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    • 12. 发明专利
    • 流體控制器 FLUID CONTROLLER
    • 流体控制器 FLUID CONTROLLER
    • TW200902891A
    • 2009-01-16
    • TW097104434
    • 2008-02-05
    • 富士金股份有限公司 FUJIKIN INCORPORATED
    • 中田知宏 NAKATA, TOMOHIRO山路道雄 YAMAJI, MICHIO篠原努 SHINOHARA, TSUTOMU原田章弘 HARADA, AKIHIRO
    • F16K
    • F16K31/1225
    • 本發明係提供一種易於進行小流量的微細調整,且可在使用者側設定所希望的小流量之流體控制器。用以設定上方移動時之小流量活塞停止位置設定手段(12)係包含有:小流量調整螺栓(31),係以其與閥桿(5)上端面之間存有間隙方式,螺合於設置在殼體(4)頂壁(15)上之貫通螺孔(15a)內;錐形部(32),係形成於小流量調整螺栓(31)之前端部上;止動活塞(33),係於上方面具有隔預定間隙而與錐形部(32)相對向之錐形部(34),且下方面(33a)可限制小流量活塞(8)之上方停止位置;及多數個力傳達體(35),係挾於小流量調整螺栓(31)之錐形部(32)與止動活塞(33)之錐形部(34)之間,並於此等構件間傳達力量。
    • 本发明系提供一种易于进行小流量的微细调整,且可在用户侧设置所希望的小流量之流体控制器。用以设置上方移动时之小流量活塞停止位置设置手段(12)系包含有:小流量调整螺栓(31),系以其与阀杆(5)上端面之间存有间隙方式,螺合于设置在壳体(4)顶壁(15)上之贯通螺孔(15a)内;锥形部(32),系形成于小流量调整螺栓(31)之前端部上;止动活塞(33),系于上方面具有隔预定间隙而与锥形部(32)相对向之锥形部(34),且下方面(33a)可限制小流量活塞(8)之上方停止位置;及多数个力传达体(35),系挟于小流量调整螺栓(31)之锥形部(32)与止动活塞(33)之锥形部(34)之间,并于此等构件间传达力量。
    • 13. 实用新型
    • 前導式雙埠真空閥
    • 前导式双端口真空阀
    • TW489971U
    • 2002-06-01
    • TW090202589
    • 2001-02-21
    • 速睦喜股份有限公司
    • 古館政一谷昌生
    • F16K
    • F16K31/1221F16K31/1225F16K39/024F16K51/02Y10T137/8275Y10T137/86944Y10T137/87121
    • 啟開第1埠與第2埠間之主流路之主閥機構具有主閥體,用來開啟該主閥片之大徑第1活塞,用來驅動該第1活塞之主壓力作用室,以及用來關閉上述第1活塞之第1彈簧裝置,啟閉副流路之副閥機構具有副閥體,用來開啟該副閥體之小徑第2活塞,用來驅動該第2活塞之副壓力作用室以及用來關閉上述第2活塞之第2彈簧裝置,上述主壓力作用室與副壓力作用室以連通孔相互連通,又,上述二活塞之活塞直徑與二彈簧裝置之彈撥力有關係,俾第2活塞藉低於第1活塞之流體壓力作動。
    • 启开第1端口与第2端口间之主流路之主阀机构具有主阀体,用来打开该主阀片之大径第1活塞,用来驱动该第1活塞之主压力作用室,以及用来关闭上述第1活塞之第1弹簧设备,启闭副流路之副阀机构具有副阀体,用来打开该副阀体之小径第2活塞,用来驱动该第2活塞之副压力作用室以及用来关闭上述第2活塞之第2弹簧设备,上述主压力作用室与副压力作用室以连通孔相互连通,又,上述二活塞之活塞直径与二弹簧设备之弹拨力有关系,俾第2活塞藉低于第1活塞之流体压力作动。
