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    • 2. 发明专利
    • 閥
    • TW201727106A
    • 2017-08-01
    • TW105131032
    • 2016-09-26
    • 伊原科技股份有限公司IHARA SCIENCE CORPORATION
    • 鈴木敏充SUZUKI, TOSHIMITSU長尾雅司NAGAO, MASAJI
    • F16K1/42F16K31/12F16K27/00F16K31/44
    • F16K1/24
    • 閥(1)具備:外罩(2),其內部形成有流路;閥座(4),其位於流路之中途位置,且設於上述外罩之內面;閥體構件(3),其相對於閥座(4)結合及分離從而使流路開閉;及閥桿(5),其於離開閥座(4)之位置圍繞與閥座(4)之開口面平行之第1軸線(O1)轉動;於閥體構件(3)及閥桿(5),設有彼此自如滑動地卡合而構成凸輪機構的限制孔(32C)與限制突起(71),閥桿(5)之轉動範圍包括藉由凸輪機構使閥體構件(3)保持正對於閥座(4)之朝向且使閥體構件(3)向相對於閥座(4)之開口面大致正交之方向移動的第1轉動範圍0~30°、以及使限制孔(32C)及限制突起(71)彼此成為一體而使閥體構件(3)圍繞閥桿(5)之第1軸線(O1)轉動90°的第2轉動範圍30~120°。
    • 阀(1)具备:外罩(2),其内部形成有流路;阀座(4),其位于流路之中途位置,且设于上述外罩之内面;阀体构件(3),其相对于阀座(4)结合及分离从而使流路开闭;及阀杆(5),其于离开阀座(4)之位置围绕与阀座(4)之开口面平行之第1轴线(O1)转动;于阀体构件(3)及阀杆(5),设有彼此自如滑动地卡合而构成凸轮机构的限制孔(32C)与限制突起(71),阀杆(5)之转动范围包括借由凸轮机构使阀体构件(3)保持正对于阀座(4)之朝向且使阀体构件(3)向相对于阀座(4)之开口面大致正交之方向移动的第1转动范围0~30°、以及使限制孔(32C)及限制突起(71)彼此成为一体而使阀体构件(3)围绕阀杆(5)之第1轴线(O1)转动90°的第2转动范围30~120°。
    • 3. 发明专利
    • 彎管材料及其製造裝置及製造方法
    • 弯管材料及其制造设备及制造方法
    • TWI371323B
    • 2012-09-01
    • TW096146055
    • 2007-12-04
    • 伊原科技股份有限公司
    • 坂東健康深谷信二白山久坪井秀市
    • B21D
    • B21D7/06B21D7/066Y10T29/49444
    • 本發明提供一種方法及裝置,其彎曲中心位置不會偏移,並在推模具上昇時不會脫離半模具之金屬製中空厚構件彎曲成既定角度。在中心銷CP安裝成可轉動之一對導板位於水平狀態,在中心銷之軸中心和金屬製中空厚構件PM的軸中心交叉之狀態,將該構件PM放置於半模具82a上。隨著中心銷之下降,固定於該導板的模具保持構件從水平狀態變成彼此傾斜而且分開,藉此將構件PM彎曲成既定角度,並位於半模具82b上。中心銷係利用引導構件而可上下動,下降至既定的彎曲位置為止時,抵接部96b和止動器92b之傾斜面抵接,而來自上模具的推壓力經由止動器由底板16承受。
    • 本发明提供一种方法及设备,其弯曲中心位置不会偏移,并在推模具上升时不会脱离半模具之金属制中空厚构件弯曲成既定角度。在中心销CP安装成可转动之一对导板位于水平状态,在中心销之轴中心和金属制中空厚构件PM的轴中心交叉之状态,将该构件PM放置于半模具82a上。随着中心销之下降,固定于该导板的模具保持构件从水平状态变成彼此倾斜而且分开,借此将构件PM弯曲成既定角度,并位于半模具82b上。中心销系利用引导构件而可上下动,下降至既定的弯曲位置为止时,抵接部96b和止动器92b之倾斜面抵接,而来自上模具的推压力经由止动器由底板16承受。
    • 4. 发明专利
    • 管道連接結構以及管 PIPE CONNECTION STRUCTURE AND PIPE
    • 管道连接结构以及管 PIPE CONNECTION STRUCTURE AND PIPE
    • TW201224318A
    • 2012-06-16
    • TW100144173
    • 2011-12-01
    • 伊原科技股份有限公司堀場STEC股份有限公司
    • 木村美良山田哲也中野琢雄
    • F16L
    • F16L23/10
    • 一種管道連接結構,其在設置於一對管道的端部的法蘭部對置的狀態下,在內周面中設有凹槽的耦合環配合於對置的法蘭部的外周緣,使耦合環緊固以縮小耦合環的內徑,從而在凹槽的每個側面上形成的斜面擠壓在每個法蘭部的背面上形成的斜面,通過擠壓時產生的軸向分力使成對的法蘭部耦合,在每個法蘭部或每個管道上設置有安裝校正面,僅在耦合環安裝於法蘭部、並以等於或大於規定角度的角度保持傾斜的姿態而非以正常安裝姿態被緊固時,安裝校正面在緊固完成前鄰接於耦合環的一部分以防止一部分進一步接近管道側,從而耦合環的姿態隨著隨後的緊固而接近於正常安裝姿態。本發明可防止耦合環以相對於法蘭部傾斜的狀態安裝於法蘭部,能夠可靠地連接管道。
