专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW348089B 自一物件移除材料之製程的監視方法及系統失效
简体标题：自一对象移除材料之制程的监视方法及系统
公开(公告)号：TW348089B
公开(公告)日：1998-12-21
申请号：TW086100647
申请日：1997-01-22
申请人：陸克公司
发明人：何法克 , 李赫伯 , 周林均 , 季艾爾 , 崔修一 , 葛丹尼 , 蘇明
IPC分类号： B24B
CPC分类号： B24B37/013 , B24B49/04 , B24B49/12 , G05B19/4065
摘要：在一種用以由一物件移去材料之裝置中，諸如一中介積體電路結構之一已暴露表面，這是藉著平坦化、拋光、蝕刻或其它類似方法，而一個感測器係機械式地耦合至該物件之一移動式載具，用以導引一電磁放射光束穿過該物件至其第一個側面，該放射光束具有一能大致穿透該結構之波長頻帶。在與該物件互相作用後即可偵測此光束，諸如由其已暴露之表面反射時，且該暴露表面處理狀態之最終資訊係由該移動式載具用放射傳送到一固定式接收器，而未使用任何物質傳送媒介，諸如電線或光纖。多個感測器係安裝在該移動式物件載具上，以便橫越該已暴露之物件表面提供該處理製程之一致性資訊。該固定式接收器所收到之放射訊號係用於監視或控制該處理製程，諸如藉此決定其一終點。
简体摘要：在一种用以由一对象移去材料之设备中，诸如一中介集成电路结构之一已暴露表面，这是借着平坦化、抛光、蚀刻或其它类似方法，而一个传感器系机械式地耦合至该对象之一移动式载具，用以导引一电磁放射光束穿过该对象至其第一个侧面，该放射光束具有一能大致穿透该结构之波长频带。在与该对象互相作用后即可侦测此光束，诸如由其已暴露之表面反射时，且该暴露表面处理状态之最终信息系由该移动式载具用放射发送到一固定式接收器，而未使用任何物质发送媒介，诸如电线或光纤。多个传感器系安装在该移动式对象载具上，以便横越该已暴露之对象表面提供该处理制程之一致性信息。该固定式接收器所收到之放射信号系用于监视或控制该处理制程，诸如借此决定其一终点。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式