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11. 发明专利

TWI563351B 用於泵浦灌注之方法及系統有权
简体标题：用于泵浦灌注之方法及系统
公开(公告)号：TWI563351B
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：TW100137962
申请日：2011-10-19
申请人：恩特葛瑞斯公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：巴金珍妮佛M , BRAGGIN, JENNIFER M. , 乾志穗 , INUI, SHIHO , 周偉立 , CHOW, WAILUP , 吳愛文 , WU, AIWEN
IPC分类号： G03F7/26 , F04B49/00 , F04B17/00
CPC分类号： F04B49/065 , F04B53/20 , F04D13/06 , H01L21/67017

12. 发明专利

TWI529005B 過濾器有权
简体标题：过滤器
公开(公告)号：TWI529005B
公开(公告)日：2016-04-11
申请号：TW101117553
申请日：2012-05-17
申请人：小金井股份有限公司 , KOGANEI CORPORATION
发明人：酒井啟 , SAKAI, HIRAKU
IPC分类号： B04C5/08 , B01D21/26
CPC分类号： B04C5/181 , B01D45/12 , B04C5/06 , B04C5/103 , B04C5/187 , F04B39/16 , F04B53/20

13. 发明专利

TW201608133A 用於在精密系統及應用中的馬達驅動元件之抗背隙機構审中-公开
简体标题：用于在精密系统及应用中的马达驱动组件之抗背隙机构
公开(公告)号：TW201608133A
公开(公告)日：2016-03-01
申请号：TW104117225
申请日：2015-05-28
申请人：恩特葛瑞斯股份有限公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：切德羅內詹姆斯 , CEDRONE, JAMES , 蓋許蓋伊伊萊 , GASHGAEE, IRAJ , 葛諾拉喬治L , GONNELLA, GEORGE L.
IPC分类号： F04B53/02 , F16H57/12 , F16H55/24
CPC分类号： F16H25/2006 , F04B9/02 , F04B13/00 , F04B17/03 , F04B19/04 , F04B23/04 , F04B43/02 , F04B43/04 , F04B49/10 , F04B49/22 , F04B51/00 , F04B53/10 , F04B53/16 , F04B53/20 , F04B2205/02 , F04B2205/503 , F04B2207/70 , H01L21/6715 , H01L21/67253
摘要：可使用一抗背隙裝置減小或消除一精密系統(諸如一泵抽系統)中之背隙，該抗背隙裝置具有耦合至一活塞且相對於該活塞固定之一第一螺母。該第一螺母及一第二螺母可與驅動該活塞之一馬達之一導螺桿嚙合。限制或防止該第一螺母與該第二螺母之間之相對旋轉。一偏壓構件維持沿該導螺桿之該第一螺母與該第二螺母之間之一間隔關係，使得該第一螺母保持與該導螺桿嚙合以藉此在由該馬達使該導螺桿旋轉時減小或消除背隙。
简体摘要：可使用一抗背隙设备减小或消除一精密系统(诸如一泵抽系统)中之背隙，该抗背隙设备具有耦合至一活塞且相对于该活塞固定之一第一螺母。该第一螺母及一第二螺母可与驱动该活塞之一马达之一导螺杆啮合。限制或防止该第一螺母与该第二螺母之间之相对旋转。一偏压构件维持沿该导螺杆之该第一螺母与该第二螺母之间之一间隔关系，使得该第一螺母保持与该导螺杆啮合以借此在由该马达使该导螺杆旋转时减小或消除背隙。

14. 发明专利

TW201113430A 泵浦過濾器失效
简体标题：泵浦过滤器
公开(公告)号：TW201113430A
公开(公告)日：2011-04-16
申请号：TW098134444
申请日：2009-10-12
申请人：速克立股份有限公司
发明人：蘇美勵
IPC分类号： F04B
CPC分类号： F04B53/20 , B01D39/12 , F04D29/708
摘要：有關本發明泵浦過濾器,該過濾器本體係由可相互活動套接之套合部及擋緣所組成,該套合部及擋緣間分別設有第一濾網及第二濾網,二濾網間形成一空間,該空間內設置一磁吸元件,藉二道式濾網及一磁吸元件之設置,形成具三重過濾效果之泵浦過濾器者。
简体摘要：有关本发明泵浦过滤器,该过滤器本体系由可相互活动套接之套合部及挡缘所组成,该套合部及挡缘间分别设有第一滤网及第二滤网,二滤网间形成一空间,该空间内设置一磁吸组件,藉二道式滤网及一磁吸组件之设置,形成具三重过滤效果之泵浦过滤器者。

