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    • 95. 发明专利
    • 薄膜形成裝置用構成元件及其洗淨方法
    • 薄膜形成设备用构成组件及其洗净方法
    • TWI315350B
    • 2009-10-01
    • TW093104120
    • 2004-02-19
    • 愛發科股份有限公司
    • 平田招佑磯田伸二門脇豐蟲明克彥
    • C23C
    • C23C14/564C23C14/0005C23C16/4401C23C16/4404C23C16/4407C23C30/00C23F13/00C25F5/00Y10T428/12139Y10T428/12569Y10T428/21Y10T428/252Y10T428/256
    • 本發明為一種薄膜形成裝置用構成元件及該構成元件之洗淨方法,其具有可以比先前更短之時間剝離形成於構成元件之附著膜d,並減輕洗淨液帶來之傷害之構造。利用噴鍍,蒸鍍,濺鍍,層壓等方法在母材金屬1之表面形成比上述構成元件之母材金屬1在電化學上自然電位低之金屬膜層2,或利用上述噴鍍等方法在金屬膜層2之表面形成比上述母材金屬1在電化學上自然電位高之第2金屬膜層3,金屬膜層2即可在與母材金屬1或第2金屬膜層3之間形成局部電池(local cell),而母材金屬1本身不致受到洗淨液S之傷害,且可以在極短時間內將層合於母材金屬1之附著膜d加以剝離。
    • 本发明为一种薄膜形成设备用构成组件及该构成组件之洗净方法,其具有可以比先前更短之时间剥离形成于构成组件之附着膜d,并减轻洗净液带来之伤害之构造。利用喷镀,蒸镀,溅镀,层压等方法在母材金属1之表面形成比上述构成组件之母材金属1在电化学上自然电位低之金属膜层2,或利用上述喷镀等方法在金属膜层2之表面形成比上述母材金属1在电化学上自然电位高之第2金属膜层3,金属膜层2即可在与母材金属1或第2金属膜层3之间形成局部电池(local cell),而母材金属1本身不致受到洗净液S之伤害,且可以在极短时间内将层合于母材金属1之附着膜d加以剥离。