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    • 15. 发明专利
    • 電晶體記憶體陣列及其製造方法 TRANSISTOR MEMORY ARRAY AND METHOD OF MAKING THE SAME
    • 晶体管内存数组及其制造方法 TRANSISTOR MEMORY ARRAY AND METHOD OF MAKING THE SAME
    • TW200605331A
    • 2006-02-01
    • TW094108901
    • 2005-03-23
    • 艾特梅爾公司 ATMEL CORPORATION
    • 亞伯特 威納 ALBERT S. WEINER
    • H01L
    • H01L27/112H01L27/0207H01L27/105H01L27/11286H01L27/115H01L27/11517H01L27/11526
    • 一記憶體陣列具有以列及行來配置之相同佈局或覆蓋範圍的記憶體元件。雖然一些記憶體元件係EEPROM單元以及其它記憶體單元為唯讀記憶體單元,但是所有記憶體元件係使用一具有相同長度及寬度尺寸之光罩組來製造。在用於EEPROM之光罩組中,使用一主光罩以形成一空乏佈植。在某一型態之唯讀記憶體元件的情況中,主要限制此光罩,以導致一在源極與汲極間具有一非導電通道的電晶體之形成。在其它唯讀記憶體元件之情況中,不限制該相同光罩,以導致一在源極與汲極間具有一高導電或幾乎短路通道之電晶體的形成。將這兩個唯讀記憶體元件指定成為邏輯位準1及邏輯位準0。藉由在相同晶片上具有複數個列之唯讀記憶體元件及複數個列之EEPROM,可建立一具有更多用途之記憶體陣列晶片而不會犧牲晶片空間。
    • 一内存数组具有以列及行来配置之相同布局或覆盖范围的内存组件。虽然一些内存组件系EEPROM单元以及其它内存单元为唯读内存单元,但是所有内存组件系使用一具有相同长度及宽度尺寸之光罩组来制造。在用于EEPROM之光罩组中,使用一主光罩以形成一空乏布植。在某一型态之唯读内存组件的情况中,主要限制此光罩,以导致一在源极与汲极间具有一非导电信道的晶体管之形成。在其它唯读内存组件之情况中,不限制该相同光罩,以导致一在源极与汲极间具有一高导电或几乎短路信道之晶体管的形成。将这两个唯读内存组件指定成为逻辑位准1及逻辑位准0。借由在相同芯片上具有复数个列之唯读内存组件及复数个列之EEPROM,可创建一具有更多用途之内存数组芯片而不会牺牲芯片空间。
    • 19. 发明专利
    • 嵌入式虛擬接地記憶體之自我對準矽化金屬製作方法
    • 嵌入式虚拟接地内存之自我对准硅化金属制作方法
    • TW462083B
    • 2001-11-01
    • TW089125826
    • 2000-12-04
    • 旺宏電子股份有限公司
    • 黃仲仁陳昕輝王致皓劉光文
    • H01L
    • H01L27/112H01L21/743H01L27/105H01L27/11286
    • 一種嵌入式虛擬接地記憶體之自我對準矽化金屬製作方法,本發明係利用控制多晶矽閘極之間的寬度,使得多晶矽閘極側壁的間隙壁在形成時會成為自我封滿的間隙壁,並使得基板表面不會暴露出來,進而接下來的自我對準矽化金屬的製程中,在基板表面不會形成自我對準矽化金屬,且不會造成埋藏式擴散區之間的連接。再者,本發明更提供二條模型多晶矽閘極,位於多晶矽閘極的最外二側,使得嵌入式虛擬接地記憶體表層之埋藏式擴散區能夠完全被覆蓋。運用本發明,記憶體晶胞區域以及週邊電路區的自我對準矽化金屬的製程即可整合在一起。
    • 一种嵌入式虚拟接地内存之自我对准硅化金属制作方法,本发明系利用控制多晶硅闸极之间的宽度,使得多晶硅闸极侧壁的间隙壁在形成时会成为自我封满的间隙壁,并使得基板表面不会暴露出来,进而接下来的自我对准硅化金属的制程中,在基板表面不会形成自我对准硅化金属,且不会造成埋藏式扩散区之间的连接。再者,本发明更提供二条模型多晶硅闸极,位于多晶硅闸极的最外二侧,使得嵌入式虚拟接地内存表层之埋藏式扩散区能够完全被覆盖。运用本发明,内存晶胞区域以及周边电路区的自我对准硅化金属的制程即可集成在一起。
    • 20. 发明专利
    • 半導體裝置、罩幕式唯讀記憶體及其製造方法
    • 半导体设备、罩幕式唯读内存及其制造方法
    • TW297949B
    • 1997-02-11
    • TW084109867
    • 1995-09-20
    • 夏普股份有限公司
    • 谷本順一長谷川正博
    • H01L
    • H01L27/105H01L27/112H01L27/11286
    • 一種半導體裝置包含一半導體基片與至少一含有多個第一傳導型式或第二傳導型式雜質離子之一槽被形成;多個電晶體皆具有一閘極絕緣薄膜形成在該槽上,一閘極電極形成在該閘極絕緣薄膜上及一對擴散層形成在該槽內;及一與該槽的傳導型式相同的外擴散層及與每一該等擴散層自行排列在該槽的外週邊內;該外擴散層具有一雜質濃度足以供應一希望的接面耐電壓,及當一作動電壓施於該相對電晶體,具有如將產生的一空乏層的相同寬度;該槽的雜質被設定於一濃度使得出現在該閘極電極之下連接著多個相鄰電晶體的一寄生電晶體的一閥限電壓高於一電源供應器電壓,由是該等相鄰電晶體彼此隔離。
    • 一种半导体设备包含一半导体基片与至少一含有多个第一传导型式或第二传导型式杂质离子之一槽被形成;多个晶体管皆具有一闸极绝缘薄膜形成在该槽上,一闸极电极形成在该闸极绝缘薄膜上及一对扩散层形成在该槽内;及一与该槽的传导型式相同的外扩散层及与每一该等扩散层自行排列在该槽的外周边内;该外扩散层具有一杂质浓度足以供应一希望的接面耐电压,及当一作动电压施于该相对晶体管,具有如将产生的一空乏层的相同宽度;该槽的杂质被设置于一浓度使得出现在该闸极电极之下连接着多个相邻晶体管的一寄生晶体管的一阀限电压高于一电源供应器电压,由是该等相邻晶体管彼此隔离。