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2. 发明专利

TWI327942B 載台裝置有权
简体标题：载台设备
公开(公告)号：TWI327942B
公开(公告)日：2010-08-01
申请号：TW093126374
申请日：2004-09-01
申请人：住友重機械工業股份有限公司
发明人：加藤達朗 , 內海和晴 , 村山洋 , 真下秀彥
IPC分类号： B23Q
CPC分类号： G03F7/70725 , G03F7/70716 , G05B2219/49193
摘要：【課題】提供一種具備即使進行連續運轉的情況，對於
導引軌道的樑桿的直交度也可維持於所設定的預定範圍內的功能的載台裝置。
【解決手段】本發明，是適用於，在定盤上，具備使2
個移動體各別朝X方向滑動可能的2個驅動源，2個移動體的至少一方是具備由朝X方向延伸的導引構件所導引，在這些2個移動體之間使導引構件直交地橫跨且與2個移動體同時移動可能的樑桿的載台裝置。本載台裝置是進一步，具備：供檢測2個移動體的各別的位置用的2個位置檢測器；及供限定2個移動體的各別的原點位置用的2個原點檢測器；及接受來自2個位置檢測器、2個原點檢測器的檢測訊號，進行供控制2個驅動源用的2個移動體的位置控制用的控制裝置；控制裝置，是藉由也具有將2個驅動源個別控制使樑桿體對於與X方向垂直的偏旋轉軸旋轉的偏軸旋轉控制功能，在該載台裝置的起動時即使樑桿體的直交度變化的情況，樑桿體也可對於導引構件維持於預定範圍內的直交度。
简体摘要：【课题】提供一种具备即使进行连续运转的情况，对于导引轨道的梁杆的直交度也可维持于所设置的预定范围内的功能的载台设备。【解决手段】本发明，是适用于，在定盘上，具备使2 个移动体各别朝X方向滑动可能的2个驱动源，2个移动体的至少一方是具备由朝X方向延伸的导引构件所导引，在这些2个移动体之间使导引构件直交地横跨且与2个移动体同时移动可能的梁杆的载台设备。本载台设备是进一步，具备：供检测2个移动体的各别的位置用的2个位置检测器；及供限定2个移动体的各别的原点位置用的2个原点检测器；及接受来自2个位置检测器、2个原点检测器的检测信号，进行供控制2个驱动源用的2个移动体的位置控制用的控制设备；控制设备，是借由也具有将2个驱动源个别控制使梁杆体对于与X方向垂直的偏旋转轴旋转的偏轴旋转控制功能，在该载台设备的起动时即使梁杆体的直交度变化的情况，梁杆体也可对于导引构件维持于预定范围内的直交度。

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