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    • 93. 发明专利
    • 炭化矽薄膜之成膜方法
    • 炭化硅薄膜之成膜方法
    • TW201307603A
    • 2013-02-16
    • TW100127507
    • 2011-08-03
    • 新柯隆股份有限公司SHINCRON CO., LTD.
    • 菅原卓哉SUGAWARA, TAKUYA青島光AOSHIMA, HIKARU姜友松JIANG, YOUSONG鹽野一郎SHIONO, ICHIRO長江亦周NAGAE, EKISHU
    • C23C16/32C23C16/42C23C16/513H01L21/205
    • 本發明是提供一種成膜方法,其可以在短時間且安全地、甚至在耐熱性低的基板亦可有效率地形成透光率及薄膜強度高而可以使用於光學用途的碳化矽薄膜。本發明方法是使用一成膜裝置1在移動中的基板S上形成碳化矽的薄膜的方法,成膜裝置1是在真空容器11內將反應製程區域60與成膜製程區域20、40各自在空間上分離配置,而得以獨立控制在各區域20、40、60的處理。首先,在惰性氣體的氣氛下,在區域20濺擊矽靶材29a、29b的同時在區域40濺擊碳靶材49a、49b,藉此在基板S上形成含矽與碳的中間薄膜。接下來,在區域60使中間薄膜曝露於在惰性氣體與氫的混合氣體的氣氛下產生的電漿,而將此中間薄膜膜轉換成超薄膜,此後對超薄膜反覆進行以後的中間薄膜的形成與成為超薄膜的膜轉換。
    • 本发明是提供一种成膜方法,其可以在短时间且安全地、甚至在耐热性低的基板亦可有效率地形成透光率及薄膜强度高而可以使用于光学用途的碳化硅薄膜。本发明方法是使用一成膜设备1在移动中的基板S上形成碳化硅的薄膜的方法,成膜设备1是在真空容器11内将反应制程区域60与成膜制程区域20、40各自在空间上分离配置,而得以独立控制在各区域20、40、60的处理。首先,在惰性气体的气氛下,在区域20溅击硅靶材29a、29b的同时在区域40溅击碳靶材49a、49b,借此在基板S上形成含硅与碳的中间薄膜。接下来,在区域60使中间薄膜曝露于在惰性气体与氢的混合气体的气氛下产生的等离子,而将此中间薄膜膜转换成超薄膜,此后对超薄膜反复进行以后的中间薄膜的形成与成为超薄膜的膜转换。