    • 一种管道连接结构,其在设置于一对管道的端部的法兰部对置的状态下,在内周面中设有凹槽的耦合环配合于对置的法兰部的外周缘,使耦合环紧固以缩小耦合环的内径,从而在凹槽的每个侧面上形成的斜面挤压在每个法兰部的背面上形成的斜面,通过挤压时产生的轴向分力使成对的法兰部耦合,在每个法兰部或每个管道上设置有安装校正面,仅在耦合环安装于法兰部、并以等于或大于规定角度的角度保持倾斜的姿态而非以正常安装姿态被紧固时,安装校正面在紧固完成前邻接于耦合环的一部分以防止一部分进一步接近管道侧,从而耦合环的姿态随着随后的紧固而接近于正常安装姿态。本发明可防止耦合环以相对于法兰部倾斜的状态安装于法兰部,能够可靠地连接管道。
    • 5. 发明专利
    • 接頭構造 JOINT STRUCTURE
    • 接头构造 JOINT STRUCTURE
    • TW200730755A
    • 2007-08-16
    • TW095144128
    • 2006-11-29
    • 伊原科技股份有限公司 IHARA SCIENCE CORPORATION
    • 木村美良 MIYOSHI KIMURA長瀨祐助 YUSUKE NAGASE安達義紀 YOSHIKI ADACHI
    • F16L
    • F16L23/10F16L23/16F16L23/20
    • 將支撐物7之卡合部7a卡合於金屬製密合墊片6,將密合墊片6收容於筒狀部7b內,使筒狀部7b嵌合於連接管1a之段部5a。使另一連接管1b相對向於如此透過支撐物7保持有密合墊片6的連接管1a,以包圍凸緣2a、2b之外周的方式裝設中心環9。其次,一邊將以傾斜面3a、3b為兩側邊的梯形部分插入於溝14內,一邊關閉鏈段10a~10c而成環狀。將貫通鏈段10a之缺口部12的螺栓11鎖入於鏈段10c之螺紋孔13,增加以傾斜面3a、3b為兩側邊的梯形部分往溝14內的插入量,縮小凸緣2a、2b間之間隔,提高突起4a、4b對於密合墊片6之兩面的接觸壓力。
    • 将支撑物7之卡合部7a卡合于金属制密合垫片6,将密合垫片6收容于筒状部7b内,使筒状部7b嵌合于连接管1a之段部5a。使另一连接管1b相对向于如此透过支撑物7保持有密合垫片6的连接管1a,以包围凸缘2a、2b之外周的方式装设中心环9。其次,一边将以倾斜面3a、3b为两侧边的梯形部分插入于沟14内,一边关闭链段10a~10c而成环状。将贯通链段10a之缺口部12的螺栓11锁入于链段10c之螺纹孔13,增加以倾斜面3a、3b为两侧边的梯形部分往沟14内的插入量,缩小凸缘2a、2b间之间隔,提高突起4a、4b对于密合垫片6之两面的接触压力。
    • 6. 发明专利
    • 接頭、套管及套管製造方法
    • 接头、套管及套管制造方法
    • TW201715167A
    • 2017-05-01
    • TW106101974
    • 2013-07-29
    • 伊原科技股份有限公司IHARA SCIENCE CORPORATION
    • 深谷信二FUKAYA,SHINJI山口治YAMAGUCHI,OSAMU村川達也MURAKAWA,TATSUYA
    • F16L21/00F16L23/12
    • F16L19/10B21D41/04B21D53/16Y10T29/49446
    • 一種與管子連接的接頭,該接頭具有:第一部件;與第一部件螺紋連接的第二部件;以及套管,該套管被配置在由第一部件的內周面、第二部件的內周面和管子的外周面所形成的收納空間中。在套管中具有:包含第一端部的上升部;比上升部更靠近第二端部側的被推壓部;以及將上升部和被推壓部連接起來的中間部,該中間部包括內徑比第一端部和第二端部大的部分。在第一部件中具有與套管的第一端部抵接的錐形形狀的內周面即第一錐形內周面。在第二部件中具有推壓套管的被推壓部的至少一部分的推壓部。收納空間包括第一容許空間,該第一容許空間能夠收納套管並使上升部上升從而增大該上升部與管子的外周面之間所形成的夾角。
    • 一种与管子连接的接头,该接头具有:第一部件;与第一部件螺纹连接的第二部件;以及套管,该套管被配置在由第一部件的内周面、第二部件的内周面和管子的外周面所形成的收纳空间中。在套管中具有:包含第一端部的上升部;比上升部更靠近第二端部侧的被推压部;以及将上升部和被推压部连接起来的中间部,该中间部包括内径比第一端部和第二端部大的部分。在第一部件中具有与套管的第一端部抵接的锥形形状的内周面即第一锥形内周面。在第二部件中具有推压套管的被推压部的至少一部分的推压部。收纳空间包括第一容许空间,该第一容许空间能够收纳套管并使上升部上升从而增大该上升部与管子的外周面之间所形成的夹角。
