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    • 134. 发明专利
    • 基板分斷裝置
    • 基板分断设备
    • TW201418533A
    • 2014-05-16
    • TW102121276
    • 2013-06-17
    • 三星鑽石工業股份有限公司MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
    • 成尾徹NARUO, TORU
    • C30B33/02C30B33/10
    • 本發明提供一種具備有使基板反轉並可縮短將基板載置於下一步驟之平台為止之作業時間之吸附反轉機構的基板分斷裝置。其解決手段為:設置有:刻劃裝置D,係於脆性材料基板W之表面形成刻劃線;搬送機構E,係將已刻劃之基板W往吸附反轉機構G移送;吸附反轉機構G,係具備透過旋轉軸28而形成為可上下反轉之吸附板29,且進一步從搬送機構E取置基板W並使其上下反轉而載置於裂斷裝置F之平台15;以及裂斷裝置F,係對從吸附反轉機構G取置之基板W進行裂斷;吸附反轉機構G之吸附板29之旋轉軸28,於與基板W之搬送方向大致正交之方向延伸設置於吸附板29之一端部,在以該旋轉軸28為支點使吸附有基板W之吸附板29反轉,以可將已反轉之基板W載置於裂斷裝置F之平台15上之方式,將旋轉軸28往裂斷裝置F之平台15附近配置。
    • 本发明提供一种具备有使基板反转并可缩短将基板载置于下一步骤之平台为止之作业时间之吸附反转机构的基板分断设备。其解决手段为:设置有:刻划设备D,系于脆性材料基板W之表面形成刻划线;搬送机构E,系将已刻划之基板W往吸附反转机构G移送;吸附反转机构G,系具备透过旋转轴28而形成为可上下反转之吸附板29,且进一步从搬送机构E取置基板W并使其上下反转而载置于裂断设备F之平台15;以及裂断设备F,系对从吸附反转机构G取置之基板W进行裂断;吸附反转机构G之吸附板29之旋转轴28,于与基板W之搬送方向大致正交之方向延伸设置于吸附板29之一端部,在以该旋转轴28为支点使吸附有基板W之吸附板29反转,以可将已反转之基板W载置于裂断设备F之平台15上之方式,将旋转轴28往裂断设备F之平台15附近配置。