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    • 4. 发明专利
    • 具有電介質襯裡之高電壓三維裝置
    • 具有电介质衬里之高电压三维设备
    • TW201832349A
    • 2018-09-01
    • TW106139962
    • 2013-06-13
    • 美商英特爾股份有限公司INTEL CORPORATION
    • 賀菲斯 瓦力德HAFEZ, WALID M.葉震亞YEH, JENG YA D.蔡 柯堤斯TSAI, CURTIS朴朱東PARK, JOODONG簡嘉弘JAN, CHIA-HONG哈瑪撒帝 古賓納BHIMARASETTI, GOPINATH
    • H01L27/105H01L21/31
    • 說明具有電介質襯裡的高電壓三維裝置以及具有電介質襯裡的高電壓三維裝置的形成方法。舉例而言,半導體結構包含配置在上述基底上方的第一鰭主動區以及第二鰭主動區。第一閘極結構配置在第一鰭主動區的上表面上方、以及延著第一鰭主動區的側壁。第一閘極結構包含第一閘極電介質、第一閘極電極、及第一間隔器。第一閘極電介質由配置在第一鰭主動區上及延著第一間隔器側壁之第一電介層、以及配置在第一電介層上及延著第一間隔器側壁之第二、不同的電介層構成。半導體結構也包含配置在第二鰭主動區的上表面上方、以及延著第二鰭主動區的側壁之第二閘極結構。第二閘極結構包含第二閘極電介質、第二閘極電極、及第二間隔器。第二閘極電介質由配置在第二鰭主動區上及延著第二間隔器側壁之第二電介層構成。
    • 说明具有电介质衬里的高电压三维设备以及具有电介质衬里的高电压三维设备的形成方法。举例而言,半导体结构包含配置在上述基底上方的第一鳍主动区以及第二鳍主动区。第一闸极结构配置在第一鳍主动区的上表面上方、以及延着第一鳍主动区的侧壁。第一闸极结构包含第一闸极电介质、第一闸极电极、及第一间隔器。第一闸极电介质由配置在第一鳍主动区上及延着第一间隔器侧壁之第一电介层、以及配置在第一电介层上及延着第一间隔器侧壁之第二、不同的电介层构成。半导体结构也包含配置在第二鳍主动区的上表面上方、以及延着第二鳍主动区的侧壁之第二闸极结构。第二闸极结构包含第二闸极电介质、第二闸极电极、及第二间隔器。第二闸极电介质由配置在第二鳍主动区上及延着第二间隔器侧壁之第二电介层构成。