    • 7. 发明专利
    • 接頭構造
    • 接头构造
    • TWI322244B
    • 2010-03-21
    • TW095144128
    • 2006-11-29
    • 伊原科技股份有限公司
    • 木村美良長瀨祐助安達義紀
    • F16L
    • F16L23/10F16L23/16F16L23/20
    • 將支撐物7之卡合部7a卡合於金屬製密合墊片6,將密合墊片6收容於筒狀部7b內,使筒狀部7b嵌合於連接管1a之段部5a。使另一連接管1b相對向於如此透過支撐物7保持有密合墊片6的連接管1a,以包圍凸緣2a、2b之外周的方式裝設中心環9。其次,一邊將以傾斜面3a、3b為兩側邊的梯形部分插入於溝14內,一邊關閉鏈段10a~10c而成環狀。將貫通鏈段10a之缺口部12的螺栓11鎖入於鏈段10c之螺紋孔13,增加以傾斜面3a、3b為兩側邊的梯形部分往溝14內的插入量,縮小凸緣2a、2b間之間隔,提高突起4a、4b對於密合墊片6之兩面的接觸壓力。 The fitting portion 7a of the holder 7 is fitted into the metallic sealing gasket 6 so that the sealing gasket 6 is received in the cylindrical portion 7b, and the cylindrical portion 7b is then connected with the stepped portion 5a of a connecting pipe 1a. Another connecting pipe 1b is disposed opposite to the connecting pipe 1a thus holding the sealing gasket 6 through the holder 7, and a center ring 9 is mounted to surround the outer peripheries of flanges 2a, 2b. Then, while the trapezoid portion having the inclined surfaces 3a, 3b as its two sides is inserted into the groove 14, the chain segments 10a ~ 10c are closed and form a ring. The bolt 11 which passes through a recessed portion 12 of the chain segment 10a is screwed into the threaded hole 13 of the chain segment 10c, so as to increase the amount of the trapezoid portion having the inclined surfaces 3a, 3b as its two sides inserted in the groove 14, reduce the gap between the flanges 2a, 2b and increase the contact pressure of the protuberances 4a, 4b on the sealing gasket 6. 【創作特點】 在日本專利特公平2-62756號公報所記載之構成中,藉由將一側連接管之外螺紋部深度鎖入連結螺帽之內螺紋部而實現高氣密性,但在該鎖入時,會有另一側連接管由於摩擦力而與連結螺帽一起旋轉的情形。此時,旋轉的連接管之密封凸條與該密封凸條所壓接的密合墊片之間產生摩擦,產生金屬之微細粒子(particle)而浮遊。該微細粒子成為混入流通氣體中之雜質。又,不僅產生微細粒子,更因連接管之旋轉而於面密封部產生傷痕,容易於此發生滲漏。
      即便假設在該接頭組裝完成之時未產生有微細粒子,或假設組裝完成後將微細粒子除去以供實際使用,經過長期使用之期間仍有產生微細粒子之可能性。亦即,在如上述另一側連接管隨連結螺帽之旋轉而同時旋轉之下,另一側連接管之前端部份可能在扭曲之狀態下受到保持。此時,有連接管因其恢復力而往解除扭曲之方向緩慢移動的可能性、或因隨溫度變化之膨脹或收縮而使固定於1對連接管間之力減弱時,連接管有往解除扭曲之方向移動的可能性。結果,在密封凸條和密合墊片之間產生摩擦,而有產生金屬之微細粒子而浮遊的可能性。又,除了產生此種微細粒子之外,由於上述固定於1對連接管間的力弱化,而使保持力降低,因此接頭容易滲漏。
