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    • 18. 发明专利
    • 半導體裝置之製造方法 METHOD FOR MAKING A SEMICONDUCTOR DEVICE
    • 半导体设备之制造方法 METHOD FOR MAKING A SEMICONDUCTOR DEVICE
    • TW200525640A
    • 2005-08-01
    • TW093134066
    • 2004-11-09
    • 三洋電機股份有限公司 SANYO ELECTRIC CO., LTD.
    • 宮好彥 MIYAWAKI, YOSHIHIKO
    • H01L
    • H01L28/20H01L27/0629H01L29/8605
    • 本發明係提供一種於同一半導體基板上具備MOS電晶體及擴散電阻層,以抑制擴散電阻層電流洩漏的半導體裝置。係於n型阱(11)全面形成閘極電極形成用膜(22a),且形成第2抗光阻層(42)以遮罩閘極電極形成部上面與擴散電阻層(30)上面的一部分,以此為保護罩,將閘極電極形成用膜(22a)予以異向性蝕刻,而形成閘極電極(22)及損壞防止膜(22b)。再於上述n型阱(11)上全面,形成CVD絕緣膜後,將上述CVD絕緣膜予以異向性蝕刻,以形成上述閘極電極與損壞防止膜側壁之側壁間隔體(23s),又於閘極電極、損壞防止膜及側壁間隔體(23s)為保護罩(mask),進行高濃度p型雜質的摻雜植入,而形成MOS電晶體(20)之源極層(24s)、汲極層(24d)及擴散電阻層(30)之接觸部形成用p^+型層(31)者。
    • 本发明系提供一种于同一半导体基板上具备MOS晶体管及扩散电阻层,以抑制扩散电阻层电流泄漏的半导体设备。系于n型阱(11)全面形成闸极电极形成用膜(22a),且形成第2抗光阻层(42)以遮罩闸极电极形成部上面与扩散电阻层(30)上面的一部分,以此为保护罩,将闸极电极形成用膜(22a)予以异向性蚀刻,而形成闸极电极(22)及损坏防止膜(22b)。再于上述n型阱(11)上全面,形成CVD绝缘膜后,将上述CVD绝缘膜予以异向性蚀刻,以形成上述闸极电极与损坏防止膜侧壁之侧壁间隔体(23s),又于闸极电极、损坏防止膜及侧壁间隔体(23s)为保护罩(mask),进行高浓度p型杂质的掺杂植入,而形成MOS晶体管(20)之源极层(24s)、汲极层(24d)及扩散电阻层(30)之接触部形成用p^+型层(31)者。