    • 14. 实用新型
    • 穩流排氣閥
    • 稳流排气阀
    • TW482268U
    • 2002-04-01
    • TW090214043
    • 2001-08-16
    • 速睦喜股份有限公司
    • 谷昌生
    • F16K
    • F16K51/02F16K31/1221F16K31/1225F16K39/024Y10T137/7906Y10T137/87378
    • 穩流排氣閥,係擁有:以並連的方式連接第1埠及第2埠之斷面積大的主流道及斷面積小的副流道;與開關上述主流道的主閥體,及開關上述副流道的副閥體;與開關上述主閥體之第1活塞及開關上述副閥體之第2活塞;與朝關閥方向彈壓上述主閥體之第1彈簧裝置,及朝關閥方向彈壓上述副閥體之第2彈簧裝置;與被安裝在閥套管形成自外部可以進退操作,且利用該進退操作變更上述第2彈簧裝置的壓縮量後用以調整彈力的調節棒。
    • 稳流排气阀,系拥有:以并连的方式连接第1端口及第2端口之断面积大的主流道及断面积小的副流道;与开关上述主流道的主阀体,及开关上述副流道的副阀体;与开关上述主阀体之第1活塞及开关上述副阀体之第2活塞;与朝关阀方向弹压上述主阀体之第1弹簧设备,及朝关阀方向弹压上述副阀体之第2弹簧设备;与被安装在阀套管形成自外部可以进退操作,且利用该进退操作变更上述第2弹簧设备的压缩量后用以调整弹力的调节棒。
    • 15. 发明专利
    • 閥
    • TW201600777A
    • 2016-01-01
    • TW104112021
    • 2015-04-15
    • VAT控股股份有限公司VAT HOLDING AG
    • 耶爾拿 弗羅里安EHRNE, FLORIAN巴赫曼 克里斯多夫BACHMANN, CHRISTOF沃查斯克 馬提亞斯WOZASEK, MATTHIAS
    • F16K3/18F16K51/02
    • F16K3/182F16K3/184F16K31/1225F16K51/02
    • 一種閥(1),具有一被一閥座(2)圍繞之開孔(3)及一關閉機構(4),而該關閉機構(4)在一關閉位置按壓在閥座(2)上且關閉開孔(3),且在一中間位置由閥座(2)被抬高但仍覆蓋開孔(3),及在一最大開放位置完全或至少部分開放開孔(3),而該閥(1)具有至少一第一閥驅動器(5),用於關閉機構(4)在最大開放位置與中間位置間沿一第一運動軌道(6)之運動,及具有至少一第二閥驅動器(7),用於關閉機構(4)在中間位置與關閉位置間沿一第二運動軌道(8)之運動,且第二運動軌道(8)對第一運動軌道(6)交成角度,其中,該閥(1)至少具有一傳動部(9),藉由第二閥驅動器(7)產生可回復式變形,且第一閥驅動器(5)在傳動部(9)中介下作用在關閉機構(4)上。 (第1圖)
    • 一种阀(1),具有一被一阀座(2)围绕之开孔(3)及一关闭机构(4),而该关闭机构(4)在一关闭位置按压在阀座(2)上且关闭开孔(3),且在一中间位置由阀座(2)被抬高但仍覆盖开孔(3),及在一最大开放位置完全或至少部分开放开孔(3),而该阀(1)具有至少一第一阀驱动器(5),用于关闭机构(4)在最大开放位置与中间位置间沿一第一运动轨道(6)之运动,及具有至少一第二阀驱动器(7),用于关闭机构(4)在中间位置与关闭位置间沿一第二运动轨道(8)之运动,且第二运动轨道(8)对第一运动轨道(6)交成角度,其中,该阀(1)至少具有一传动部(9),借由第二阀驱动器(7)产生可回复式变形,且第一阀驱动器(5)在传动部(9)中介下作用在关闭机构(4)上。 (第1图)
    • 16. 发明专利
    • 直接觸動式金屬簧片閥
    • 直接触动式金属簧片阀
    • TWI320519B
    • 2010-02-11
    • TW095117704
