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1. 发明专利

TW201312689A 基板供給裝置审中-公开
简体标题：基板供给设备
公开(公告)号：TW201312689A
公开(公告)日：2013-03-16
申请号：TW101121540
申请日：2012-06-15
申请人：中外爐工業股份有限公司 , CHUGAI RO CO., LTD.
发明人：西尾勤 , NISHIO, TSUTOMU , 魏志丹 , WEI, ZHIDAN , 橫山雅樹 , YOKOYAMA, MASAKI
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/683
摘要：本發明係提供一種短時間可交換基板之基板供給裝置，其係具有主台板，該主台板包含：複數臂，係以一體旋轉且可升降之方式設置，且於旋轉軸周圍對稱地配置者；複數小台板，分別以具有遊隙之方式支撐於臂且可固持基板者；及台板固持機構，藉由臂之旋轉及升降載置小台板，且，將小台板定位固持於遊隙之範圍內者。
简体摘要：本发明系提供一种短时间可交换基板之基板供给设备，其系具有主台板，该主台板包含：复数臂，系以一体旋转且可升降之方式设置，且于旋转轴周围对称地配置者；复数小台板，分别以具有游隙之方式支撑于臂且可固持基板者；及台板固持机构，借由臂之旋转及升降载置小台板，且，将小台板定位固持于游隙之范围内者。

2. 发明专利

TWI519352B 塗布裝置有权
简体标题：涂布设备
公开(公告)号：TWI519352B
公开(公告)日：2016-02-01
申请号：TW102105999
申请日：2013-02-21
申请人：中外爐工業股份有限公司 , CHUGAI RO CO., LTD.
发明人：橫山雅樹 , YOKOYAMA, MASAKI , 近藤尙城 , KONDO, NAOKI
IPC分类号： B05B13/04 , B05B15/08

3. 发明专利

TWI421968B 基板供給裝置有权
简体标题：基板供给设备
公开(公告)号：TWI421968B
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：TW101121540
申请日：2012-06-15
申请人：中外爐工業股份有限公司 , CHUGAI RO CO., LTD.
发明人：西尾勤 , NISHIO, TSUTOMU , 魏志丹 , WEI, ZHIDAN , 橫山雅樹 , YOKOYAMA, MASAKI
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/683

4. 发明专利

TWI644731B 塗佈裝置及塗佈方法有权
简体标题：涂布设备及涂布方法
公开(公告)号：TWI644731B
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：TW104102074
申请日：2015-01-22
申请人：中外爐工業股份有限公司 , CHUGAI RO CO., LTD.
发明人：夏貞雄 , XIA, CHENG XIONG , 永井久也 , NAGAI, HISAYA , 橫山雅樹 , YOKOYAMA, MASAKI
IPC分类号： B05B12/08 , B05B1/30

5. 发明专利

TWI641423B 塗佈裝置及其改良方法有权
简体标题：涂布设备及其改良方法
公开(公告)号：TWI641423B
公开(公告)日：2018-11-21
申请号：TW103135336
申请日：2014-10-13
申请人：中外爐工業股份有限公司 , CHUGAI RO CO., LTD.
发明人：魏志丹 , WEI, ZHIDAN , 橫山雅樹 , YOKOYAMA, MASAKI
IPC分类号： B05B13/02 , B05C13/00

6. 发明专利

TW201839855A 潔淨烘箱审中-公开
简体标题：洁净烘箱
公开(公告)号：TW201839855A
公开(公告)日：2018-11-01
申请号：TW106131930
申请日：2017-09-18
申请人：日商中外爐工業股份有限公司 , CHUGAI RO CO., LTD.
发明人：金光和珠 , KANEMITSU, KAZUAKI , 橫山雅樹 , YOKOYAMA, MASAKI
IPC分类号： H01L21/324 , B01D46/00 , F27D7/04
摘要：一種潔淨烘箱，是使氣體循環以進行工作件的熱處理，其特徵在於包含有：熱處理室，可配置要進行熱處理之工作件，並具有讓氣體流入之氣體入口、及讓氣體流出之氣體出口；過濾器，隔著密封構件安裝於氣體入口；循環流路，將從氣體出口流出之氣體，送至通過過濾器前之氣體所存在的過濾器前空間；及導板，是相對於密封構件位於氣體流動之下游側而包圍前述密封構件，且將通過密封構件附近的氣體透過氣體出口而導引至循環流路。
简体摘要：一种洁净烘箱，是使气体循环以进行工作件的热处理，其特征在于包含有：热处理室，可配置要进行热处理之工作件，并具有让气体流入之气体入口、及让气体流出之气体出口；过滤器，隔着密封构件安装于气体入口；循环流路，将从气体出口流出之气体，送至通过过滤器前之气体所存在的过滤器前空间；及导板，是相对于密封构件位于气体流动之下游侧而包围前述密封构件，且将通过密封构件附近的气体透过气体出口而导引至循环流路。

