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11. 实用新型

TWM429982U 化學機械研磨修整器有权
简体标题：化学机械研磨修整器
公开(公告)号：TWM429982U
公开(公告)日：2012-05-21
申请号：TW100223651
申请日：2011-12-15
申请人：中國砂輪企業股份有限公司
发明人：周瑞麟 , 簡瑞男 , 鄭忠義 , 陳瑞棋 , 廖文仁
IPC分类号： H01L , B24B
摘要：一種化學機械研磨修整器，用於修整一研磨墊且移除附著於該研磨墊的碎屑，包含有一承載體、至少一研磨部以及至少一清潔部。該承載體具有複數個研磨區域及刷拭區域，該研磨區域及該刷拭區域於一環形方向上呈交錯排序；該研磨部設置於該研磨區域，用以研磨該研磨墊；該清潔部設置於該刷拭區域，用以刷除該碎屑。據此，本新型藉由該刷拭區域與該研磨區域的交錯排序，以該研磨部及該清潔部達到同時研磨該研磨墊及刷除附著於該研磨墊的該碎屑，使該研磨墊經修整後，不需再經過額外的表面清潔程序，節省研磨作業的時間及另行設置一清潔器的成本。
简体摘要：一种化学机械研磨修整器，用于修整一研磨垫且移除附着于该研磨垫的碎屑，包含有一承载体、至少一研磨部以及至少一清洁部。该承载体具有复数个研磨区域及刷拭区域，该研磨区域及该刷拭区域于一环形方向上呈交错排序；该研磨部设置于该研磨区域，用以研磨该研磨垫；该清洁部设置于该刷拭区域，用以刷除该碎屑。据此，本新型借由该刷拭区域与该研磨区域的交错排序，以该研磨部及该清洁部达到同时研磨该研磨垫及刷除附着于该研磨垫的该碎屑，使该研磨垫经修整后，不需再经过额外的表面清洁进程，节省研磨作业的时间及另行设置一清洁器的成本。

12. 实用新型

TWM425739U 磁性研磨修整器 MAGNETIC ABRASIVE CONDITIONER 有权
公开(公告)号：TWM425739U
公开(公告)日：2012-04-01
申请号：TW100223189
申请日：2011-12-08
申请人：中國砂輪企業股份有限公司
发明人：周瑞麟 , 鄭忠義 , 簡瑞男 , 洪英凱
IPC分类号： B24B , H01L
摘要：本創作係有關於一種磁性研磨修整器，包括：一固定元件，該固定元件包括一第一表面、相對於第一表面之一第二表面、及一側邊，其中第一表面上係設有複數磁性元件設置槽，第二表面上係設有一研磨元件設置槽，且側邊上係設有複數凹口；一研磨元件，包括一第三表面、及相對於第三表面之一第四表面，其中第三表面及第四表面上係分別設有複數研磨粒，研磨元件之形狀係對應於固定元件之研磨元件設置槽，且研磨元件係組設於研磨元件設置槽中；以及複數磁性元件，係設於固定元件之磁性元件設置槽中。
简体摘要：本创作系有关于一种磁性研磨修整器，包括：一固定组件，该固定组件包括一第一表面、相对于第一表面之一第二表面、及一侧边，其中第一表面上系设有复数磁性组件设置槽，第二表面上系设有一研磨组件设置槽，且侧边上系设有复数凹口；一研磨组件，包括一第三表面、及相对于第三表面之一第四表面，其中第三表面及第四表面上系分别设有复数研磨粒，研磨组件之形状系对应于固定组件之研磨组件设置槽，且研磨组件系组设于研磨组件设置槽中；以及复数磁性组件，系设于固定组件之磁性组件设置槽中。

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