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    • 12. 发明专利
    • 薄膜型壓電材料之電性量測方法
    • 薄膜型压电材料之电性量测方法
    • TW201608249A
    • 2016-03-01
    • TW103129913
    • 2014-08-29
    • 樹德科技大學SHU-TE UNIVERSITY
    • 高國陞KAO, KUO SHENG程達隆CHENG, DA LONG
    • G01R29/22
    • 本發明係有關於一種薄膜型壓電材料之電性量測方法,係將一輸入訊號轉換為震動位能,此震動位能作用於待測薄膜型壓電材料上,該待測薄膜型壓電材料因正電壓效應產生電壓變化,最後將該電壓變化之數據與一標準薄膜型壓電材料試片之電壓變化的數據相互比較,以判讀且得知待測薄膜型壓電材料的電性數據;據此方法,能提供製造商各項壓電應用產品的資料進行參數設定,提供製程當中即時的薄膜壓電材料特性判斷。
    • 本发明系有关于一种薄膜型压电材料之电性量测方法,系将一输入信号转换为震动位能,此震动位能作用于待测薄膜型压电材料上,该待测薄膜型压电材料因正电压效应产生电压变化,最后将该电压变化之数据与一标准薄膜型压电材料试片之电压变化的数据相互比较,以判读且得知待测薄膜型压电材料的电性数据;据此方法,能提供制造商各项压电应用产品的数据进行参数设置,提供制程当中实时的薄膜压电材料特性判断。