      如此,根據日本專利特公平2-62756號公報之構成,雖然可得到接頭構造對外部的高氣密性,但仍有在接頭構造之內部中產生金屬之微細粒子而成為混入流通接頭構造內之流體的雜質之可能性。特別是,於在半導體製造裝置之氣體供給部採用該接頭構造之情況,由於密封凸條和金屬製密合墊片之摩擦而產生的微細粒子混入為雜質,成為無法製造所希望之半導體的致命問題。
      又,於世偉洛克公司之型錄中所記載的雙套圈式接頭構造中,藉由將接頭本體44之外螺紋部41深度鎖入螺帽47之內螺紋部46,使前套圈45及後套圈48密合而密封,而可實現高氣密性。另一方面,於派克漢尼汾公司之型錄中所記載的單套圈式接頭構造中,亦藉由將接頭本體之外螺紋部深度鎖入螺帽之內螺紋部,使套圈之兩端部強力地陷入連接管之外周面,而可實現高氣密性。因此,為得到良好之氣密性,需要充分的鎖入量,亦即兩螺紋部41、46間充分的鎖緊旋轉數。
      但是,在該鎖入時,同上述,位在螺帽47之內周側的連接管42因摩擦力而與螺帽47同時旋轉,因而連接管42之前端部份會有在扭曲之狀態下受到保持的情形。此時,無法確保兩螺紋部41、46間充分的鎖緊旋轉數,造成螺帽47和接頭本體44間連接之氣密性不充分,因此接頭容易滲漏。
      在無法確保兩螺紋部41、46間充分的鎖緊旋轉數時,最好將接頭本體44與螺帽47再度相對地旋轉鎖緊至達規定之鎖緊旋轉數為止,但仍有鎖緊用扳手等工具之操作空間不足的問題。亦即,在將接頭本體44之外螺紋部41鎖入螺帽47之內螺紋部46而完成接頭構造之狀態下,該接頭構造之周圍多半存在有構成管路之各種構件或裝置框體之一部分,而不具足夠大的空間。又,在半導體製造裝置等中也可能設置有多系統之管路構成,而有於各個管路中分別包含上述接頭構造之情況。在此種情況下,作業者要自由操作扳手等工具會有困難。尤其,在圖1所示構成之情況,必須使用按壓接頭本體44以防旋轉用的扳手和旋轉螺帽47用的扳手合計2根扳手,而且,為施加較大的力而有效率地確實固定,作業時最好選擇較大行程的扳手。此時,如上述當在接頭構造之周圍不具充分空間時,作業者使用2根扳手來作業會有困難,結果,可能無法得到充分的鎖緊力。又,在一度鎖緊固定之後,再鬆緩時的再鎖緊作業尤其困難。
      本發明之目的在於提供一種接頭構造,連接管不會在扭曲狀態下被保持,較之使用金屬製密合墊片之構成,可以高氣密性及高可靠性將連接管連接,且在內部中產生金屬之微細粒子之虞較小。
      本發明之特徵為,用於連接在端部具備設有環狀突起之凸緣的1對連接管之接頭構造中,具有:平坦環狀之金屬製密合墊片,在1對連接管之凸緣彼此相對向的狀態下,由各突起從兩側壓接;支撐物,具有卡合於金屬製密合墊片之至少一部份的卡合部,並被保持於一邊之連接管;中心環,在1對連接管之凸緣彼此夾著金屬製密合墊片而相對向之狀態下,可以包圍兩凸緣之外周的方式裝設;以及夾緊環,由並排成一連串而相鄰者彼此間可互相搖動地連結的多個鏈段所構成,在多個鏈段中,當位於一端的鏈段與位於另一端的鏈段相互被固定構件固定時,全部之鏈段構成環形狀,覆蓋並保持夾著金屬製密合墊片而互為相對向的凸緣之外周整體;各凸緣分別具有從其外周朝向前端部之相反側的下坡傾斜面,夾緊環之各鏈段於內周部具有分別對應於各凸緣之傾斜面的對應傾斜面。
      夾緊環在構成環形狀而覆蓋並保持夾著金屬製密合墊片而互為相對向的凸緣之外周整體的狀態下,隨著固定構件使一端之鏈段與另一端之鏈段越接近,夾緊環之各鏈段的各對應傾斜面沿各凸緣之各傾斜面滑動並往半徑方向內側移動,可將凸緣彼此間更緊密地保持。
      根據該構成,因為使用金屬製密合墊片而非橡膠製之O型環而密封,所以氣密性高,且組裝時於連接管不會產生扭曲,所以連接管之突起與金屬製密合墊片之間不會產生摩擦,而不會有產生微細粒子之虞。
      本發明之其他特徵為,連接管之連接用接頭構造中,具有:接頭本體,於前端部一體設置有本體側凸緣構件,且於內周部具有供連接管從前端部側插入的插入部;連接管側凸緣構件,配置於連接管之外周;套圈,保持於連接管之外周面上;中心環,在連接管側凸緣構件之前端部與本體側凸緣構件之前端部互相對向之狀態下,可以包圍兩凸緣構件之外周的方式裝設;以及夾緊環,由並排成一連串而相鄰者彼此間可互相搖動地連結的多個鏈段所構成,在多個鏈段中,當位於一端的鏈段與位於另一端的鏈段相互被固定構件固定時,全部之鏈段構成環形狀,覆蓋並保持前端部彼此互為相對向的兩凸緣構件之外周整體;各凸緣構件分別具有從其外周朝向前端部之相反側的下坡傾斜面,夾緊環之各鏈段於內周部具有分別對應於各凸緣構件之傾斜面的對應傾斜面,套圈跨越連接管側凸緣構件之前端部的內周與本體側凸緣構件之前端部的內周而設置。
      此時,亦可為另一連接管從接頭本體之本體側凸緣構件的相反側插入,連接管與另一連接管透過接頭本體之內部空間而連接的構成。