    • 2006-05-18
    • 富士金股份有限公司
    • 谷川毅山路道雄藥師神忠幸福地仁
    • G05D
    • F16J3/02F16K7/14F16K31/1225F16K31/1226
    • 本發明是於直接觸動式金屬簧片閥中,使其在適當流量係數Cv保持狀態下大幅增加閥耐久性即大幅增加能夠保證的閥連續開閉動作次數的同時,抑制閥座的經時變形使上述Cv值的經時變動更少。
      於直接觸動式金屬簧片閥中,將上述金屬簧片由複數片不銹鋼薄板和鎳鈷合金薄板的層疊體形成並且形成中央部朝上方隆起的圓形蓋盤形的同時,將上述金屬簧片的最大隆起高度△h的55~70%距離為閥的最大閥行程限制。 【創作特點】 本發明是為解決習知金屬簧片閥以上所述問題而為的發明,即,為解決下述:1.原子層蒸鍍法(ALD法)處理製程所使用的半導體製造設備等當中,因金屬簧片閥開閉頻率大幅增加,採用習知的連續開閉動作次數所表示的耐久性為100萬~250萬次程度之金屬簧片閥會增加閥的更換頻率,導致維修成本或維修程序增加,及2.閥座形狀的經年變化使Cv值產生變化,導致閥的流量特性不穩定等問題而為的發明,以提供一種使用和習知同一構成的金屬簧片閥,不會導致閥的流量特性降低(即,不會導致Cv值大幅降低),可大幅提高連續開閉動作次數所表示的閥耐久性之同時,可使流量特性穩定使Cv值的經年變化更少之直接觸動式金屬簧片閥為本發明的主要目的。
      本申請發明者等,著眼在金屬簧片閥的耐久性(連續開閉動作次數)和閥行程△S的關係非淺,再加上閥行程△S是直接關係到流量係數Cv(Cv值),於是就針對各種金屬簧片,使用上述第8圖所示的Cv值測定試驗裝置進行了耐久性和閥行程△S和流量係數Cv的相關關係之調查檢討。
      下述的表1、第6圖、第7圖及表2、表3、第9圖是表示上述相關關係的一例,透過該各種的試驗,得知:於習知的金屬簧片閥中,閥行程△S若超過一定值,則Cv值的增加會飽和,因此在要獲得指定的Cv值時,是可不必以相當於金屬簧片22最大隆起高度△h的最大行程△S來做為閥行程△S,只要以最大隆起高度△h的約55~70%尺寸的閥行程△S就能夠獲得超過0.55~0.7的Cv值。
      本申請發明是根據上述得知內容來創作的發明,申請專利範圍第1項的發明,是於:將閥座13設置在連通於流體入口10及流體出口10之凹狀閥室12底面的閥體;配設在閥座13上方,可保持閥室12氣密的同時,其中央部可上下活動直接對閥座13形成抵接的金屬簧片2;昇降自如地配設在金屬簧片2上方,可使金屬簧片2的中央部朝下方下降的閥桿8;可使閥桿8下降或上昇的引動器9;及配設在金屬簧片2的外周緣部上方,在其與閥室12底面之間將金屬簧片2夾持成氣密狀的同時,可對閥全閉時之閥桿8的下降進行限制的緊固接合器3所構成的直接觸動式金屬簧片閥中,以下述為本發明的基本構成,即,是將上述金屬簧片2由複數片的不銹鋼薄板和鎳鈷合金薄板的層疊體形成並且形成為中央部朝上方隆起的圓形蓋盤狀的同時,將上述金屬簧片2的最大隆起高度△h的55~70%距離為閥的最大閥行程限制。
      申請專利範圍第2項的發明,是於申請專利範圍第1項的發明中,將最大閥行程△S時的閥Cv值為0.55~0.8。
      申請專利範圍第3項的發明,是於申請專利範圍第1項或申請專利範圍第2項的發明中,將金屬簧片2形成為,外徑為15mmΦ、隆起曲率為66~65mm,或者,外徑為18~20mmΦ、隆起曲率為62~63mm,或者外徑為24~26mmΦ、隆起曲率為59~61mm。
      申請專利範圍第4項的發明,是於申請專利範圍第1項的發明中,將金屬簧片2為3片不銹鋼薄板和1片鎳鈷合金薄板之圓形層疊體的同時,將其外徑為24~26mmΦ、最大隆起高度△h為1.2~1.3mm及最大閥行程△S為0.65~0.8mm。
