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1. 发明专利

TW201803337A 雙行並行CCD感測器及使用感測器之檢測系統审中-公开
简体标题：双行并行CCD传感器及使用传感器之检测系统
公开(公告)号：TW201803337A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：TW106111521
申请日：2017-04-06
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：莊勇和艾力克斯 , CHUANG, YUNG-HO ALEX , 張璟璟 , ZHANG, JINGJING , 札密克史提夫(雪倫) , ZAMEK, STEVE(SHARON) , 費爾登約翰 , FIELDEN, JOHN , 康塔多迪維斯 , CONTARATO, DEVIS , 布朗大衛 L , BROWN, DAVID L.
IPC分类号： H04N5/372 , H04N5/378 , H01L27/146 , G01N21/00
CPC分类号： H04N5/378 , G01N21/9501 , G06T7/0008 , G06T2207/30148 , H01L27/14812 , H01L27/14825 , H04N5/361 , H04N5/372
摘要：一種雙行並行影像CCD感測器利用一雙行並行讀出電路，該雙行並行讀出電路包含兩對交叉連接之轉移閘極，以在高速度下以低雜訊將像素資料(電荷)自一對毗鄰像素行交替地轉移至一共用輸出電路。沿著該兩個毗鄰像素行，以一線時脈速率轉移的電荷係藉由該轉移閘極交替地傳遞至一求和閘極，該求合閘極係以該線時脈速率之兩倍的速率操作，以將該影像電荷傳遞至該共用輸出電路。在一項實施例中，利用一對稱Y形擴散部以合併來自該兩個像素行之該影像電荷。本發明亦闡述一種用線時脈同步來驅動該雙行並行CCD感測器之方法。本發明亦闡述一種使用該雙行並行CCD感測器來檢測一樣本之方法。
简体摘要：一种双行并行影像CCD传感器利用一双行并行读出电路，该双行并行读出电路包含两对交叉连接之转移闸极，以在高速度下以低噪声将像素数据(电荷)自一对毗邻像素行交替地转移至一共享输出电路。沿着该两个毗邻像素行，以一线时脉速率转移的电荷系借由该转移闸极交替地传递至一求和闸极，该求合闸极系以该线时脉速率之两倍的速率操作，以将该影像电荷传递至该共享输出电路。在一项实施例中，利用一对称Y形扩散部以合并来自该两个像素行之该影像电荷。本发明亦阐述一种用线时脉同步来驱动该双行并行CCD传感器之方法。本发明亦阐述一种使用该双行并行CCD传感器来检测一样本之方法。

2. 发明专利

TW201826780A 用於掃描感測器之省電計時审中-公开
简体标题：用于扫描传感器之省电计时
公开(公告)号：TW201826780A
公开(公告)日：2018-07-16
申请号：TW106133234
申请日：2017-09-27
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：布朗大衛 L , BROWN, DAVID L.
IPC分类号： H04N5/369 , H04N5/372
摘要：一種時間延遲與積分電荷耦合裝置包含一像素陣列及一時脈產生器。該像素陣列沿一掃描方向及垂直於該掃描方向之一線方向分佈，其中該陣列之像素中之至少某些像素包含沿該掃描方向對準之三個或多於三個閘極。該時脈產生器提供計時信號以沿著該掃描方向在包含沿該掃描方向毗鄰之兩個或多於兩個像素之兩個或多於兩個像素群組之間轉移電荷。該等計時信號包含相位信號以藉由以下方式沿著該掃描方向以與目標之速度對應之一速率將該電荷轉移至一毗鄰像素群組：驅動該兩個或多於兩個像素群組之該等閘極，而且每像素群組產生用於容納回應於入射照明而產生之電荷之一共同電位井。
简体摘要：一种时间延迟与积分电荷耦合设备包含一像素数组及一时脉产生器。该像素数组沿一扫描方向及垂直于该扫描方向之一线方向分布，其中该数组之像素中之至少某些像素包含沿该扫描方向对准之三个或多于三个闸极。该时脉产生器提供计时信号以沿着该扫描方向在包含沿该扫描方向毗邻之两个或多于两个像素之两个或多于两个像素群组之间转移电荷。该等计时信号包含相位信号以借由以下方式沿着该扫描方向以与目标之速度对应之一速率将该电荷转移至一毗邻像素群组：驱动该两个或多于两个像素群组之该等闸极，而且每像素群组产生用于容纳回应于入射照明而产生之电荷之一共同电位井。

