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1. 发明专利

TW201510475A 三維形貌輪廓量測裝置及其方法审中-公开
简体标题：三维形貌轮廓量测设备及其方法
公开(公告)号：TW201510475A
公开(公告)日：2015-03-16
申请号：TW102132815
申请日：2013-09-11
申请人：國立臺灣大學 , NATIONAL TAIWAN UNIVERSITY
发明人：陳亮嘉 , CHEN, LIANG CHIA , 謝仲安 , HSIEH, CHUNG AN , 翁明軒 , WENG, MING XUAN
IPC分类号： G01B11/24
CPC分类号： G06T7/521 , G01B11/2531 , H04N13/254
摘要：一種三維形貌輪廓量測裝置及其方法，其係投射一條紋光束以及一光斑光束至一待測物體上，並擷取由該待測物體反射之一變形條紋光束以及變形光斑光束，而得到相應的一條紋影像與一光斑影像。接著，根據該光斑影像決定出該待測物體表面上之每一位置所具有之一絕對相位資訊，並由該絕對相資訊轉換成對應該位置之一絕對深度，以及根據該條紋影像決定出每一位置之相對相位資訊，並由該相對相位資訊轉換成對應該位置之一相對深度。將每一位置所具有之絕對深度與相對深度組合以形成該位置之一深度，進而得到該待測物體之表面形貌。
简体摘要：一种三维形貌轮廓量测设备及其方法，其系投射一条纹光束以及一光斑光束至一待测物体上，并截取由该待测物体反射之一变形条纹光束以及变形光斑光束，而得到相应的一条纹影像与一光斑影像。接着，根据该光斑影像决定出该待测物体表面上之每一位置所具有之一绝对相位信息，并由该绝对相信息转换成对应该位置之一绝对深度，以及根据该条纹影像决定出每一位置之相对相位信息，并由该相对相位信息转换成对应该位置之一相对深度。将每一位置所具有之绝对深度与相对深度组合以形成该位置之一深度，进而得到该待测物体之表面形貌。

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