      本發明之另一其他特徵為,用來連接1對連接管的接頭構造中,具有:接頭本體,於兩端部分別一體設置有本體側凸緣構件,且於內周部具有供1對連接管從兩側分別插入的1對插入部;1對連接管側凸緣構件,分別配置於1對連接管之外周;1對套圈,分別保持於兩連接管之外周面上;1對中心環,分別配置於接頭本體之兩端部,在各連接管側凸緣構件之前端部與各本體側凸緣構件之前端部互為相對向的狀態下,可以包圍兩凸緣構件之外周的方式裝設;以及1對夾緊環,由並排成一連串而相鄰者彼此間可互相搖動地連結的多個鏈段所構成,在多個鏈段中,當位於一端的鏈段與位於另一端的鏈段相互被固定構件固定時,全部之鏈段構成環形狀,覆蓋並保持前端部彼此互為相對向的兩凸緣構件之外周整體;各凸緣構件分別具有從其外周朝向前端部之相反側的下坡傾斜面,夾緊環之各鏈段於內周部具有分別對應於各凸緣構件之傾斜面的對應傾斜面,套圈跨越連接管側凸緣構件之前端部的內周與本體側凸緣構件之前端部的內周而設置,本體側凸緣構件與連接管側凸緣構件之前端部彼此在互為相對向的狀態下由中心環及夾緊環所保持,藉此分別於接頭本體之兩端部構成接頭本體與連接管相連接的連接構造,1對連接管透過接頭本體之內部空間而連接。
      根據該等構成,由於其構成並非為將連接管固定並氣密密封於接頭本體而螺合螺帽與接頭本體,所以組裝時連接管不會有產生扭曲之虞。因此,不會隨經年變化或溫度、濕度之變化而有產生連接鬆緩之虞。因此,可進行高氣密性的連接。
      套圈亦可為由前套圈及後套圈所構成者,其中該前套圈具有卡合於本體側凸緣構件內周部之缺口面的第1卡合面與位於該第1卡合面之相反側的第2卡合面;該後套圈具有卡合於連接管側凸緣構件內周部之缺口面的第1卡合面與位於該第1卡合面之相反側且可與前套圈之第2卡合面緊密接合的第2卡合面。並且,亦可為隨著本體側凸緣構件和連接管側凸緣構件之前端部彼此愈互相接近,前套圈之第2卡合面與後套圈之第2卡合面愈緊密地接合的構成。更進一步,前套圈之第2卡合面及後套圈之第2卡合面,從後套圈側觀察,相對於連接管之長邊方向,亦可形成較之前套圈之第1卡合面及本體側凸緣構件之內周部的缺口面為大的角度;後套圈之第1卡合面及連接管側凸緣構件之內周部的缺口面,從後套圈側觀察,相對於連接管之長邊方向亦可形成鈍角。
      夾緊環在構成環形狀而覆蓋並保持互為相對向的兩凸緣構件之各前端部的外周整體之狀態下,隨著固定構件使一端鏈段與另一端之鏈段越接近,夾緊環之各鏈段的各對應傾斜面沿各凸緣構件之各傾斜面滑動並往半徑方向內側移動,凸緣構件之前端部彼此間更為接近,而提高以套圈密封時之氣密性。
      固定構件亦可為螺鎖在一端之鏈段與另一端之鏈段的螺栓,將螺栓鎖入越深,可使兩鏈段相互越接近。此時,螺栓頭與在鏈段中卡合於螺栓頭的鏈段,其互相之抵接部最好分別形成球面狀。
      又,固定構件亦可為由卡止部、螺紋部和螺帽所構成的環首螺栓,其中該卡止部停留在一端之鏈段與另一端之鏈段中之一邊的鏈段;該螺紋部從該卡止部延伸;該螺帽螺合於螺紋部,同時卡合於另一邊之鏈段;將螺帽愈鎖入於螺紋部,可使卡合於該螺帽的另一邊之鏈段愈接近於一邊之鏈段。此時,螺帽與另一邊之鏈段係相互之抵接部最好分別形成球面狀。
      根據本發明之接頭構造,因為連接管不會在扭曲之狀態下被保持,因而以簡單的構成可確保相對於接頭外部之高氣密性。而且,可容易兼顧相對於接頭外部之高氣密性與防止在接頭內部中產生成為雜質之微細粒子。
      更進一步,根據本發明,只要強力地鎖緊固定構件即可提高連接之可靠性。特別是,在該固定構件例如使用螺栓及螺帽或環首螺栓時,不必使用多個扳手,僅以起子或扳鉗等旋轉即可。該螺栓及螺帽或環首螺栓較之接頭本體之大小亦可為較小,且不像扳手般需要大行程。因此,在設置有多系統之管路構成而在各個管路分別包含有接頭構造的情況下,亦可具良好作業性地進行連接作業,可提高連接之可靠性。
    • 将支撑物7之卡合部7a卡合于金属制密合垫片6,将密合垫片6收容于筒状部7b内,使筒状部7b嵌合于连接管1a之段部5a。使另一连接管1b相对向于如此透过支撑物7保持有密合垫片6的连接管1a,以包围凸缘2a、2b之外周的方式装设中心环9。其次,一边将以倾斜面3a、3b为两侧边的梯形部分插入于沟14内,一边关闭链段10a~10c而成环状。将贯通链段10a之缺口部12的螺栓11锁入于链段10c之螺纹孔13,增加以倾斜面3a、3b为两侧边的梯形部分往沟14内的插入量,缩小凸缘2a、2b间之间隔,提高突起4a、4b对于密合垫片6之两面的接触压力。 The fitting portion 7a of the holder 7 is fitted into the metallic sealing gasket 6 so that the sealing gasket 6 is received in the cylindrical portion 7b, and the cylindrical portion 7b is then connected with the stepped portion 5a of a connecting pipe 1a. Another connecting pipe 1b is disposed opposite to the connecting pipe 1a thus holding the sealing gasket 6 through the