3. 发明专利

TWI695405B 檢查樣本之方法有权
简体标题：检查样本之方法
公开(公告)号：TWI695405B
公开(公告)日：2020-06-01
申请号：TW108106178
申请日：2015-08-28
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：布朗大衛 L , BROWN, DAVID L. , 莊勇和艾力克斯 , CHUANG, YUNG-HO ALEX , 費爾登約翰 , FIELDEN, JOHN , 崔伯馬歇爾 , TRIMPL, MARCEL , 張璟璟 , ZHANG, JINGJING , 康塔多迪維斯 , CONTARATO, DEVIS , 伊爾凡卡特曼 , IYER, VENKATRAMAN
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/20 , H01J37/285

4. 发明专利

TW201820500A 用於高速成像感測器資料傳送之裝置审中-公开
简体标题：用于高速成像传感器数据发送之设备
公开(公告)号：TW201820500A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：TW106129317
申请日：2017-08-29
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：札密克史提夫 , ZAMEK, STEVE , 布朗大衛 L , BROWN, DAVID L. , 伊爾凡卡特曼 , IYER, VENKATRAMAN
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/67 , H01L27/146
摘要：本發明揭示一種包含至少一個基板之成像感測器總成，該至少一個基板包含複數個基板信號線。該成像感測器總成亦包含安置於該至少一個基板上之至少一個成像感測器封裝，該至少一個成像感測器封裝包含安置於至少一個成像感測器封裝基板上之至少一個成像感測器。該成像感測器總成亦包含安置於該至少一個基板上之至少一個接收器封裝，該接收器封裝包含安置於至少一個接收器封裝基板上之至少一個接收器積體電路。該成像感測器總成亦包含可操作地耦合至該至少一個成像感測器封裝及該至少一個接收器封裝之至少一個電互連件。複數個資料信號經由該至少一個電互連件在該至少一個成像感測器封裝與該至少一個接收器封裝之間傳輸。
简体摘要：本发明揭示一种包含至少一个基板之成像传感器总成，该至少一个基板包含复数个基板信号线。该成像传感器总成亦包含安置于该至少一个基板上之至少一个成像传感器封装，该至少一个成像传感器封装包含安置于至少一个成像传感器封装基板上之至少一个成像传感器。该成像传感器总成亦包含安置于该至少一个基板上之至少一个接收器封装，该接收器封装包含安置于至少一个接收器封装基板上之至少一个接收器集成电路。该成像传感器总成亦包含可操作地耦合至该至少一个成像传感器封装及该至少一个接收器封装之至少一个电互连件。复数个数据信号经由该至少一个电互连件在该至少一个成像传感器封装与该至少一个接收器封装之间传输。

5. 发明专利

TW201921408A 檢查樣本之方法审中-公开
简体标题：检查样本之方法
公开(公告)号：TW201921408A
公开(公告)日：2019-06-01
申请号：TW108106178
申请日：2015-08-28
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：布朗大衛 L , BROWN, DAVID L. , 莊勇和艾力克斯 , CHUANG, YUNG-HO ALEX , 費爾登約翰 , FIELDEN, JOHN , 崔伯馬歇爾 , TRIMPL, MARCEL , 張璟璟 , ZHANG, JINGJING , 康塔多迪維斯 , CONTARATO, DEVIS , 伊爾凡卡特曼 , IYER, VENKATRAMAN
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/20 , H01J37/285
摘要：本發明揭示一種掃描式電子顯微鏡，其併入一多像素固態電子偵測器。該多像素固態偵測器可偵測回散射及/或二次電子。該多像素固態偵測器可併入類比轉數位轉換器及其他電路。該多像素固態偵測器能夠大致判定入射電子之能量及/或可含有用於處理或分析電子信號之電路。該多像素固態偵測器適合於高速操作，諸如，依約100 MHz或更高之一速率。該掃描式電子顯微鏡可用於審查、檢查或量測一樣本，諸如一未經圖案化半導體晶圓、一經圖案化半導體晶圓、一主光罩或一光罩。本發明亦描述一種審查或檢查一樣本之方法。
简体摘要：本发明揭示一种扫描式电子显微镜，其并入一多像素固态电子侦测器。该多像素固态侦测器可侦测回散射及/或二次电子。该多像素固态侦测器可并入模拟转数码转换器及其他电路。该多像素固态侦测器能够大致判定入射电子之能量及/或可含有用于处理或分析电子信号之电路。该多像素固态侦测器适合于高速操作，诸如，依约100 MHz或更高之一速率。该扫描式电子显微镜可用于审查、检查或量测一样本，诸如一未经图案化半导体晶圆、一经图案化半导体晶圆、一主光罩或一光罩。本发明亦描述一种审查或检查一样本之方法。

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