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21. 发明专利

TWI253479B 混合器、薄膜製造裝置及薄膜製造方法有权
简体标题：混合器、薄膜制造设备及薄膜制造方法
公开(公告)号：TWI253479B
公开(公告)日：2006-04-21
申请号：TW091135080
申请日：2002-12-03
申请人：愛發科股份有限公司 ULVAC, INC.
发明人：山田貴一 YAMADA, TAKAKAZU , 增田健 MASUDA, TAKESHI , 沼雅彥 KAJINUMA, MASAHIKO , 植松正紀 UEMATSU, MASAKI , 鄒紅罡 SUU, KOUKOU
IPC分类号： C23C , H01L , B01J
CPC分类号： C23C16/45502 , B01F3/02 , B01F5/0256 , B01F2215/0427 , B01J4/001 , B01J10/02 , B01J19/247 , C23C16/4412 , C23C16/45512 , C23C16/45519 , C23C16/4558 , C23C16/4585 , H01L21/67017
摘要：一種混合器、薄膜製造裝置及薄膜製造方法，是具有：二支氣體導入管5、6分別將氣體導入口5a、5b互相設成對向的攪拌室2、及混合氣體的擴散室3，在攪拌室及擴散室之間，設置特定形狀之間隔板4使擴散室容積大於攪拌室容積，在間隔板，是在連結二個氣體導入口之直線的垂直方向下側之預定位置設有一個噴氣口7，可均勻地來混合重量不同之氣體的簡單構成之混合器1。間隔板，對於混合器之底部具有凸狀的二次曲線形狀。使用具備該混合器1之薄膜製造裝置及在該混合器內混合成均勻的成膜氣體來形成薄膜之薄膜製造方法。
又，以簡單的構造且低廉的成本可製作，並且，可抑制亂流、對流及熱對流的產生可將混合氣體的氣流形成均勻的薄膜製造裝置中，在真空反應室2內部設有載置基板的載物台53，對向於載物台53在真空反應室2上面之中央部配設氣頭57來導入成膜氣體到真空反應室內。密接於載物台53的側壁，設置具有預定長度之圓筒形狀的套管構件61來包圍其周圍，介於該套管構件及構成反應室的內壁面之間的間隙，使排氣在形成氣頭及載物台的第1空間內不會對流而從第1空間來各向排氣，連接真空排氣手段55之載物台下側的第2空間之容積在比第1空間之容積更大的位置來設定載物台之高度位置。
简体摘要：一种混合器、薄膜制造设备及薄膜制造方法，是具有：二支气体导入管5、6分别将气体导入口5a、5b互相设成对向的搅拌室2、及混合气体的扩散室3，在搅拌室及扩散室之间，设置特定形状之间隔板4使扩散室容积大于搅拌室容积，在间隔板，是在链接二个气体导入口之直线的垂直方向下侧之预定位置设有一个喷气口7，可均匀地来混合重量不同之气体的简单构成之混合器1。间隔板，对于混合器之底部具有凸状的二次曲线形状。使用具备该混合器1之薄膜制造设备及在该混合器内混合成均匀的成膜气体来形成薄膜之薄膜制造方法。又，以简单的构造且低廉的成本可制作，并且，可抑制乱流、对流及热对流的产生可将混合气体的气流形成均匀的薄膜制造设备中，在真空反应室2内部设有载置基板的载物台53，对向于载物台53在真空反应室2上面之中央部配设气头57来导入成膜气体到真空反应室内。密接于载物台53的侧壁，设置具有预定长度之圆筒形状的套管构件61来包围其周围，介于该套管构件及构成反应室的内壁面之间的间隙，使排气在形成气头及载物台的第1空间内不会对流而从第1空间来各向排气，连接真空排气手段55之载物台下侧的第2空间之容积在比第1空间之容积更大的位置来设置载物台之高度位置。

22. 发明专利

TW577770B 粒子微細化裝置失效
简体标题：粒子微细化设备
公开(公告)号：TW577770B
公开(公告)日：2004-03-01
申请号：TW091111481
申请日：2002-05-29
申请人：唐澤美的股份有限公司
发明人：唐澤幸彥
IPC分类号： B01F
CPC分类号： B02C19/065 , B01F3/0807 , B01F3/12 , B01F5/0256 , B01F5/0268 , B01F5/0275 , B01F5/0287 , B01F2003/1257
摘要：提供一種可以抑制構件之損耗之粒子微細化裝置。
備有，大致在於同一之直線上，出口之接近面向地被配置之二個流路8a，8a，以及設置於該流路之其中之一位置，而較該流路為小之徑之貫穿孔9，9。
由一方之貫穿孔9所噴射之液體之不能到達於另一方之貫穿孔9地予以配置者。
(選擇圖)第1圖。
简体摘要：提供一种可以抑制构件之损耗之粒子微细化设备。备有，大致在于同一之直在线，出口之接近面向地被配置之二个流路8a，8a，以及设置于该流路之其中之一位置，而较该流路为小之径之贯穿孔9，9。由一方之贯穿孔9所喷射之液体之不能到达于另一方之贯穿孔9地予以配置者。 (选择图)第1图。