holder 7, and a center ring 9 is mounted to surround the outer peripheries of flanges 2a, 2b. Then, while the trapezoid portion having the inclined surfaces 3a, 3b as its two sides is inserted into the groove 14, the chain segments 10a ~ 10c are closed and form a ring. The bolt 11 which passes through a recessed portion 12 of the chain segment 10a is screwed into the threaded hole 13 of the chain segment 10c, so as to increase the amount of the trapezoid portion having the inclined surfaces 3a, 3b as its two sides inserted in the groove 14, reduce the gap between the flanges 2a, 2b and increase the contact pressure of the protuberances 4a, 4b on the sealing gasket 6. 【创作特点】 在日本专利特公平2-62756号公报所记载之构成中,借由将一侧连接管之外螺纹部深度锁入链接螺帽之内螺纹部而实现高气密性,但在该锁入时,会有另一侧连接管由于摩擦力而与链接螺帽一起旋转的情形。此时,旋转的连接管之密封凸条与该密封凸条所压接的密合垫片之间产生摩擦,产生金属之微细粒子(particle)而浮游。该微细粒子成为混入流通气体中之杂质。又,不仅产生微细粒子,更因连接管之旋转而于面密封部产生伤痕,容易于此发生渗漏。 即便假设在该接头组装完成之时未产生有微细粒子,或假设组装完成后将微细粒子除去以供实际使用,经过长期使用之期间仍有产生微细粒子之可能性。亦即,在如上述另一侧连接管随链接螺帽之旋转而同时旋转之下,另一侧连接管之前端部份可能在扭曲之状态下受到保持。此时,有连接管因其恢复力而往解除扭曲之方向缓慢移动的可能性、或因随温度变化之膨胀或收缩而使固定于1对连接管间之力减弱时,连接管有往解除扭曲之方向移动的可能性。结果,在密封凸条和密合垫片之间产生摩擦,而有产生金属之微细粒子而浮游的可能性。又,除了产生此种微细粒子之外,由于上述固定于1对连接管间的力弱化,而使保持力降低,因此接头容易渗漏。 如此,根据日本专利特公平2-62756号公报之构成,虽然可得到接头构造对外部的高气密性,但仍有在接头构造之内部中产生金属之微细粒子而成为混入流通接头构造内之流体的杂质之可能性。特别是,于在半导体制造设备之气体供给部采用该接头构造之情况,由于密封凸条和金属制密合垫片之摩擦而产生的微细粒子混入为杂质,成为无法制造所希望之半导体的致命问题。 又,于世伟洛克公司之型录中所记载的双套圈式接头构造中,借由将接头本体44之外螺纹部41深度锁入螺帽47之内螺纹部46,使前套圈45及后套圈48密合而密封,而可实现高气密性。另一方面,于派克汉尼汾公司之型录中所记载的单套圈式接头构造中,亦借由将接头本体之外螺纹部深度锁入螺帽之内螺纹部,使套圈之两端部强力地陷入连接管之外周面,而可实现高气密性。因此,为得到良好之气密性,需要充分的锁入量,亦即两螺纹部41、46间充分的锁紧旋转数。 但是,在该锁入时,同上述,位在螺帽47之内周侧的连接管42因摩擦力而与螺帽47同时旋转,因而连接管42之前端部份会有在扭曲之状态下受到保持的情形。此时,无法确保两螺纹部41、46间充分的锁紧旋转数,造成螺帽47和接头本体44间连接之气密性不充分,因此接头容易渗漏。 在无法确保两螺纹部41、46间充分的锁紧旋转数时,最好将接头本体44与螺帽47再度相对地旋转锁紧至达规定之锁紧旋转数为止,但仍有锁紧用扳手等工具之操作空间不足的问题。亦即,在将接头本体44之外螺纹部41锁入螺帽47之内螺纹部46而完成接头构造之状态下,该接头构造之周围多半存在有构成管路之各种构件或设备框体之一部分,而不具足够大的空间。又,在半导体制造设备等中也可能设置有多系统之管路构成,而有于各个管路中分别包含上述接头构造之情况。在此种情况下,作业者要自由操作扳手等工具会有困难。尤其,在图1所示构成之情况,必须使用按压接头本体44以防旋转用的扳手和旋转螺帽47用的扳手合计2根扳手,而且,为施加较大的力而有效率地确实固定,作业时最好选择较大行程的扳手。此时,如上述当在接头构造之周围不具充分空间时,作业者使用2根扳手来作业会有困难,结果,可能无法得到充分的锁紧力。又,在一度锁紧固定之后,再松缓时的再锁紧作业尤其困难。 