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21. 发明专利

TW201632561A 酚醛型酚樹脂、其製造方法、感光性組成物、抗蝕劑材料、及塗膜审中-公开
简体标题：酚醛型酚树脂、其制造方法、感光性组成物、抗蚀剂材料、及涂膜
公开(公告)号：TW201632561A
公开(公告)日：2016-09-16
申请号：TW104136833
申请日：2015-11-09
申请人：迪愛生股份有限公司 , DIC CORPORATION
发明人：今田知之 , IMADA, TOMOYUKI , 佐藤勇介 , SATO, YUSUKE
IPC分类号： C08G8/20 , C09D161/12 , G03F7/032
CPC分类号： C08G8/20 , C07C39/15 , C08L61/12 , C08L2205/025 , G03F7/0236 , G03F7/039
摘要：本發明提供一種耐熱性優異且對g射線、h射線、及i射線之曝光波長之吸光度低、高感度之感光性組成物、抗蝕劑材料、其塗膜、及適於該等用途之酚醛型酚樹脂及其製造方法。具體而言，提供一種酚醛型酚樹脂，其特徵在於：其係由酚系三核體化合物(A1)及酚系三核體化合物(A2)構成，該酚系三核體化合物(A1)係藉由二烷基取代苯酚與含有羥基之芳香族醛之縮合反應而獲得，該酚系三核體化合物(A2)係藉由在2,3位、2,5位、3,4位或3,5位之位置具有烷基之二烷基取代苯酚與不具有羥基之芳香族醛之縮合反應而獲得，且該酚醛型酚樹脂係於存在酸觸媒之條件下使酚系三核體化合物(A)與甲醛進行反應而獲得，該酚系三核體化合物(A)之上述酚系三核體化合物(A1)與上述酚系三核體化合物(A2)之莫耳比為20：80~90：10。
简体摘要：本发明提供一种耐热性优异且对g射线、h射线、及i射线之曝光波长之吸光度低、高感度之感光性组成物、抗蚀剂材料、其涂膜、及适于该等用途之酚醛型酚树脂及其制造方法。具体而言，提供一种酚醛型酚树脂，其特征在于：其系由酚系三核体化合物(A1)及酚系三核体化合物(A2)构成，该酚系三核体化合物(A1)系借由二烷基取代苯酚与含有羟基之芳香族醛之缩合反应而获得，该酚系三核体化合物(A2)系借由在2,3位、2,5位、3,4位或3,5位之位置具有烷基之二烷基取代苯酚与不具有羟基之芳香族醛之缩合反应而获得，且该酚醛型酚树脂系于存在酸触媒之条件下使酚系三核体化合物(A)与甲醛进行反应而获得，该酚系三核体化合物(A)之上述酚系三核体化合物(A1)与上述酚系三核体化合物(A2)之莫耳比为20：80~90：10。

22. 发明专利

TW201602218A 永久膜用感光性組成物、光阻材料、及塗膜审中-公开
简体标题：永久膜用感光性组成物、光阻材料、及涂膜
公开(公告)号：TW201602218A
公开(公告)日：2016-01-16
申请号：TW104118066
申请日：2015-06-04
申请人：迪愛生股份有限公司 , DIC CORPORATION
发明人：今田知之 , IMADA, TOMOYUKI , 木本誠二 , KIMOTO, SEIJI , 佐藤勇介 , SATO, YUSUKE
IPC分类号： C08L61/06 , C08G8/10 , G03F7/039 , H01L21/312 , H01L23/29 , H01L23/31 , H05K3/28
CPC分类号： G03F7/039 , C08G8/08 , C08G8/12 , C08G8/26 , C09D161/06 , G03F7/0236 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/2002 , G03F7/322
摘要：本發明的目的在於：提供光感度、解析度、耐熱性、及耐吸濕性優異，且在高溫環境下難以產生污染，適合作為永久膜的材料的感光性組成物等；提供一種永久膜用感光性組成物，含有具有用一般式(1)所表示的構造部位(I)作為重複單元，用一般式(2)所表示的羥萘類(A)的含量係以樹脂固體成分換算為2質量%以下的羥萘酚醛清漆樹脂，不含有硬化劑，或是含有相對於前述樹脂100質量份為50質量份以下的硬化劑[式中，R1表示氫原子、烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、或者鹵素原子，複數個存在的R1可以是彼此相同的也可以是不同的，R2表示氫原子、烷基、或者芳基，p表示1或者2，q表示4或者5。其中，p和q的和為6。]。
简体摘要：本发明的目的在于：提供光感度、分辨率、耐热性、及耐吸湿性优异，且在高温环境下难以产生污染，适合作为永久膜的材料的感光性组成物等；提供一种永久膜用感光性组成物，含有具有用一般式(1)所表示的构造部位(I)作为重复单元，用一般式(2)所表示的羟萘类(A)的含量系以树脂固体成分换算为2质量%以下的羟萘酚醛清漆树脂，不含有硬化剂，或是含有相对于前述树脂100质量份为50质量份以下的硬化剂[式中，R1表示氢原子、烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、或者卤素原子，复数个存在的R1可以是彼此相同的也可以是不同的，R2表示氢原子、烷基、或者芳基，p表示1或者2，q表示4或者5。其中，p和q的和为6。]。

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