      申請專利範圍第5項的發明,是於申請專利範圍第1項至申請專利範圍第4項的發明中,閥座13為PFA製閥座的同時,於閥桿8設有閥行程調整機構15,在閥執行3000~10000次連續開閉動作後,利用上述閥行程調整機構15將閥行程△S調整固定為指定的設定值。
      於本發明中,因並不將金屬簧片的最大隆起高度△h做為閥的最大閥行程△S,而是將獲得所期望的流量係數Cv時之最低需求的最大隆起高度△h的55~70%尺寸(距離)做為最大閥行程△S,所以在閥的開閉動作時能夠使金屬簧片相關的變形量或變形應力更小的同時,能夠完全確實所需要的指定流量係數Cv(Cv值)。其結果,能夠使代表金屬簧片閥耐久性的連續開閉動作可行次數提高為約習知可行次數的20~30倍。
      此外,於本發明中,在設有行程調整機構的同時,於閥出貨前約執行了3000~10000次的連續開閉動作來試運轉合成樹脂製閥座,使其形態更為穩定。
      其結果,能夠大幅減少所謂的閥座的經時變化,如此一來流量係數Cv(Cv值)也可成為更穩定的值。
    • 本发明是于直接触动式金属簧片阀中,使其在适当流量系数Cv保持状态下大幅增加阀耐久性即大幅增加能够保证的阀连续开闭动作次数的同时,抑制阀座的经时变形使上述Cv值的经时变动更少。 于直接触动式金属簧片阀中,将上述金属簧片由复数片不锈钢薄板和镍钴合金薄板的层叠体形成并且形成中央部朝上方隆起的圆形盖盘形的同时,将上述金属簧片的最大隆起高度△h的55~70%距离为阀的最大阀行程限制。 【创作特点】 本发明是为解决习知金属簧片阀以上所述问题而为的发明,即,为解决下述:1.原子层蒸镀法(ALD法)处理制程所使用的半导体制造设备等当中,因金属簧片阀开闭频率大幅增加,采用习知的连续开闭动作次数所表示的耐久性为100万~250万次程度之金属簧片阀会增加阀的更换频率,导致维修成本或维修进程增加,及2.阀座形状的经年变化使Cv值产生变化,导致阀的流量特性不稳定等问题而为的发明,以提供一种使用和习知同一构成的金属簧片阀,不会导致阀的流量特性降低(即,不会导致Cv值大幅降低),可大幅提高连续开闭动作次数所表示的阀耐久性之同时,可使流量特性稳定使Cv值的经年变化更少之直接触动式金属簧片阀为本发明的主要目的。 本申请发明者等,着眼在金属簧片阀的耐久性(连续开闭动作次数)和阀行程△S的关系非浅,再加上阀行程△S是直接关系到流量系数Cv(Cv值),于是就针对各种金属簧片,使用上述第8图所示的Cv值测定试验设备进行了耐久性和阀行程△S和流量系数Cv的相关关系之调查检讨。 下述的表1、第6图、第7图及表2、表3、第9图是表示上述相关关系的一例,透过该各种的试验,得知:于习知的金属簧片阀中,阀行程△S若超过一定值,则Cv值的增加会饱和,因此在要获得指定的Cv值时,是可不必以相当于金属簧片22最大隆起高度△h的最大行程△S来做为阀行程△S,只要以最大隆起高度△h的约55~70%尺寸的阀行程△S就能够获得超过0.55~0.7的Cv值。 本申请发明是根据上述得知内容来创作的发明,申请专利范围第1项的发明,是于:将阀座13设置在连通于流体入口10及流体出口10之凹状阀室12底面的阀体;配设在阀座13上方,可保持阀室12气密的同时,其中央部可上下活动直接对阀座13形成抵接的金属簧片2;升降自如地配设在金属簧片2上方,可使金属簧片2的中央部朝下方下降的阀杆8;可使阀杆8下降或上升的引动器9;及配设在金属簧片2的外周缘部上方,在其与阀室12底面之间将金属簧片2夹持成气密状的同时,可对阀全闭时之阀杆8的下降进行限制的紧固接合器3所构成的直接触动式金属簧片阀中,以下述为本发明的基本构成,即,是将上述金属簧片2由复数片的不锈钢薄板和镍钴合金薄板的层叠体形成并且形成为中央部朝上方隆起的圆形盖盘状的同时,将上述金属簧片2的最大隆起高度△h的55~70%距离为阀的最大阀行程限制。 申请专利范围第2项的发明,是于申请专利范围第1项的发明中,将最大阀行程△S时的阀Cv值为0.55~0.8。 