本发明之目的在于提供一种接头构造,连接管不会在扭曲状态下被保持,较之使用金属制密合垫片之构成,可以高气密性及高可靠性将连接管连接,且在内部中产生金属之微细粒子之虞较小。 本发明之特征为,用于连接在端部具备设有环状突起之凸缘的1对连接管之接头构造中,具有:平坦环状之金属制密合垫片,在1对连接管之凸缘彼此相对向的状态下,由各突起从两侧压接;支撑物,具有卡合于金属制密合垫片之至少一部份的卡合部,并被保持于一边之连接管;中心环,在1对连接管之凸缘彼此夹着金属制密合垫片而相对向之状态下,可以包围两凸缘之外周的方式装设;以及夹紧环,由并排成一连串而相邻者彼此间可互相摇动地链接的多个链段所构成,在多个链段中,当位于一端的链段与位于另一端的链段相互被固定构件固定时,全部之链段构成环形状,覆盖并保持夹着金属制密合垫片而互为相对向的凸缘之外周整体;各凸缘分别具有从其外周朝向前端部之相反侧的下坡倾斜面,夹紧环之各链段于内周部具有分别对应于各凸缘之倾斜面的对应倾斜面。 夹紧环在构成环形状而覆盖并保持夹着金属制密合垫片而互为相对向的凸缘之外周整体的状态下,随着固定构件使一端之链段与另一端之链段越接近,夹紧环之各链段的各对应倾斜面沿各凸缘之各倾斜面滑动并往半径方向内侧移动,可将凸缘彼此间更紧密地保持。 根据该构成,因为使用金属制密合垫片而非橡胶制之O型环而密封,所以气密性高,且组装时于连接管不会产生扭曲,所以连接管之突起与金属制密合垫片之间不会产生摩擦,而不会有产生微细粒子之虞。 本发明之其他特征为,连接管之连接用接头构造中,具有:接头本体,于前端部一体设置有本体侧凸缘构件,且于内周部具有供连接管从前端部侧插入的插入部;连接管侧凸缘构件,配置于连接管之外周;套圈,保持于连接管之外周面上;中心环,在连接管侧凸缘构件之前端部与本体侧凸缘构件之前端部互相对向之状态下,可以包围两凸缘构件之外周的方式装设;以及夹紧环,由并排成一连串而相邻者彼此间可互相摇动地链接的多个链段所构成,在多个链段中,当位于一端的链段与位于另一端的链段相互被固定构件固定时,全部之链段构成环形状,覆盖并保持前端部彼此互为相对向的两凸缘构件之外周整体;各凸缘构件分别具有从其外周朝向前端部之相反侧的下坡倾斜面,夹紧环之各链段于内周部具有分别对应于各凸缘构件之倾斜面的对应倾斜面,套圈跨越连接管侧凸缘构件之前端部的内周与本体侧凸缘构件之前端部的内周而设置。 此时,亦可为另一连接管从接头本体之本体侧凸缘构件的相反侧插入,连接管与另一连接管透过接头本体之内部空间而连接的构成。 本发明之另一其他特征为,用来连接1对连接管的接头构造中,具有:接头本体,于两端部分别一体设置有本体侧凸缘构件,且于内周部具有供1对连接管从两侧分别插入的1对插入部;1对连接管侧凸缘构件,分别配置于1对连接管之外周;1对套圈,分别保持于两连接管之外周面上;1对中心环,分别配置于接头本体之两端部,在各连接管侧凸缘构件之前端部与各本体侧凸缘构件之前端部互为相对向的状态下,可以包围两凸缘构件之外周的方式装设;以及1对夹紧环,由并排成一连串而相邻者彼此间可互相摇动地链接的多个链段所构成,在多个链段中,当位于一端的链段与位于另一端的链段相互被固定构件固定时,全部之链段构成环形状,覆盖并保持前端部彼此互为相对向的两凸缘构件之外周整体;各凸缘构件分别具有从其外周朝向前端部之相反侧的下坡倾斜面,夹紧环之各链段于内周部具有分别对应于各凸缘构件之倾斜面的对应倾斜面,套圈跨越连接管侧凸缘构件之前端部的内周与本体侧凸缘构件之前端部的内周而设置,本体侧凸缘构件与连接管侧凸缘构件之前端部彼此在互为相对向的状态下由中心环及夹紧环所保持,借此分别于接头本体之两端部构成接头本体与连接管相连接的连接构造,1对连接管透过接头本体之内部空间而连接。 根据该等构成,由于其构成并非为将连接管固定并气密密封于接头本体而螺合螺帽与接头本体,所以组装时连接管不会有产生扭曲之虞。因此,不会随经年变化或温度、湿度之变化而有产生连接松缓之虞。因此,可进行高气密性的连接。 套圈亦可为由前套圈及后套圈所构成者,其中该前套圈具有卡合于本体侧凸缘构件内周部之缺口面的第1卡合面与位于该第1卡合面之相反侧的第2卡合面;该后套圈具有卡合于连接管侧凸缘构件内周部之缺口面的第1卡合面与位于该第1卡合面之相反侧且可与前套圈之第2卡合面紧密接合的第2卡合面。并且,亦可为随着本体侧凸缘构件和连接管侧凸缘构件之前端部彼此愈互相接近,前套圈之第2卡合面与后套圈之第2卡合面愈紧密地接合的构成。更进一步,前套圈之第2卡合面及后套圈之第2卡合面,从后套圈侧观察,相对于连接管之长边方向,亦可形成较之前套圈之第1卡合面及本体侧凸缘构件之内周部的缺口面为大的角度;后套圈之第1卡合面及连接管侧凸缘构件之内周部的缺口面,从后套圈侧观察,相对于连接管之长边方向亦可形成钝角。 夹紧环在构成环形状而覆盖并保持互为相对向的两凸缘构件之各前端部的外周整体之状态下,随着固定构件使一端链段与另一端之链段越接近,夹紧环之各链段的各对应倾斜面沿各凸缘构件之各倾斜面滑动并往半径方向内侧移动,凸缘构件之前端部彼此间更为接近,而提高以套圈密封时之气密性。 