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    • 14. 发明专利
    • 用於再處理裝置之流體溢流/補充氣體配件 FLUID OVER-FLOW/MAKE-UP AIR ASSEMBLY FOR REPROCESSOR
    • 用于再处理设备之流体溢流/补充气体配件 FLUID OVER-FLOW/MAKE-UP AIR ASSEMBLY FOR REPROCESSOR
    • TW200507887A
    • 2005-03-01
    • TW093122367
    • 2004-07-27
    • 史戴瑞思股份有限公司 STERIS INC.
    • 克里斯多夫A 傑思羅 CHRISTOPHER A. JETHROW朱德A 克瑞爾 JUDE A. KRAL唐納德A 薩郡 DONALD A. SARGENT
    • A61L
    • A61L9/16A61L2/022A61L2/18C02F1/001C02F1/32C02F1/44C02F1/444C02F1/50C02F1/688C02F9/00C02F2103/026C02F2209/005C02F2301/08
    • 一種儀器或裝置殺菌或滯化微生物的系統。此系統包含一循環系統,此循環系統係用來循環一通過容納儀器與裝置之內室的液態微生物滯化液體,此內室形成循環系統的一部份。此系統更包含一液體溢流/補充氣體配件,此液體溢流/補充氣體配件包含一過濾配件以提供空氣至循環系統。過濾組合具有一空氣入口、一空氣出口與一延伸於空氣入口與空氣出口之空氣通道。在空氣入口與空氣出口間的空氣通道中配置有一過濾媒介,此過濾媒介係用以留住細菌。一有向性閥配件被配置在空氣通道內介過濾媒介與空氣出口,用以調節通過空氣通道的空氣流動。此閥配件只允許液體通道中由第一端至第二端的單向性的流動,在液體通道介於閥配件與過濾媒介間之部份係被微生物滯化,閥配件係被裝配於維生物滯化或殺菌系統以空氣出口與循環系統進行液體流通。
    • 一种仪器或设备杀菌或滞化微生物的系统。此系统包含一循环系统,此循环系统系用来循环一通过容纳仪器与设备之内室的液态微生物滞化液体,此内室形成循环系统的一部份。此系统更包含一液体溢流/补充气体配件,此液体溢流/补充气体配件包含一过滤配件以提供空气至循环系统。过滤组合具有一空气入口、一空气出口与一延伸于空气入口与空气出口之空气信道。在空气入口与空气出口间的空气信道中配置有一过滤媒介,此过滤媒介系用以留住细菌。一有向性阀配件被配置在空气信道内介过滤媒介与空气出口,用以调节通过空气信道的空气流动。此阀配件只允许液体信道中由第一端至第二端的单向性的流动,在液体信道介于阀配件与过滤媒介间之部份系被微生物滞化,阀配件系被装配于维生物滞化或杀菌系统以空气出口与循环系统进行液体流通。
    • 18. 发明专利
    • 用於半導體裝置製程中超純水輸送系統之殺菌方法
    • 用于半导体设备制程中超纯水输送系统之杀菌方法
    • TW453977B
    • 2001-09-11
    • TW086119757
    • 1997-12-26
    • 三星電子股份有限公司
    • 金承彥吳允哲金秀蓮黃正性
    • C02F
    • A61L2/186A01N37/16B01D65/022B01D2321/08B01D2321/162B01D2321/343C02F1/32C02F1/444C02F1/50C02F1/722C02F2103/04Y10S210/90A01N2300/00
    • 本發明係提供一種殺菌組成物,其係包括過氧化氫、過乙酸、以及去離子水的混合物,一種藉由上述殺菌組成物以及熱水之針對超純水輸送系統之殺菌方法,以及一種超純水輸送系統,其原理係利用在半導體裝置製程中所使用之該殺菌組成物和熱水。該針對超純水輸送系統之殺菌方法,其係包括下列步驟:藉由供應熱水(熱水殺菌步驟),對包含有純水貯存槽、熱交換器、紫外線殺菌劑、OR-磨光器、MB-磨光器以及超過濾器等,其超純水輸送系統之 OR-磨光器以及MB-磨光器進行殺菌作用;以及藉由將包含有殺菌劑(殺菌劑殺菌步驟)的去離子水循環,而對純水貯存槽、熱交換器、紫外線殺菌劑、以及超過濾器等進行殺菌作用。
    • 本发明系提供一种杀菌组成物,其系包括过氧化氢、过乙酸、以及去离子水的混合物,一种借由上述杀菌组成物以及热水之针对超纯水输送系统之杀菌方法,以及一种超纯水输送系统,其原理系利用在半导体设备制程中所使用之该杀菌组成物和热水。该针对超纯水输送系统之杀菌方法,其系包括下列步骤:借由供应热水(热水杀菌步骤),对包含有纯水贮存槽、热交换器、紫外线杀菌剂、OR-磨光器、MB-磨光器以及超过滤器等,其超纯水输送系统之 OR-磨光器以及MB-磨光器进行杀菌作用;以及借由将包含有杀菌剂(杀菌剂杀菌步骤)的去离子水循环,而对纯水贮存槽、热交换器、紫外线杀菌剂、以及超过滤器等进行杀菌作用。