15. 发明专利

TW550342B 整合的過濾器外殼有权
简体标题：集成的过滤器外壳
公开(公告)号：TW550342B
公开(公告)日：2003-09-01
申请号：TW091122764
申请日：2002-10-02
申请人：格雷克明尼蘇達股份有限公司
发明人：馬克威柏格 , 麥克希拜恩
IPC分类号： F04B
CPC分类号： F04B53/20 , F04B53/16
摘要：本發明將過濾器系統整合至一往復式活塞幫浦10內。此設計可省略掉額外的連接構件，可提高最大的內部壓力因為沒有過濾鬆脫的危險，可減輕維修及清潔同時可所小該系統的整體尺寸。因為整體尺寸變小，所以只需要較少的能量來改變整個系統的壓力，因而與以前的設計比較起來可提高整體的效率。本發明是一過濾元件29其插入該幫浦10的上殼內且變成與該幫浦的上殼整合在一起。該過濾元件29被插入其本身的腔穴內且被上及下連接件23及27保持在定位，該上及下連接件與上殼33係成螺紋地嚙合。
简体摘要：本发明将过滤器系统集成至一往复式活塞帮浦10内。此设计可省略掉额外的连接构件，可提高最大的内部压力因为没有过滤松脱的危险，可减轻维修及清洁同时可所小该系统的整体尺寸。因为整体尺寸变小，所以只需要较少的能量来改变整个系统的压力，因而与以前的设计比较起来可提高整体的效率。本发明是一过滤组件29其插入该帮浦10的上壳内且变成与该帮浦的上壳集成在一起。该过滤组件29被插入其本身的腔穴内且被上及下连接件23及27保持在定位，该上及下连接件与上壳33系成螺纹地啮合。

16. 发明专利

TW520413B 高黏度流體之泵送裝置及方法失效
简体标题：高黏度流体之泵送设备及方法
公开(公告)号：TW520413B
公开(公告)日：2003-02-11
申请号：TW089125463
申请日：2000-11-30
申请人：麥克羅里斯公司
发明人：戈里格利吉普森
IPC分类号： F04B
CPC分类号： F04B53/20 , B01D35/26 , B01D37/00 , F04B43/02 , F04B43/06 , F04B43/067 , F05C2225/04
摘要：揭示一種供分配及過濾流體用之系統，其中，流體流動通路係實質上直立地自流體入口通過流體分配口。實質上地所有浸濕表面均為Teflon或某些類似之不污染流體，以供例如為清淨無菌室之應用。一閥與一濾器室均被配合進入一泵頭部內，以簡化流動通路與減少潛在之污染點。亦揭示較佳之方法、及由該設備或方法所製造之晶片或其他微電子裝置。
简体摘要：揭示一种供分配及过滤流体用之系统，其中，流体流动通路系实质上直立地自流体入口通过流体分配口。实质上地所有浸湿表面均为Teflon或某些类似之不污染流体，以供例如为清净无菌室之应用。一阀与一滤器室均被配合进入一泵头部内，以简化流动通路与减少潜在之污染点。亦揭示较佳之方法、及由该设备或方法所制造之芯片或其他微电子设备。

