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1. 发明专利

TWI454356B 切削裝置有权
简体标题：切削设备
公开(公告)号：TWI454356B
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：TW098122938
申请日：2009-07-07
申请人：迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：佐藤正視 , SATO, SEISHI , 新田秀次 , NITTA, SHUJI
IPC分类号： B26D7/18 , B26D1/14 , H01L21/304

2. 发明专利

TWI515819B 保持台有权
公开(公告)号：TWI515819B
公开(公告)日：2016-01-01
申请号：TW100105997
申请日：2011-02-23
申请人：迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：新田秀次 , NITTA, SHUJI , 鳥飼剛史 , TORIKAI, TAKESHI , 瓜田直功 , URITA, NAOKATSU , 山中輔 , YAMANAKA, TASUKU , 根岸克治 , NEGISHI, KATSUHARU
IPC分类号： H01L21/683

3. 发明专利

TW201632308A 載置用凸緣件审中-公开
简体标题：载置用凸缘件
公开(公告)号：TW201632308A
公开(公告)日：2016-09-16
申请号：TW104140325
申请日：2015-12-02
申请人：迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：新田秀次 , NITTA, SHUJI
IPC分类号： B24B45/00 , B24D5/16
CPC分类号： B26D7/2621 , B23B31/307 , B26D7/26 , B28D5/022 , Y10T279/11
摘要：提供一種載置用凸緣件，可抑制伴隨自旋軸旋轉的變形。一種載置用凸緣件(40)，是將在中心部具備嵌合孔(52a)在外周部具有切口(54)的切削刀片(50)裝設在自旋軸(38)，其中，具有：前方側插通切削刀片的嵌合孔且自旋軸嵌合在後方側的內周面(42a)的圓筒狀的轂部(42)、及從轂部的後方側朝徑方向伸出且在前面具備切削刀片抵接的裝設面(44b)的凸緣部(44)，藉由設置將自旋軸包圍朝轂部的內周面開口的圓環狀的空間(44c)，在自旋軸的旋轉時抑制凸緣部的外周緣朝後方翹曲。
简体摘要：提供一种载置用凸缘件，可抑制伴随自旋轴旋转的变形。一种载置用凸缘件(40)，是将在中心部具备嵌合孔(52a)在外周部具有切口(54)的切削刀片(50)装设在自旋轴(38)，其中，具有：前方侧插通切削刀片的嵌合孔且自旋轴嵌合在后方侧的内周面(42a)的圆筒状的毂部(42)、及从毂部的后方侧朝径方向伸出且在前面具备切削刀片抵接的装设面(44b)的凸缘部(44)，借由设置将自旋轴包围朝毂部的内周面开口的圆环状的空间(44c)，在自旋轴的旋转时抑制凸缘部的外周缘朝后方翘曲。

4. 发明专利

TWI681485B 工作夾台及洗淨裝置有权
简体标题：工作夹台及洗净设备
公开(公告)号：TWI681485B
公开(公告)日：2020-01-01
申请号：TW105117412
申请日：2016-06-02
申请人：日商迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：新田秀次 , NITTA, SHUJI , 瓜田直功 , URITA, NAOKATSU , 八木原惇 , YAGIHARA, MAKOTO , 江角和也 , ESUMI, KAZUYA
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/683 , B26D7/01

