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    • 6. 发明公开
    • 포토닉 및 전자 컴포넌트들을 통합하기 위한 하이브리드 제조
    • KR1020220086477A
    • 2022-06-23
    • KR1020210157439
    • 2021-11-16
    • H01L25/18H01L27/105
    • 포토닉및 전자컴포넌트들을통합하기위한하이브리드제조를사용하여제작된마이크로전자어셈블리들은물론, 관련된디바이스들및 방법들이본 명세서에개시된다. 본명세서에서사용될때, "하이브리드제조"는상이한제조자들, 재료들, 또는제조기술들을사용하여제작된적어도 2개의 IC 구조물을본딩함으로써마이크로전자어셈블리를제작하는것을지칭한다. 본딩전에, 적어도하나의 IC 구조물은광 도파관들, 전기광학변조기들, 및모놀리식통합된렌즈들과같은포토닉컴포넌트들을포함할수 있고, 적어도하나는전기전도성상호접속부들, 트랜지스터들및 저항기들과같은전자컴포넌트들을포함할수 있다. 하나이상의추가의전자및/또는포토닉컴포넌트가본딩후에이러한 IC 구조물들중 하나이상에제공될수 있다. 예를들어, 전기전도성비아로서구현된상호접속부또는유전체비아로서구현된도파관은본딩된 IC 구조물들중 하나이상을통해연장되도록본딩후에제공될수 있다.