17. 发明专利

TW201808462A 液體處理方法、液體處理裝置及記憶媒體审中-公开
简体标题：液体处理方法、液体处理设备及记忆媒体
公开(公告)号：TW201808462A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：TW106145609
申请日：2013-10-07
申请人：日商東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：吉田勇一 , YOSHIDA,YUICHI , 內藤亮一郎 , NAITOU,RYOUICHIROU , 古庄智伸 , FURUSHO,TOSHINOBU
IPC分类号： B05C5/02
CPC分类号： B01D36/001 , B01D19/0036 , B01D37/046 , B01D2201/202 , B01D2201/204 , B01D2221/14 , C02F1/20 , C02F2103/346 , C02F2209/03 , F04B53/20 , G03C2001/7437
摘要：本發明之目的在於提供一種處理液供給方法，其可在處理液供給路徑上安裝新過濾部時，減少為了從過濾部去除氣泡所消耗的處理液，及縮短啟動時間。為達成上述之目的，本發明之處理液供給方法中，依序進行下述步驟：處理液充滿步驟，使處理液充滿於新過濾部內；第1壓力氛圍形成步驟，為了從該過濾部去除氣泡，而使該過濾部內形成負壓氛圍亦即第1壓力氛圍；升壓步驟，使該過濾部內升壓；液體通入步驟，在使該過濾部的二次側成為高於該第1壓力氛圍的第2壓力氛圍的狀態下，將處理液從該過濾部的該一次側通入該過濾部；及液體處理進行步驟，將通入該過濾部的處理液，透過噴嘴供給至被處理體，以進行液體處理。藉此可快速地去除氣泡。
简体摘要：本发明之目的在于提供一种处理液供给方法，其可在处理液供给路径上安装新过滤部时，减少为了从过滤部去除气泡所消耗的处理液，及缩短启动时间。为达成上述之目的，本发明之处理液供给方法中，依序进行下述步骤：处理液充满步骤，使处理液充满于新过滤部内；第1压力氛围形成步骤，为了从该过滤部去除气泡，而使该过滤部内形成负压氛围亦即第1压力氛围；升压步骤，使该过滤部内升压；液体通入步骤，在使该过滤部的二次侧成为高于该第1压力氛围的第2压力氛围的状态下，将处理液从该过滤部的该一次侧通入该过滤部；及液体处理进行步骤，将通入该过滤部的处理液，透过喷嘴供给至被处理体，以进行液体处理。借此可快速地去除气泡。

18. 发明专利

TWI595157B 基於在一過濾器資訊標籤中之過濾器資訊以控制一幫浦操作之方法和系統有权
简体标题：基于在一过滤器信息标签中之过滤器信息以控制一帮浦操作之方法和系统
公开(公告)号：TWI595157B
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：TW104136080
申请日：2011-02-25
申请人：恩特葛瑞斯公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：馬岡保羅J , MAGOON, PAUL J. , 雷米瑞斯瑞爾A , RAMIREZ, RAUL A. , 貝丘德崔西L , BATCHELDER, TRACI L.
IPC分类号： F04B49/06 , G06K19/067
CPC分类号： G05D7/0617 , F04B39/16 , F04B49/065 , F04B53/20

19. 发明专利

TWI547317B 處理液供給方法、處理液供給裝置及記憶媒體有权
简体标题：处理液供给方法、处理液供给设备及记忆媒体
公开(公告)号：TWI547317B
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：TW102136216
申请日：2013-10-07
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：吉田勇一 , YOSHIDA, YUICHI , 內藤亮一郎 , NAITOU, RYOUICHIROU , 古庄智伸 , FURUSHO, TOSHINOBU
IPC分类号： B05C5/02
CPC分类号： B01D36/001 , B01D19/0036 , B01D37/046 , B01D2201/202 , B01D2201/204 , B01D2221/14 , C02F1/20 , C02F2103/346 , C02F2209/03 , F04B53/20 , G03C2001/7437

20. 发明专利

TW201604404A 基於在一過濾器資訊標籤中之過濾器資訊以控制一幫浦操作之方法和系統审中-公开
简体标题：基于在一过滤器信息标签中之过滤器信息以控制一帮浦操作之方法和系统
公开(公告)号：TW201604404A
公开(公告)日：2016-02-01
申请号：TW104136080
申请日：2011-02-25
申请人：恩特葛瑞斯公司 , ENTEGRIS, INC.
发明人：馬岡保羅J , MAGOON, PAUL J. , 雷米瑞斯瑞爾A , RAMIREZ, RAUL A. , 貝丘德崔西L , BATCHELDER, TRACI L.
IPC分类号： F04B49/06 , G06K19/067
CPC分类号： G05D7/0617 , F04B39/16 , F04B49/065 , F04B53/20
摘要：本發明描述大體上係關於過濾之系統及方法。更明確而言，本發明係關於使用過濾器資訊控制一幫浦之操作。一可卸除式過濾器可包括一儲存過濾器資訊之電子可讀標籤。該過濾器資訊可由一標籤讀取器讀取，且可將規則應用於該過濾器資訊以判定是否或如何操作一幫浦。
简体摘要：本发明描述大体上系关于过滤之系统及方法。更明确而言，本发明系关于使用过滤器信息控制一帮浦之操作。一可卸除式过滤器可包括一存储过滤器信息之电子可读标签。该过滤器信息可由一标签读取器读取，且可将守则应用于该过滤器信息以判定是否或如何操作一帮浦。

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