申请专利范围第3项的发明,是于申请专利范围第1项或申请专利范围第2项的发明中,将金属簧片2形成为,外径为15mmΦ、隆起曲率为66~65mm,或者,外径为18~20mmΦ、隆起曲率为62~63mm,或者外径为24~26mmΦ、隆起曲率为59~61mm。 申请专利范围第4项的发明,是于申请专利范围第1项的发明中,将金属簧片2为3片不锈钢薄板和1片镍钴合金薄板之圆形层叠体的同时,将其外径为24~26mmΦ、最大隆起高度△h为1.2~1.3mm及最大阀行程△S为0.65~0.8mm。 申请专利范围第5项的发明,是于申请专利范围第1项至申请专利范围第4项的发明中,阀座13为PFA制阀座的同时,于阀杆8设有阀行程调整机构15,在阀运行3000~10000次连续开闭动作后,利用上述阀行程调整机构15将阀行程△S调整固定为指定的设置值。 于本发明中,因并不将金属簧片的最大隆起高度△h做为阀的最大阀行程△S,而是将获得所期望的流量系数Cv时之最低需求的最大隆起高度△h的55~70%尺寸(距离)做为最大阀行程△S,所以在阀的开闭动作时能够使金属簧片相关的变形量或变形应力更小的同时,能够完全确实所需要的指定流量系数Cv(Cv值)。其结果,能够使代表金属簧片阀耐久性的连续开闭动作可行次数提高为约习知可行次数的20~30倍。 此外,于本发明中,在设有行程调整机构的同时,于阀出货前约运行了3000~10000次的连续开闭动作来试运转合成树脂制阀座,使其形态更为稳定。 其结果,能够大幅减少所谓的阀座的经时变化,如此一来流量系数Cv(Cv值)也可成为更稳定的值。
    • 17. 发明专利
    • 具有微小流量調節機構之常閉閥 A NORMALLY-CLOSED VALVE HAVING A FLOW-VOLUME FINE-ADJUSTING MECHANISM
    • 具有微小流量调节机构之常闭阀 A NORMALLY-CLOSED VALVE HAVING A FLOW-VOLUME FINE-ADJUSTING MECHANISM
    • TW200636179A
    • 2006-10-16
    • TW095106375
    • 2006-02-24
    • 藤倉橡膠工業股份有限公司 FUJIKURA RUBBER LTD.
    • 江尻隆 EJIRI, TAKASHI
    • F16K
    • F16K31/1225F16K7/14F16K31/1221
    • 本發明提供一種具有可更細微調節流量之微小流量調節機構之常閉閥。該常閉閥包含:閥桿,其係開關流路;施力裝置,其係將該閥桿在流路閉塞方向上施力;活塞體,其係氣密而可移動地嵌合於唧筒,構成抵抗施力裝置而使閥桿向開閥方向移動之壓力室;及止動機構,其係設於唧筒,限制活塞體向開閥方向之最大移動位置;前述止動機構具有:行程調節構件,其係與閥桿同軸,而可調節位置地螺合於唧筒,並在前端部具有面對前述活塞體之尖頭之環狀錐形面;可動開閥限制面,其係設於活塞體上,位於比環狀錐形面在徑方向外方;固定開閥限制面,其係與唧筒一體設置,並與該可動開閥限制面相對;該可動開閥限制面與固定開閥限制面之至少其中之一包含隨著向外周而縮小兩限制面之間隔之錐形面;及複數個球,其係可同時接觸尖頭環狀錐形面、可動開閥限制面及固定開閥限制面之全部。
    • 本发明提供一种具有可更细微调节流量之微小流量调节机构之常闭阀。该常闭阀包含:阀杆,其系开关流路;施力设备,其系将该阀杆在流路闭塞方向上施力;活塞体,其系气密而可移动地嵌合于唧筒,构成抵抗施力设备而使阀杆向开阀方向移动之压力室;及止动机构,其系设于唧筒,限制活塞体向开阀方向之最大移动位置;前述止动机构具有:行程调节构件,其系与阀杆同轴,而可调节位置地螺合于唧筒,并在前端部具有面对前述活塞体之尖头之环状锥形面;可动开阀限制面,其系设于活塞体上,位于比环状锥形面在径方向外方;固定开阀限制面,其系与唧筒一体设置,并与该可动开阀限制面相对;该可动开阀限制面与固定开阀限制面之至少其中之一包含随着向外周而缩小两限制面之间隔之锥形面;及复数个球,其系可同时接触尖头环状锥形面、可动开阀限制面及固定开阀限制面之全部。
