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21. 发明专利

TW201217252A 搬送處理裝置及處理裝置 TRANSFER PROCESSING APPARATUS AND PROCESSING APPARATUS 审中-公开
简体标题：搬送处理设备及处理设备 TRANSFER PROCESSING APPARATUS AND PROCESSING APPARATUS
公开(公告)号：TW201217252A
公开(公告)日：2012-05-01
申请号：TW100120595
申请日：2011-06-13
申请人：愛發科股份有限公司
发明人：武者和博 , 南展史
IPC分类号： B65G
CPC分类号： H01L21/68707 , H01L21/67742
摘要： [課題]提供一種沒有必要擔心纜線斷線且能高精度地進行動作之定位等的搬送處理裝置，及處理裝置。[解決手段]在搬送處理裝置3中，透過支持構件10a及10b而在和形成於搬送機器人8的手部16之保持部18偏離的位置處，配置第1及第2電極9a及9b。且經由彼等電極對保持部18的機能性黏著元件19施加電場。因此，沒有必要在搬送機器人8上設置電極，所以在搬送機器人8動作時，連接於電極的纜線不會被拉扯。又因為沒有必要在搬送機器人8上設置電源，所以搬送機器人8不會大型化而重量變重。其結果，沒有纜線斷線之虞，且能實現基於搬送處理裝置3之高精度的動作定位等。
简体摘要： [课题]提供一种没有必要担心缆线断线且能高精度地进行动作之定位等的搬送处理设备，及处理设备。[解决手段]在搬送处理设备3中，透过支持构件10a及10b而在和形成于搬送机器人8的手部16之保持部18偏离的位置处，配置第1及第2电极9a及9b。且经由彼等电极对保持部18的机能性黏着组件19施加电场。因此，没有必要在搬送机器人8上设置电极，所以在搬送机器人8动作时，连接于电极的缆线不会被拉扯。又因为没有必要在搬送机器人8上设置电源，所以搬送机器人8不会大型化而重量变重。其结果，没有缆线断线之虞，且能实现基于搬送处理设备3之高精度的动作定位等。

22. 发明专利

TW201209954A 基板搬送方法及基板搬送系統 SUBSTRATE TRANSFER METHOD AND SUBSTRATE TRANSFER SYSTEM 审中-公开
简体标题：基板搬送方法及基板搬送系统 SUBSTRATE TRANSFER METHOD AND SUBSTRATE TRANSFER SYSTEM
公开(公告)号：TW201209954A
公开(公告)日：2012-03-01
申请号：TW100126537
申请日：2011-07-27
申请人：愛發科股份有限公司
发明人：南展史 , 武者和博
IPC分类号： H01L
CPC分类号： B65G47/92 , H01L21/67742 , H01L21/67748 , H01L21/6831
摘要：本發明係提供一種不損及位置精確度而能迅速移置基板的基板搬送方法及基板搬送系統。將靜電夾盤機構使用於以搬送機械臂之保持面210所進行的基板W之保持,在使保持面210產生靜電吸著力的狀態下,將基板W由支撐面303移置到保持面210。藉此,因基板W在被轉移至保持面210之後,立即可藉由靜電吸著力來保持基板,故能迅速的執行基板W的搬送動作,且能縮短在處理室間之基板的搬送時間。
简体摘要：本发明系提供一种不损及位置精确度而能迅速移置基板的基板搬送方法及基板搬送系统。将静电夹盘机构使用于以搬送机械臂之保持面210所进行的基板W之保持,在使保持面210产生静电吸着力的状态下,将基板W由支撑面303移置到保持面210。借此,因基板W在被转移至保持面210之后,立即可借由静电吸着力来保持基板,故能迅速的运行基板W的搬送动作,且能缩短在处理室间之基板的搬送时间。

23. 发明专利

TW201133701A 基板保持裝置 SUBSTRATE HOLDING APPARATUS 审中-公开
简体标题：基板保持设备 SUBSTRATE HOLDING APPARATUS
公开(公告)号：TW201133701A
公开(公告)日：2011-10-01
申请号：TW099145310
申请日：2010-12-22
申请人：愛發科股份有限公司
发明人：南展史 , 武者和博
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/6831 , H01L21/67742 , H01L21/68707
摘要：本發明係提供一種不會受到處理溫度影響，即使被處理基板翹曲了，亦可保持於正確位置之基板保持裝置。基板保持裝置1係具備支撐構件9、及保持體5、6。支撐構件9係具有表面10，而表面10係與被處理基板W相對。靜電夾盤5、6係具有電絕緣體，而得以對設於電絕緣體內之電極施加電壓。靜電夾盤5、6係為了接觸包含被處理基板W之中心的中央部21與被處理基板W之邊緣部74之間的區域23並在支撐構件9上保持被處理基板W，而設置成從支撐構件9之表面10突出，藉由控制對電極施加電壓，可控制被處理基板W之保持力。
简体摘要：本发明系提供一种不会受到处理温度影响，即使被处理基板翘曲了，亦可保持于正确位置之基板保持设备。基板保持设备1系具备支撑构件9、及保持体5、6。支撑构件9系具有表面10，而表面10系与被处理基板W相对。静电夹盘5、6系具有电绝缘体，而得以对设于电绝缘体内之电极施加电压。静电夹盘5、6系为了接触包含被处理基板W之中心的中央部21与被处理基板W之边缘部74之间的区域23并在支撑构件9上保持被处理基板W，而设置成从支撑构件9之表面10突出，借由控制对电极施加电压，可控制被处理基板W之保持力。

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