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1. 发明专利

TWI584700B 於薄膜處理中用於脈衝模式方案的射頻電力輸送系統中的多個電源供應的反饋控制和同調化有权
简体标题：于薄膜处理中用于脉冲模式方案的射频电力输送系统中的多个电源供应的反馈控制和同调化
公开(公告)号：TWI584700B
公开(公告)日：2017-05-21
申请号：TW102106273
申请日：2013-02-22
申请人：萬機科技股份有限公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：庫墨大衛J , COUMOU, DAVID J. , 范理查 , PHAM, RICHARD
IPC分类号： H05H7/02
CPC分类号： H03G1/00 , H03F1/0211 , H03F1/56 , H03F3/189 , H03F3/20 , H03H7/40

2. 发明专利

TW201347615A 於薄膜處理中用於脈衝模式方案的射頻電力輸送系統中的多個電源供應的反饋控制和同調化审中-公开
简体标题：于薄膜处理中用于脉冲模式方案的射频电力输送系统中的多个电源供应的反馈控制和同调化
公开(公告)号：TW201347615A
公开(公告)日：2013-11-16
申请号：TW102106273
申请日：2013-02-22
申请人：萬機科技股份有限公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：庫墨大衛J , COUMOU, DAVID J. , 范理查 , PHAM, RICHARD
IPC分类号： H05H7/02
CPC分类号： H03G1/00 , H03F1/0211 , H03F1/56 , H03F3/189 , H03F3/20 , H03H7/40
摘要：一種射頻電源供應系統，用以輸送週期性射頻功率至一負載。一功率放大器輸出一射頻信號給該負載。一感測器測量到提供給該負載的該射頻信號，以及輸出數個信號，其基於該射頻信號而改變。一第一反饋迴路從該感測器基於根據從該感測器的輸出所決定之電源而能用以控制該射頻信號。一第二反饋迴路基於根據從該感測器的輸出所測量之能量而能用以控制該射頻信號。能量的振幅及周期提供數個控制值，以改變該射頻信號。該控制系統及技術被應用於脈衝射頻功率供應以及在各種情況下應用於數個連續波電力供應。
简体摘要：一种射频电源供应系统，用以输送周期性射频功率至一负载。一功率放大器输出一射频信号给该负载。一传感器测量到提供给该负载的该射频信号，以及输出数个信号，其基于该射频信号而改变。一第一反馈回路从该传感器基于根据从该传感器的输出所决定之电源而能用以控制该射频信号。一第二反馈回路基于根据从该传感器的输出所测量之能量而能用以控制该射频信号。能量的振幅及周期提供数个控制值，以改变该射频信号。该控制系统及技术被应用于脉冲射频功率供应以及在各种情况下应用于数个连续波电力供应。

3. 发明专利

TWI562189B 頻率調諧射頻功率源之基於功率失真的伺服控制系統有权
简体标题：频率调谐射频功率源之基于功率失真的伺服控制系统
公开(公告)号：TWI562189B
公开(公告)日：2016-12-11
申请号：TW101148991
申请日：2012-12-21
申请人：萬機科技股份有限公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：庫墨大衛J , COUMOU, DAVID J.
IPC分类号： H01J37/32 , H03F3/60
CPC分类号： H03F1/56 , H03F1/32 , H03F3/189 , H03F3/191

4. 发明专利

TW201327620A 頻率調諧射頻功率源之基於功率失真的伺服控制系統审中-公开
简体标题：频率调谐射频功率源之基于功率失真的伺服控制系统
公开(公告)号：TW201327620A
公开(公告)日：2013-07-01
申请号：TW101148991
申请日：2012-12-21
申请人：萬機科技股份有限公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：庫墨大衛J , COUMOU, DAVID J.
IPC分类号： H01J37/32 , H03F3/60
CPC分类号： H03F1/56 , H03F1/32 , H03F3/189 , H03F3/191
摘要：一種無線射頻系統包含：一功率放大器，通過位於該功率放大器及一匹配網路之間的一傳輸線輸出一無線射頻信號至該匹配網路；一感應器，監測該無線射頻信號並根據該無線射頻信號產生第一感應信號；一失真模組，依照(1)該第一感應信號的一正弦函數及(2)該第一感應信號的一交叉關聯函數中的至少一個，以確定一第一失真值；一第一校正電路，(1)根據該第一失真值及一第一預定值產生一第一阻抗調諧值以及(2)提供該匹配網路內執行的阻抗匹配的前饋控制，其包含輸出該第一阻抗調諧值至該功率放大器及匹配網路其中之一。
简体摘要：一种无线射频系统包含：一功率放大器，通过位于该功率放大器及一匹配网络之间的一传输线输出一无线射频信号至该匹配网络；一感应器，监测该无线射频信号并根据该无线射频信号产生第一感应信号；一失真模块，依照(1)该第一感应信号的一正弦函数及(2)该第一感应信号的一交叉关联函数中的至少一个，以确定一第一失真值；一第一校正电路，(1)根据该第一失真值及一第一预定值产生一第一阻抗调谐值以及(2)提供该匹配网络内运行的阻抗匹配的前馈控制，其包含输出该第一阻抗调谐值至该功率放大器及匹配网络其中之一。

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