好是可使一單一的裝置介面板同時嚙合多個測試器上的介面。該介面尤其最好是自該測試器的一上表面延伸,而嚙合該裝置介面板。一外殼的上表面及前表面中之各通氣孔可使空氣移動,以便在不會有來自該外殼的側面或背面上的測試器阻礙之情形下,冷卻該測試器的各組件。
    • 一测试器之组态被设置成堆栈至少一个其他的测试器,以便提供一可在不同的测试器上以平行之方式同时测试若干设备或者可测试接脚数大于一单一测试器所能测试的接脚数的一设备之测试系统。该测试器包含一具有若干接脚电子部分信道之测试单元、用来作为该设备的界面之一界面、以及一用来作为该测试系统中的一主电脑的界面之一电脑。可将该等测试器直接相互扣接,或将该等测试器扣接到一共享固定框。该界面最好是可使一单一的设备界面板同时啮合多个测试器上的界面。该界面尤其最好是自该测试器的一上表面延伸,而啮合该设备界面板。一外壳的上表面及前表面中之各通气孔可使空气移动,以便在不会有来自该外壳的侧面或背面上的测试器阻碍之情形下,冷却该测试器的各组件。
    • 24. 发明专利
    • 具進展視窗之測試執行系統
    • 具进展窗口之测试运行系统
    • TW559664B
    • 2003-11-01
    • TW091107947
    • 2002-04-18
    • 安捷倫科技公司
    • 克里斯多夫K 薩頓
    • G01R
    • G01R31/31912
    • 一種可令使用者一目瞭然地觀察測試之進展與狀態之具有進展視窗(330)之電子測試系統(100)。進展視窗(330)較佳地係以沿表示測試程序長度之進展軸(400)分組之測試結果的圖形元件(403、404)所組成。每一圖形元件(403、404)較佳地係以條塊顯示,此條塊具有垂直於進展軸(400)之表示結果值的條塊長度。規格範圍(602、603)較佳地係以平行於進展軸(400)之線段(401A、401B)表示。位於進展軸(400)上方之線段(401A)係表示較高規格範圍(602)且位於進展軸(400)下方之線段(401B)則係表示較低規格範圍(603)。此等條塊係以彩色編碼以顯示測試之通過、失敗、與臨界狀態。
    • 一种可令用户一目了然地观察测试之进展与状态之具有进展窗口(330)之电子测试系统(100)。进展窗口(330)较佳地系以沿表示测试进程长度之进展轴(400)分组之测试结果的图形组件(403、404)所组成。每一图形组件(403、404)较佳地系以条块显示,此条块具有垂直于进展轴(400)之表示结果值的条块长度。规格范围(602、603)较佳地系以平行于进展轴(400)之线段(401A、401B)表示。位于进展轴(400)上方之线段(401A)系表示较高规格范围(602)且位于进展轴(400)下方之线段(401B)则系表示较低规格范围(603)。此等条块系以彩色编码以显示测试之通过、失败、与临界状态。
    • 26. 发明专利
    • 空間分離式點狀圖型之偵測和評估的設備及方法
    • 空间分离式点状图型之侦测和评估的设备及方法
    • TW314624B
    • 1997-09-01
    • TW085116271
    • 1996-12-30
    • 西門斯股份有限公司
    • 彼得菲德爾
    • G11C
    • H01L22/20G01R13/206G01R31/31912H01L2924/0002Y10S706/916H01L2924/00
    • 本發明係有關一種用來偵測和評估配置於多維座標系統內的空間分離式點狀圖型之設備及方法,而假定該圖型內的每一個點至少都有兩個可微分狀態值。本發明包含用來記錄多維空間點狀圖型上每一個點的座標值及狀態值之測量元件(1,2,3,5,6) ;用來儲存對應於所記錄多維空間點狀圖型上每一個點的座標值及狀態值之資料的記憶體(7) ;附有記憶體(7)之計算器(6,10),將所儲存之資料罝入其內,並由所儲存之資料決定座標軸上的每一個座標值之座標計數器(SZ1-SZ1024,ZZ1-ZZ256); 其中座標計數器(SZ1-SZ1024,ZZ1-ZZ256)的值是由所偵測具預設狀態值之座標上的許多點形成的;神經網路(NNl,NN2,NN3)內附有計算器(6,10),其中置入由空間分離式點狀圖型上每一個點所計算出的座標計數器(SZ1-SZ1024,ZZ1-ZZ256)所形成的n-維輸入向量之成分(El- E27),並藉著比較由所測量點狀圖型算出的輸入向量、及儲存其內且以說明用點狀圖型為基礎所得到之定點向量而計算輸出向量,且由確定的輸出向量設定所測量點狀圖型之分類值並將之輸出。
    • 本发明系有关一种用来侦测和评估配置于多维座标系统内的空间分离式点状图型之设备及方法,而假定该图型内的每一个点至少都有两个可微分状态值。本发明包含用来记录多维空间点状图型上每一个点的座标值及状态值之测量组件(1,2,3,5,6) ;用来存储对应于所记录多维空间点状图型上每一个点的座标值及状态值之数据的内存(7) ;附有内存(7)之计算器(6,10),将所存储之数据罝入其内,并由所存储之数据决定座标轴上的每一个座标值之座标计数器(SZ1-SZ1024,ZZ1-ZZ256); 其中座标计数器(SZ1-SZ1024,ZZ1-ZZ256)的值是由所侦测具默认状态值之座标上的许多点形成的;神经网络(NNl,NN2,NN3)内附有计算器(6,10),其中置入由空间分离式点状图型上每一个点所计算出的座标计数器(SZ1-SZ1024,ZZ1-ZZ256)所形成的n-维输入矢量之成分(El- E27),并借着比较由所测量点状图型算出的输入矢量、及存储其内且以说明用点状图型为基础所得到之定点矢量而计算输出矢量,且由确定的输出矢量设置所测量点状图型之分类值并将之输出。
    • 27. 发明专利
    • 檢查裝置
    • 检查设备
    • TW312827B
    • 1997-08-11
    • TW085116007
    • 1996-12-24
    • 東京電子股份有限公司
    • 田中秀明阿部祐一
    • H01L
    • G01R1/025G01R31/2851G01R31/2893G01R31/31912
    • 本發明之主要目的在於提供一種檢查裝置,此檢查裝置即使在檢查當中,也能夠即時地掌握裝置本體內部之被檢查體之檢查狀況和所在場所等之晶圓狀態。
      又,本發明之另一目的在於提供一種檢查裝置,此檢查裝置不需要印表機和消耗品,同時能夠將被檢查體之檢查結果以短時間且容易檢索,通過視覺能直接且在短時間內得知良品、不良品之分布狀態和良品率等檢查結果。
    • 本发明之主要目的在于提供一种检查设备,此检查设备即使在检查当中,也能够实时地掌握设备本体内部之被检查体之检查状况和所在场所等之晶圆状态。 又,本发明之另一目的在于提供一种检查设备,此检查设备不需要打印机和消耗品,同时能够将被检查体之检查结果以短时间且容易检索,通过视觉能直接且在短时间内得知良品、不良品之分布状态和良品率等检查结果。