5. 发明专利

TW201820448A 凸緣機構审中-公开
简体标题：凸缘机构
公开(公告)号：TW201820448A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：TW106134889
申请日：2017-10-12
申请人：日商迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：新田秀次 , NITTA, SHUJI , 脇田信彦 , WAKITA, NOBUHIKO
IPC分类号： H01L21/304 , B23Q3/12 , B24B45/00
摘要： [課題]抑制切削屑之吸引，以及所謂擦傷現象的發生。　　[解決手段]一種凸緣機構，係用以將切削刀裝設於作為旋轉軸的轉軸；該切削刀，係具有：在中央具有裝設孔的圓盤狀的基台，以及設置於該基台的外周緣的刀刃；其特徵為：具備：轂部，係朝向前後方向伸長的圓柱狀的形狀，並於前方側的外周面具有裝設O形環的O形環裝設溝；凸緣部，係從該轂部的後方側朝向徑方向外側突出，且具有支承該切削刀的該基台並朝向前方側的支承面；以及轉軸裝設孔，係設置於該凸緣部的內側，並插入有轉軸的前端部；使將外徑比該基台的裝設孔的徑更大的O形環裝設於該O形環裝設溝的該轂部插入至該基台的該裝設孔，並使該O形環接觸於基台的內周面，藉此支承該切削刀。
简体摘要： [课题]抑制切削屑之吸引，以及所谓擦伤现象的发生。　　[解决手段]一种凸缘机构，系用以将切削刀装设于作为旋转轴的转轴；该切削刀，系具有：在中央具有装设孔的圆盘状的基台，以及设置于该基台的外周缘的刀刃；其特征为：具备：毂部，系朝向前后方向伸长的圆柱状的形状，并于前方侧的外周面具有装设O形环的O形环装设沟；凸缘部，系从该毂部的后方侧朝向径方向外侧突出，且具有支承该切削刀的该基台并朝向前方侧的支承面；以及转轴装设孔，系设置于该凸缘部的内侧，并插入有转轴的前端部；使将外径比该基台的装设孔的径更大的O形环装设于该O形环装设沟的该毂部插入至该基台的该装设孔，并使该O形环接触于基台的内周面，借此支承该切削刀。

6. 发明专利

TW201703173A 工作夾台及洗淨裝置审中-公开
简体标题：工作夹台及洗净设备
公开(公告)号：TW201703173A
公开(公告)日：2017-01-16
申请号：TW105117412
申请日：2016-06-02
申请人：迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：新田秀次 , NITTA, SHUJI , 瓜田直功 , URITA, NAOKATSU , 八木原惇 , YAGIHARA, MAKOTO , 江角和也 , ESUMI, KAZUYA
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/683 , B26D7/01
摘要：本發明的課題為提供一種即使在非常薄的晶圓的情況下，也可將晶圓在沒有破損之情形下吸引保持的工作夾台。解決手段是一種保持晶圓單元的工作夾台，該晶圓單元是藉由以覆蓋環狀框架的開口的方式貼附到該環狀框架的黏著膠帶而支持有晶圓，該工作夾台的特徵在於其具備凹部、複數個吸引孔及吸引路。該凹部是形成為小於該環狀框架的開口且大於晶圓的直徑、並具有平坦的底面。該等複數個吸引孔是形成於將隔著該黏著膠帶所保持的晶圓圍繞的區域的該凹部之該底面或內周面上。該吸引路是將該複數個吸引孔連通於吸引源。在保持該晶圓單元之時，是使其對被該黏著膠帶覆蓋的該凹部產生負壓，以隔著該黏著膠帶將晶圓吸引保持在該底面。
简体摘要：本发明的课题为提供一种即使在非常薄的晶圆的情况下，也可将晶圆在没有破损之情形下吸引保持的工作夹台。解决手段是一种保持晶圆单元的工作夹台，该晶圆单元是借由以覆盖环状框架的开口的方式贴附到该环状框架的黏着胶带而支持有晶圆，该工作夹台的特征在于其具备凹部、复数个吸引孔及吸引路。该凹部是形成为小于该环状框架的开口且大于晶圆的直径、并具有平坦的底面。该等复数个吸引孔是形成于将隔着该黏着胶带所保持的晶圆围绕的区域的该凹部之该底面或内周面上。该吸引路是将该复数个吸引孔连通于吸引源。在保持该晶圆单元之时，是使其对被该黏着胶带覆盖的该凹部产生负压，以隔着该黏着胶带将晶圆吸引保持在该底面。

