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2. 发明专利

TW201623948A 雜質微粒檢測裝置及金屬遮罩檢測裝置审中-公开
简体标题：杂质微粒检测设备及金属遮罩检测设备
公开(公告)号：TW201623948A
公开(公告)日：2016-07-01
申请号：TW103143911
申请日：2014-12-16
申请人：旭東機械工業股份有限公司 , SHUZ TUNG MACHINERY INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人：黃旭輝 , HUANG, HSU HUI , 趙翊傑 , CHAO, YI CHIEH , 陳致豪 , CHEN, CHIH HAO , 陳建男 , CHEN, CHIEN NAN
IPC分类号： G01N21/94
摘要：本發明提供了一種雜質微粒檢測裝置及金屬遮罩檢測裝置，用以檢測水平之一金屬表面之雜質微粒。雜質微粒檢測裝置包含一檢測光源以及一影像感測器。檢測光源具有一第一發光源及一第二發光源，以分別提供一第一帶狀光束及一第二帶狀光束入射至金屬表面。影像感測器具有一鏡頭及一條狀感測件，鏡頭用以接收來自金屬表面之光以聚焦至條狀感測件且鏡頭之一光軸垂直於金屬表面。其中，第一帶狀光束及第二帶狀光束之長軸為前後方向，條狀感測件之一長軸為前後方向，第一帶狀光束以一第一入射角入射至金屬表面之一檢測區，第一入射角係為大於等於45度並小於90度之一角度，第二發光源與第一發光源左右對稱，使第二帶狀光束入射至金屬表面的一第二入射角之角度相同於第一入射角之角度，且金屬表面具有沿左右方向之複數條紋路。
简体摘要：本发明提供了一种杂质微粒检测设备及金属遮罩检测设备，用以检测水平之一金属表面之杂质微粒。杂质微粒检测设备包含一检测光源以及一影像传感器。检测光源具有一第一发光源及一第二发光源，以分别提供一第一带状光束及一第二带状光束入射至金属表面。影像传感器具有一镜头及一条状传感件，镜头用以接收来自金属表面之光以聚焦至条状传感件且镜头之一光轴垂直于金属表面。其中，第一带状光束及第二带状光束之长轴为前后方向，条状传感件之一长轴为前后方向，第一带状光束以一第一入射角入射至金属表面之一检测区，第一入射角系为大于等于45度并小于90度之一角度，第二发光源与第一发光源左右对称，使第二带状光束入射至金属表面的一第二入射角之角度相同于第一入射角之角度，且金属表面具有沿左右方向之复数条纹路。

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