    • 18. 发明专利
    • 回吸閥 SUCK BACK VALVE
    • 回吸阀 SUCK BACK VALVE
    • TWI249011B
    • 2006-02-11
    • TW093119384
    • 2004-06-30
    • SMC股份有限公司 SMC KABUSHIKI KAISHA
    • 深野喜弘 FUKANO, YOSHIHIRO
    • F16K
    • F16K31/1225F16K23/00
    • 一種回吸閥,其包括一開/關閥機構(26),其可在一被供應至一第一汽缸腔室之壓力流體的作用下藉由一起移動一閥構件(50)與一第一活塞(48)來開啟/關閉一流體通道(34);及一回吸機構(28),其具有在一流體腔室(96)中被形成可變形的抽吸構件(92),俾在被供應至一第二汽缸腔室(80)之壓力流體的作用下藉由一起移動該抽吸構件(92)及一第二活塞(74)而使內含在該流體通道(34)中之壓力流體被抽吸。該開/關閥機構(26)及該回吸機構(28)係同軸地且整體地組裝在一起。
    • 一种回吸阀,其包括一开/关阀机构(26),其可在一被供应至一第一汽缸腔室之压力流体的作用下借由一起移动一阀构件(50)与一第一活塞(48)来打开/关闭一流体信道(34);及一回吸机构(28),其具有在一流体腔室(96)中被形成可变形的抽吸构件(92),俾在被供应至一第二汽缸腔室(80)之压力流体的作用下借由一起移动该抽吸构件(92)及一第二活塞(74)而使内含在该流体信道(34)中之压力流体被抽吸。该开/关阀机构(26)及该回吸机构(28)系同轴地且整体地组装在一起。
    • 20. 发明专利
    • 軟水器閥
    • 软水器阀
    • TW494013B
    • 2002-07-11
    • TW089102098
    • 2000-02-09
    • 厄爾 布萊恩玻德 康乃爾
    • 厄爾 布萊恩玻德 康乃爾
    • B01D
    • F16K37/005B01J49/85C02F1/42F16K11/065F16K31/1225G01F1/115G01F15/005G05D7/0146G05D7/018Y10T137/4336Y10T137/7759Y10T137/7761Y10T137/86726Y10T137/86895Y10T137/87354Y10T137/8737
    • 在此揭示一種軟水器閥,其用以控制流入及流出一軟水器之水流,該軟水器閥包括一圓柱形桿件,該桿自一活塞室之內表面伸出,該桿在活塞處於工作位置時塞在一釋壓埠內。該桿在工作循環中清除釋壓埠內之任何渣滓並關閉釋壓埠。該軟水器閥亦有一具備至少兩螺旋狀展開葉片之流量計。當葉輪轉動時在葉片上之一磁鐵觸發一感測器,從而提供計算通過該閥之水流量的方式。該閥亦有一流量控制鈕,該流量控制鈕位在該閥之一入口而非排水口,避免因在排水口有水箱再生沉澱物而阻塞水流。該閥亦含有一內部活塞埠以許可自由水流在軟水循環改變期間通過該閥。
    • 在此揭示一种软水器阀,其用以控制流入及流出一软水器之水流,该软水器阀包括一圆柱形杆件,该杆自一活塞室之内表面伸出,该杆在活塞处于工作位置时塞在一释压端口内。该杆在工作循环中清除释压端口内之任何渣滓并关闭释压端口。该软水器阀亦有一具备至少两螺旋状展开叶片之流量计。当叶轮转动时在叶片上之一磁铁触发一传感器,从而提供计算通过该阀之水流量的方式。该阀亦有一流量控制钮,该流量控制钮位在该阀之一入口而非排水口,避免因在排水口有水箱再生沉淀物而阻塞水流。该阀亦含有一内部活塞端口以许可自由水流在软水循环改变期间通过该阀。