7. 发明专利

TW201145444A 保持台审中-公开
公开(公告)号：TW201145444A
公开(公告)日：2011-12-16
申请号：TW100105997
申请日：2011-02-23
申请人：迪思科股份有限公司
发明人：新田秀次 , 鳥飼剛史 , 瓜田直功 , 山中輔 , 根岸克治
IPC分类号： H01L
摘要：本發明之課題係在對保持之工作件施行加工或處理時,會抑制摩擦造成之靜電產生而使電荷難以貯存於工作件並且減少帶電量,抑制靜電破壞。本發明之解決手段包含有:工作件支持部,係具有:將負壓傳達到用以支持工作件之支持面且由多孔質體構成之吸附部、及由具有絕緣性之構件所形成之框體;旋轉支持部,係可旋轉地支持工作件支持部;輕量化空間,係形成於旋轉支持部與工作件支持部之間;吸引路徑,係使吸附部與產生負壓之負壓源連通,吸引路徑作成與輕量化空間部連通之構成。可加厚工作件支持部且加大絕緣距離,並且可抑制帶電,由於具有輕量化空間因此不會導致重量增加。
简体摘要：本发明之课题系在对保持之工作件施行加工或处理时,会抑制摩擦造成之静电产生而使电荷难以贮存于工作件并且减少带电量,抑制静电破坏。本发明之解决手段包含有:工作件支持部,系具有:将负压传达到用以支持工作件之支持面且由多孔质体构成之吸附部、及由具有绝缘性之构件所形成之框体;旋转支持部,系可旋转地支持工作件支持部;轻量化空间,系形成于旋转支持部与工作件支持部之间;吸引路径,系使吸附部与产生负压之负压源连通,吸引路径作成与轻量化空间部连通之构成。可加厚工作件支持部且加大绝缘距离,并且可抑制带电,由于具有轻量化空间因此不会导致重量增加。

8. 发明专利

TW201016418A 切削裝置审中-公开
简体标题：切削设备
公开(公告)号：TW201016418A
公开(公告)日：2010-05-01
申请号：TW098122938
申请日：2009-07-07
申请人：迪思科股份有限公司
发明人：佐藤正視 , 新田秀次
IPC分类号： B26D , H01L
摘要：本發明之問題，是提供一種具備不需使夾頭座大幅超過切削行程地移動，而能夠將包夾切削後的切削槽之區域予以洗淨之洗淨手段的切削裝置。本發明之解決手段是一種切削裝置，為具備：具有用以切削保持在夾頭座之被加工物之切削刀的切削手段，以及將夾頭座對切削手段以相對往切削進給方向進行切削進給之切削進給手段；切削手段係具備：將前端裝著有切削刀之旋轉主軸旋轉自如地予以支撐之主軸外殼的前端部處，以包夾切削刀於而配設於兩側，且由覆蓋該切削刀之第1蓋構件與第2蓋構件所構成之刀蓋；以及分別配設於第1蓋構件與第2蓋構件，並具有將切削水噴出至切削刀與被保持在夾頭座之被加工物之切削水噴出噴嘴的切削水噴出手段，其特徵為具備：具有洗淨流體噴出噴嘴的洗淨流體噴出手段；該洗淨流體噴出噴嘴，係於該切削水噴出噴嘴之該夾頭座的切削進給方向下游側，分別配設於該第1蓋構件與第2蓋構件中，並將由洗淨水與高壓氣體所組成之洗淨流體，噴出至：將位於被保持在該夾頭座之被加工物中之由該切削刀所剛切削後的切削槽予以包夾之區域。
简体摘要：本发明之问题，是提供一种具备不需使夹头座大幅超过切削行程地移动，而能够将包夹切削后的切削槽之区域予以洗净之洗净手段的切削设备。本发明之解决手段是一种切削设备，为具备：具有用以切削保持在夹头座之被加工物之切削刀的切削手段，以及将夹头座对切削手段以相对往切削进给方向进行切削进给之切削进给手段；切削手段系具备：将前端装着有切削刀之旋转主轴旋转自如地予以支撑之主轴外壳的前端部处，以包夹切削刀于而配设于两侧，且由覆盖该切削刀之第1盖构件与第2盖构件所构成之刀盖；以及分别配设于第1盖构件与第2盖构件，并具有将切削水喷出至切削刀与被保持在夹头座之被加工物之切削水喷出喷嘴的切削水喷出手段，其特征为具备：具有洗净流体喷出喷嘴的洗净流体喷出手段；该洗净流体喷出喷嘴，系于该切削水喷出喷嘴之该夹头座的切削进给方向下游侧，分别配设于该第1盖构件与第2盖构件中，并将由洗净水与高压气体所组成之洗净流体，喷出至：将位于被保持在该夹头座之被加工物中之由该切削刀所刚切削后的切削槽予以包夹之区域。

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