7. 发明专利

TW201615284A 塗佈裝置及塗佈方法审中-公开
简体标题：涂布设备及涂布方法
公开(公告)号：TW201615284A
公开(公告)日：2016-05-01
申请号：TW104102074
申请日：2015-01-22
申请人：中外爐工業股份有限公司 , CHUGAI RO CO., LTD.
发明人：夏貞雄 , XIA, CHENG XIONG , 永井久也 , NAGAI, HISAYA , 橫山雅樹 , YOKOYAMA, MASAKI
IPC分类号： B05B12/08 , B05B1/30
摘要：本發明提供一種塗佈裝置及塗佈方法，其即使為加壓供給方式，亦可在開始進行塗佈處理時，抑制最初自噴嘴所吐出之塗佈液產生隆起而被加以塗佈之情況，能夠自塗佈處理的開始時間點以適當的塗佈膜厚塗佈在塗佈對象物上，並且構成為簡單且用於調整塗佈膜厚之控制亦為容易之塗佈裝置及塗佈方法。本發明係具備有：塗佈液供給源2，其藉由加壓而朝塗佈液供給系統9擠出並供給貯存在槽3之塗佈液b；噴嘴12，其連接至塗佈液供給系統，一方面吐出被供給之塗佈液，一方面相對於塗佈對象物11進行相對移動，而對塗佈對象物進行塗佈處理；開關閥13，其設置在塗佈液供給系統，於開始進行塗佈處理時開啟而將塗佈液供給至噴嘴，關閉而停止塗佈液朝噴嘴的供給；以及緩衝槽15，其設置在塗佈液供給系統，且塗佈液充滿於內部，於開關閥開啟時，抑制朝向噴嘴所傳遞之壓力的變化。
简体摘要：本发明提供一种涂布设备及涂布方法，其即使为加压供给方式，亦可在开始进行涂布处理时，抑制最初自喷嘴所吐出之涂布液产生隆起而被加以涂布之情况，能够自涂布处理的开始时间点以适当的涂布膜厚涂布在涂布对象物上，并且构成为简单且用于调整涂布膜厚之控制亦为容易之涂布设备及涂布方法。本发明系具备有：涂布液供给源2，其借由加压而朝涂布液供给系统9挤出并供给贮存在槽3之涂布液b；喷嘴12，其连接至涂布液供给系统，一方面吐出被供给之涂布液，一方面相对于涂布对象物11进行相对移动，而对涂布对象物进行涂布处理；开关阀13，其设置在涂布液供给系统，于开始进行涂布处理时打开而将涂布液供给至喷嘴，关闭而停止涂布液朝喷嘴的供给；以及缓冲槽15，其设置在涂布液供给系统，且涂布液充满于内部，于开关阀打开时，抑制朝向喷嘴所传递之压力的变化。

8. 发明专利

TW201601844A 塗佈裝置及其改良方法审中-公开
简体标题：涂布设备及其改良方法
公开(公告)号：TW201601844A
公开(公告)日：2016-01-16
申请号：TW103135336
申请日：2014-10-13
申请人：中外爐工業股份有限公司 , CHUGAI RO CO., LTD.
发明人：魏志丹 , WEI, ZHIDAN , 橫山雅樹 , YOKOYAMA, MASAKI
IPC分类号： B05B13/02 , B05C13/00
摘要：本發明提供一種塗佈裝置及其改良方法，該塗佈裝置及其改良方法係具備有塗佈對象物之移送功能，可使設備節省空間，並且即便在因設備之佈局變更等而移動設置之時，亦不會招致成本增加。塗佈裝置1係使具有將塗佈液加以吐出之噴嘴7的移動體6與載置在平台4上之基板3以相對之方式產生移動，並將自噴嘴所吐出之塗佈液加以塗佈至基板，且將支撐臂10設置在移動體，該支撐臂10係將基板一方面加以支撐一方面移送至平台。
简体摘要：本发明提供一种涂布设备及其改良方法，该涂布设备及其改良方法系具备有涂布对象物之移送功能，可使设备节省空间，并且即便在因设备之布局变更等而移动设置之时，亦不会招致成本增加。涂布设备1系使具有将涂布液加以吐出之喷嘴7的移动体6与载置在平台4上之基板3以相对之方式产生移动，并将自喷嘴所吐出之涂布液加以涂布至基板，且将支撑臂10设置在移动体，该支撑臂10系将基板一方面加以支撑一方面移送至平台。

9. 发明专利

TW201429558A 塗布裝置审中-公开
简体标题：涂布设备
公开(公告)号：TW201429558A
公开(公告)日：2014-08-01
申请号：TW102105999
申请日：2013-02-21
申请人：中外爐工業股份有限公司 , CHUGAI RO CO., LTD.
发明人：橫山雅樹 , YOKOYAMA, MASAKI , 近藤尙城 , KONDO, NAOKI
IPC分类号： B05B13/04 , B05B15/08
摘要：【課題】提供一種提高板材上之異物之檢出感度，並且螺模頭加速時不會有誤檢出之塗布裝置。【解決手段】可搖動之檢出構件，係下端接近板材地配置在螺模頭之進行方向前方，且下端可移動到螺模頭側；擋止器，係抵接於檢出構件，而可防止如檢出構件之下端移動到與螺模頭相反之相反側的搖動；搖動感測器，係用以檢出檢出構件之搖動；加速時賦與勢能構件，係可將檢出構件推壓到擋止器；及壓接裝置，係於螺模頭加速時，將加速時賦與勢能構件壓接於檢出構件。
简体摘要：【课题】提供一种提高板材上之异物之检出感度，并且螺模头加速时不会有误检出之涂布设备。【解决手段】可摇动之检出构件，系下端接近板材地配置在螺模头之进行方向前方，且下端可移动到螺模头侧；挡止器，系抵接于检出构件，而可防止如检出构件之下端移动到与螺模头相反之相反侧的摇动；摇动传感器，系用以检出检出构件之摇动；加速时赋与势能构件，系可将检出构件推压到挡止器；及压接设备，系于螺模头加速时，将加速时赋与势能构件压接于检出构件。

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