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    • 7. 发明授权
    • 고전도성 흑연 필름 및 생산 공정
    • KR102470752B1
    • 2022-11-28
    • KR1020197007910
    • 2017-07-25
    • C04B35/52C04B35/622C04B35/626C04B35/645H01L23/373H05K7/20H05K9/00
    • 본발명은 (a) 휴믹산(HA)을탄소전구체폴리머및 액체와혼합하여슬러리를형성하고슬러리를배향-유도응력장의영향하에서습윤필름으로형성하여고체기재상에 HA 분자를정렬하는단계; (b) 액체를제거하여전구체폴리머복합필름을형성하는단계로서, HA는 1% 내지 99%의중량분율을차지하는단계; (c) 전구체폴리머복합필름을적어도 300℃의탄화온도에서탄화시켜탄화된복합필름을수득하는단계; 및 (d) 탄화된복합필름을 1,500℃보다더 높은최종흑연화온도에서열처리하여흑연필름을수득하는단계를포함하는흑연필름을제조하는공정에관한것이다. 바람직하게, 탄소전구체폴리머는폴리이미드, 폴리아미드, 폴리옥사디아졸, 폴리벤즈옥사졸, 폴리벤조비스옥사졸, 폴리티아졸, 폴리벤조티아졸, 폴리벤조비스티아졸, 폴리(p-페닐렌비닐렌), 폴리벤즈이미다졸, 폴리벤조비스이미다졸및 이들의조합으로이루어진군으로부터선택된다.
    • 8. 发明授权
    • 전력반도체용 냉각장치
    • KR102471223B1
    • 2022-11-25
    • KR1020150159532
    • 2015-11-13
    • H01L23/473H05K7/20
    • 본발명은전력반도체패키지의조립구조를단순화하여, 전력반도체를냉각장치에삽입시, 전력반도체의손상이방지되어냉각효율의신뢰성및 성능을유지시킬수 있는전력반도체용냉각장치에관한것으로서, 외부로부터냉각수가유입되는유입헤더탱크; 일단에상기유입헤더탱크가연결되고, 다수개로이루어진상기전력반도체의사이에서상기전력반도체와면접촉하면서평행하게적층되며, 내부에상기유입헤더탱크로부터냉각수가유입되어상기전력반도체로부터발생된열을냉각시키는다수개의냉각채널부; 및상기유입헤더탱크와상호이격되어상기냉각채널부의타단에연결되고, 상기유입헤더탱크로부터유입된냉각수가배출되는배출헤더탱크;를포함하되, 상호적층된상기냉각채널부의양측면에인서트사출을통해결합되고, 다수개의상기냉각채널부사이로삽입되는전력반도체의삽입을가이드하는다수개의가이드부;를더 포함한다.