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1. 发明专利

TW278140B 探針系統及檢測方法失效
简体标题：探针系统及检测方法
公开(公告)号：TW278140B
公开(公告)日：1996-06-11
申请号：TW084103365
申请日：1995-04-08
申请人：東京電子山梨股份有限公司 , 東京電子股份有限公司
发明人：久慈基弘 , 吉岡晴彥 , 赤池伸二 , 高橋茂昭
IPC分类号： G01R
CPC分类号： G01R31/2887 , G01R1/07314
摘要：本發明的探針系統是用以檢測在半導體晶圓（wafer）上排成行列狀的晶片（chip）的電特性。為接觸各晶片的電極片（pad），在具有複數個探針（probe）的探針片（probe card）之下，設有可在三度空間移動的ＸＹＺ移動台（stage）。在ＸＹＺ移動台之上，設有可在水平面上轉動的晶圓搭載台。為了拍攝探針，使可視區向上，在ＸＹＺ移動台上安裝上第１照相器。為了拍攝晶圓，使可視區向下，在搭載台上方設有第２照相器。相對於探針片下方的使用位置，第２照相器可在水平方向移動，進入，退出。為了對準第１及第２照相器的焦點位置及光軸，使用了標的（target），此標的是由安裝在ＸＹＺ移動台上的驅動部品來支持而移動。此標的在第１照相器的可視區內的進入位置及其可視區外的退出位置之間移動。在進入位置，此標的提供了與第一照相器的焦點位置對齊的基準點。搭載台、移動台及前述第１及第２照相器與控制及處理部相連接。控制及處理部則基於設定的３度空間座標，依編碼器（encoder）的脈衝（pulse）數來控制移動台的位置。
简体摘要：本发明的探针系统是用以检测在半导体晶圆（wafer）上排成行列状的芯片（chip）的电特性。为接触各芯片的电极片（pad），在具有复数个探针（probe）的探针片（probe card）之下，设有可在三度空间移动的ＸＹＺ移动台（stage）。在ＸＹＺ移动台之上，设有可在水平面上转动的晶圆搭载台。为了拍摄探针，使可视区向上，在ＸＹＺ移动台上安装上第１照相器。为了拍摄晶圆，使可视区向下，在搭载台上方设有第２照相器。相对于探针片下方的使用位置，第２照相器可在水平方向移动，进入，退出。为了对准第１及第２照相器的焦点位置及光轴，使用了标的（target），此标的是由安装在ＸＹＺ移动台上的驱动部品来支持而移动。此标的在第１照相器的可视区内的进入位置及其可视区外的退出位置之间移动。在进入位置，此标的提供了与第一照相器的焦点位置对齐的基准点。搭载台、移动台及前述第１及第２照相器与控制及处理部相连接。控制及处理部则基于设置的３度空间座标，依编码器（encoder）的脉冲（pulse）数来控制移动台的位置。

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