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    • 13. 发明专利
    • 半導體製造裝置用表面處理構件,及其製造方法 SURFACE TREATMENT MATERIAL FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING SYSTEM AND METHOD FOR PRODUCING SAME
    • 半导体制造设备用表面处理构件,及其制造方法 SURFACE TREATMENT MATERIAL FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING SYSTEM AND METHOD FOR PRODUCING SAME
    • TW200942643A
    • 2009-10-16
    • TW097148769
    • 2008-12-15
    • 神戶製鋼所股份有限公司
    • 坪田隆之久本淳和田浩司細川護
    • C23CC22CH01L
    • C25D11/246
    • 本發明提供能抑制半導體製造裝置在使用中電特性經時變化的半導體製造裝置用表面處理構件及其製造方法。半導體製造裝置用表面處理構件(1)具備:由鋁或鋁合金所形成的基材(2);和形成於基材(2)的表面的、實施了水合處理的陽極氧化被膜(3);和形成於陽極氧化被膜(3)的表面的氟高濃度化層(4),其特徵為:氟高濃度化層(4)的氟濃度為1質量%以上。一種半導體製造裝置用表面處理構件(1)的製造方法的特徵在於包括下述工序:在由鋁或鋁合金形成的基材(2)的表面形成陽極氧化被膜(3)的陽極氧化被膜形成工序;和對陽極氧化被膜(3)實施水合處理的水合處理工序;和在陽極氧化被膜(3)的表面形成氟濃度高濃度化為1質量%以上的氟高濃度化層(4)的氟高濃度化層形成工序。
    • 本发明提供能抑制半导体制造设备在使用中电特性经时变化的半导体制造设备用表面处理构件及其制造方法。半导体制造设备用表面处理构件(1)具备:由铝或铝合金所形成的基材(2);和形成于基材(2)的表面的、实施了水合处理的阳极氧化被膜(3);和形成于阳极氧化被膜(3)的表面的氟高浓度化层(4),其特征为:氟高浓度化层(4)的氟浓度为1质量%以上。一种半导体制造设备用表面处理构件(1)的制造方法的特征在于包括下述工序:在由铝或铝合金形成的基材(2)的表面形成阳极氧化被膜(3)的阳极氧化被膜形成工序;和对阳极氧化被膜(3)实施水合处理的水合处理工序;和在阳极氧化被膜(3)的表面形成氟浓度高浓度化为1质量%以上的氟高浓度化层(4)的氟高浓度化层形成工序。