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    • 1. 发明专利
    • 壓力警示模組及拋光裝置
    • 压力警示模块及抛光设备
    • TW201325818A
    • 2013-07-01
    • TW100147204
    • 2011-12-19
    • 財團法人工業技術研究院INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
    • 丁純乾TING, CHUN CHIEN陳俊皓CHEN, JAN HAO蕭錫鴻HSIAO, HIS HUNG
    • B24B49/10
    • 一種壓力警示模組適於將一研拋頭連接至一移動單元且包括下列元件。一支撐架具有一連接部、一固定部及多個測量部,連接部適於組裝至移動單元,且固定部經由這些測量部連接至連接部。一可動架適於組裝至研拋頭。多個限位件各自將可動架連接至固定部,用以限制可動架相對於固定部的運動。多個彈性件設置於固定部與可動架之間,用以相對於固定部復位可動架。多個應變規分別配置在這些測量部上,用以測量這些測量部的變形。一警示器組裝至支撐架並電性耦接至這些應變規,並能對應這些應變規所傳回的多個測量值來發出警告信號。一種拋光裝置包括移動單元、研拋頭及壓力警示模組亦在此提出。
    • 一种压力警示模块适于将一研抛头连接至一移动单元且包括下列组件。一支撑架具有一连接部、一固定部及多个测量部,连接部适于组装至移动单元,且固定部经由这些测量部连接至连接部。一可动架适于组装至研抛头。多个限位件各自将可动架连接至固定部,用以限制可动架相对于固定部的运动。多个弹性件设置于固定部与可动架之间,用以相对于固定部复位可动架。多个应变规分别配置在这些测量部上,用以测量这些测量部的变形。一警示器组装至支撑架并电性耦接至这些应变规,并能对应这些应变规所传回的多个测量值来发出警告信号。一种抛光设备包括移动单元、研抛头及压力警示模块亦在此提出。