固定构件亦可为螺锁在一端之链段与另一端之链段的螺栓,将螺栓锁入越深,可使两链段相互越接近。此时,螺栓头与在链段中卡合于螺栓头的链段,其互相之抵接部最好分别形成球面状。 又,固定构件亦可为由卡止部、螺纹部和螺帽所构成的环首螺栓,其中该卡止部停留在一端之链段与另一端之链段中之一边的链段;该螺纹部从该卡止部延伸;该螺帽螺合于螺纹部,同时卡合于另一边之链段;将螺帽愈锁入于螺纹部,可使卡合于该螺帽的另一边之链段愈接近于一边之链段。此时,螺帽与另一边之链段系相互之抵接部最好分别形成球面状。 根据本发明之接头构造,因为连接管不会在扭曲之状态下被保持,因而以简单的构成可确保相对于接头外部之高气密性。而且,可容易兼顾相对于接头外部之高气密性与防止在接头内部中产生成为杂质之微细粒子。 更进一步,根据本发明,只要强力地锁紧固定构件即可提高连接之可靠性。特别是,在该固定构件例如使用螺栓及螺帽或环首螺栓时,不必使用多个扳手,仅以起子或扳钳等旋转即可。该螺栓及螺帽或环首螺栓较之接头本体之大小亦可为较小,且不像扳手般需要大行程。因此,在设置有多系统之管路构成而在各个管路分别包含有接头构造的情况下,亦可具良好作业性地进行连接作业,可提高连接之可靠性。
    • 8. 发明专利
    • 結合環 COUPLING RING
    • 结合环 COUPLING RING
    • TW201118291A
    • 2011-06-01
    • TW099141259
    • 2010-11-29
    • 伊原科技股份有限公司堀場STEC股份有限公司
    • 木村美良林達也山口裕二冰見知之大屋和博
    • F16L
    • F16L23/10F16L23/18
    • 一種將凸緣部予以結合的結合環。該結合環100包括:一連串的單元構件(50a~50c),其相鄰的單元構件彼此可旋轉地被連結;以及用以連結兩端的單元構件(50a、50c)的緊固件(52),將以沿著圓周方向延伸的方式而設置的凹槽(51)外嵌于相向的凸緣部(2a、2b)的外周緣部,並且藉由所述緊固件(52)來連結所述兩端的單元構件(50a、50c)而成為環狀的狀態,藉由將所述緊固件(52)予以緊固,對傾斜面(51a)進行按壓,並利用此時所產生的軸方向的分力來將所述凸緣部(2a、2b)彼此予以壓接結合。
    • 一种将凸缘部予以结合的结合环。该结合环100包括:一连串的单元构件(50a~50c),其相邻的单元构件彼此可旋转地被链接;以及用以链接两端的单元构件(50a、50c)的紧固件(52),将以沿着圆周方向延伸的方式而设置的凹槽(51)外嵌于相向的凸缘部(2a、2b)的外周缘部,并且借由所述紧固件(52)来链接所述两端的单元构件(50a、50c)而成为环状的状态,借由将所述紧固件(52)予以紧固,对倾斜面(51a)进行按压,并利用此时所产生的轴方向的分力来将所述凸缘部(2a、2b)彼此予以压接结合。
    • 9. 发明专利
    • 接頭、套管及套管製造方法
    • 接头、套管及套管制造方法
    • TW201407073A
    • 2014-02-16
    • TW102127049
    • 2013-07-29
    • 伊原科技股份有限公司IHARA SCIENCE CORPORATION
    • 深谷信二FUKAYA, SHINJI山口治YAMAGUCHI, OSAMU村川達也MURAKAWA, TATSUYA
    • F16L21/00F16L23/12
    • F16L19/10B21D41/04B21D53/16Y10T29/49446
    • 一種與管子連接的接頭,該接頭具有:第一部件;與第一部件螺紋連接的第二部件;以及具有第一端部和第二端部的套管,該套管被配置在由第一部件的內周面、第二部件的內周面和管子的外周面所形成的收納空間中。在套管中具有:包含第一端部的上升部;比上升部更靠近第二端部側的被推壓部;以及將上升部和被推壓部連接起來的中間部,該中間部包括內徑比第一端部和第二端部大的部分。在第一部件中具有與套管的第一端部抵接的錐形形狀的內周面即第一錐形內周面。在第二部件中具有推壓套管的被推壓部的至少一部分的推壓部。收納空間包括第一容許空間,該第一容許空間能夠收納套管並使上升部上升從而增大該上升部與管子的外周面之間所形成的夾角。
    • 一种与管子连接的接头,该接头具有:第一部件;与第一部件螺纹连接的第二部件;以及具有第一端部和第二端部的套管,该套管被配置在由第一部件的内周面、第二部件的内周面和管子的外周面所形成的收纳空间中。在套管中具有:包含第一端部的上升部;比上升部更靠近第二端部侧的被推压部;以及将上升部和被推压部连接起来的中间部,该中间部包括内径比第一端部和第二端部大的部分。在第一部件中具有与套管的第一端部抵接的锥形形状的内周面即第一锥形内周面。在第二部件中具有推压套管的被推压部的至少一部分的推压部。收纳空间包括第一容许空间,该第一容许空间能够收纳套管并使上升部上升从而增大该上升部与管子的外周面之间所形成的夹角。