23. 发明专利

TW360585B 彈性體組合物與其製備方法及裝置失效
简体标题：弹性体组合物与其制备方法及设备
公开(公告)号：TW360585B
公开(公告)日：1999-06-11
申请号：TW085107121
申请日：1996-06-13
申请人：客寶公司
发明人：史考特.安德里安.威斯特維 , 艾凡.札拉克.波多尼克 , 艾倫.克拉克.莫根 , 佛德里克.亨利.魯夫 , 曼林達.安.馬伯里 , 麥柯林.約翰.安德魯 , 賓忠
IPC分类号： B29B
CPC分类号： C08J3/215 , B01F5/0256 , B29B7/7495 , B29B7/76 , B29B15/04 , B29K2021/00 , B29K2105/16 , C08C1/15 , C08J3/205 , C08J2321/00 , C08K3/04 , C08K3/36 , C08L21/00
摘要：彈性體組合物係經由新穎之連續流動方法及裝置而製造，其中將微粒狀填充劑及彈性體乳膠之流體流進料至一種凝聚乳膠(coagulum)反應器之混合區，以生成自混合區連續地流動通過一凝聚乳膠區至反應區之一排出端之一種混合物。微粒狀填充劑流體係於高壓力下進料至混合物，諸如以生成一種噴射流以充分有力地帶入彈性體乳膠流體，以於排出端之前實質完全地凝聚彈性體與微粒狀填充劑，混合物於凝聚乳膠區中之半－受限制之流動較佳地係以自混合區至排出端之逐漸地增加凝聚乳膠區之剖面尺寸而達成。可達成高度有效並且有效率之彈性體凝聚作用而無包括暴露於酸或鹽溶液或其類似物之一種凝聚作用階段之需要。除了可與使用習用之酸或鹽凝聚作用技術面可達成者比較之彈性體組合物以外，新穎之彈性體組合物可係使用先前難以處理之填充劑(諸如特別高之表面積及低結構、及其他性質之碳黑)而製備，及／或具有直到此時未能達成之性質性能、填充劑分散程度、彈性體分子量分布、或任何之此等性質之組合。
简体摘要：弹性体组合物系经由新颖之连续流动方法及设备而制造，其中将微粒状填充剂及弹性体乳胶之流体流进料至一种凝聚乳胶(coagulum)反应器之混合区，以生成自混合区连续地流动通过一凝聚乳胶区至反应区之一排出端之一种混合物。微粒状填充剂流体系于高压力下进料至混合物，诸如以生成一种喷射流以充分有力地带入弹性体乳胶流体，以于排出端之前实质完全地凝聚弹性体与微粒状填充剂，混合物于凝聚乳胶区中之半－受限制之流动较佳地系以自混合区至排出端之逐渐地增加凝聚乳胶区之剖面尺寸而达成。可达成高度有效并且有效率之弹性体凝聚作用而无包括暴露于酸或盐溶液或其类似物之一种凝聚作用阶段之需要。除了可与使用习用之酸或盐凝聚作用技术面可达成者比较之弹性体组合物以外，新颖之弹性体组合物可系使用先前难以处理之填充剂(诸如特别高之表面积及低结构、及其他性质之碳黑)而制备，及／或具有直到此时未能达成之性质性能、填充剂分散程度、弹性体分子量分布、或任何之此等性质之组合。

24. 发明专利

TW330157B 氣液接觸裝置失效
简体标题：气液接触设备
公开(公告)号：TW330157B
公开(公告)日：1998-04-21
申请号：TW086106551
申请日：1997-05-16
申请人：三菱重工業股份有限公司
发明人：岩下浩一郎 , 岩崎謙二 , 長谷川繁夫 , ?口保 , 鵜川直彥
IPC分类号： B01D , B29C
CPC分类号： B01D53/18 , B01F5/0256 , B01F5/205 , Y10S261/09
摘要：本發明之目的在於提供：使用在濕式排煙脫硫裝置等中之具有優異的耐磨損性、耐腐蝕性且輕量又價廉的母管之具優異的可靠性和經濟性的氣液接觸裝置。本發明的氣液接觸裝置係針對於在供氣體流通的塔本體內部配設了安裝有可將漿液往上方噴出的噴嘴的母管而構成的氣液接觸裝置，其特徵為：將前述母管的外側面、或內側面和外側面的雙方均以已作成由混入了陶瓷粒子的樹脂所成的耐腐蝕。耐磨損層的纖維強化樹脂複合材料來形成。
简体摘要：本发明之目的在于提供：使用在湿式排烟脱硫设备等中之具有优异的耐磨损性、耐腐蚀性且轻量又价廉的母管之具优异的可靠性和经济性的气液接触设备。本发明的气液接触设备系针对于在供气体流通的塔本体内部配设了安装有可将浆液往上方喷出的喷嘴的母管而构成的气液接触设备，其特征为：将前述母管的外侧面、或内侧面和外侧面的双方均以已作成由混入了陶瓷粒子的树脂所成的耐腐蚀。耐磨损层的纤维强化树脂复合材料来形成。

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