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1. 发明授权

KR102483210B1 XAI를 활용한 제조설비 이상발생확률 예측에 의한, 설비 건강지수 도출 시스템 및 설비 건강지수 도출 방법 有权
公开(公告)号：KR102483210B1
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：KR1020210105154
申请日：2021-08-10
IPC分类号： G05B23/02 , G05B19/418 , G06Q10/04
摘要： XAI를활용한제조설비이상발생확률예측에의한, 설비건강지수도출시스템및 설비건강지수도출방법이개시된다. 본발명의일실시예에따른, XAI를활용한제조설비이상발생확률예측에의한설비건강지수도출시스템은, 설비를구성하는복수의자동화시스템에부착된센서로부터수집되는센서데이터와연관되어설비건강지수를산출하는이상감지분석부; 및설명가능한 AI(eXplainable Artificial Intelligence, XAI)를사용하여, 상기설비건강지수의산출시요구되는, 상기복수의자동화시스템각각이 '정상상태로분류될확률'을연산하는설비이상진단및 시각화송출부를포함한다.

2. 发明授权

KR102482216B1 공정 제어 장치 및 방법 有权
公开(公告)号：KR102482216B1
公开(公告)日：2022-12-28
申请号：KR1020220114474
申请日：2022-09-08
IPC分类号： G05B19/418 , H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 공정제어장치및 방법이제공된다. 공정제어장치는프로세서, 및상기프로세서에의하여실행되는복수의인스트럭션을저장하는메모리를포함하되, 상기복수의인스트럭션은, 기판지지부에안착되는기판의안착지점이누적되어생성된안착지점데이터를기초로상기기판지지부의안착중심점에대한상기기판의안착지점의이탈경향성을판단하는인스트럭션과, 상기판단된이탈경향성에따른경보수준을판단하는인스트럭션, 및상기판단된경보수준에따른후처리를수행하는인스트럭션을포함하고, 상기안착지점데이터는시간에대한안착지점의변화를포함한다.

3. 发明授权

KR102482316B1 기판 라우팅 및 스루풋 모델링을 위한 그래픽 처리 유닛의 사용 有权
公开(公告)号：KR102482316B1
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：KR1020217028894
申请日：2019-06-21
IPC分类号： G06T1/20 , G05B19/418
摘要： 통합기판처리시스템에서기판처리시퀀스를스케줄링하기위한방법들, 시스템들및 비-일시적컴퓨터판독가능매체가본 명세서에개시된다. 처리디바이스는반도체기판들의묶음에대한처리모델을생성한다. 처리모델은통합기판처리시스템의각각의처리챔버내의각각의반도체기판에대해대응하는시작시간을정의한다. 하나이상의그래픽처리유닛(GPU)들은처리모델에기초하여병렬입력들을생성하고, 반도체기판들의묶음에대한병렬출력들을생성하기위해병렬입력들을하나이상의 GPU들의복수의코어들에의해동시에처리한다. 병렬입력들각각은대응하는병렬출력을생성하기위해하나이상의 GPU들의복수의코어들의개별코어상에서처리된다. 처리디바이스는병렬출력들에기초하여통합기판처리시스템에서반도체기판들의묶음이처리되게한다.

4. 发明授权

KR102479807B1 프로세스 개발 가시화 툴 有权
公开(公告)号：KR102479807B1
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：KR1020217022335
申请日：2019-12-19
IPC分类号： G05B19/418 , H01L21/67 , G06F16/248
摘要： 프로세스개발가시화툴은제조프로세스와연관된파라미터의제1 가시영상을생성하고, 제조프로세스의프로세스변수와연관된 GUI 제어엘리먼트를제공하며, 여기서, GUI 제어엘리먼트는프로세스변수에대한제1 값과연관된제1 세팅을갖는다. 프로세스개발툴은제1 세팅으로부터제2 세팅으로 GUI 제어엘리먼트를조정하기위한사용자입력을수신하고, 제2 세팅에기반하여프로세스변수에대한제2 값을결정하며, 프로세스변수에대한제2 값과연관되는, 파라미터에대한제2세트의값들을결정한다. 그런다음, 프로세스개발툴은파라미터의제2 가시영상을생성하고, 여기서, 제2 가시영상은프로세스변수에대한제2 값과연관되는, 파라미터에대한제2 세트의값들을표현한다.

5. 发明授权

KR102476974B1 레시피 작성 방법, 반도체 장치의 제조 방법, 기판 처리 장치 및 레시피 작성 프로그램 有权
公开(公告)号：KR102476974B1
公开(公告)日：2022-12-14
申请号：KR1020217029991
申请日：2019-03-20
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67 , G05B19/418 , G05B19/409 , C23C16/52
摘要： 기판처리장치의레시피에포함되는파라미터를선택하기위한파라미터의일람을표시하는선택화면에어리어와, 파라미터를편집하기위한파라미터편집화면에어리어를구비한레시피편집화면을표시부에표시시켜서, 선택화면에어리어에표시된파라미터의일람으로부터, 편집대상으로하는파라미터를선택하는선택조작을접수한다. 제조공정에포함되는스텝의각 스텝의시각에있어서변화하는타이밍차트를파라미터편집화면에어리어에편집가능하게표시하고, 타이밍차트를편집하는조작지시를접수하고, 조작지시에따라서타이밍차트의표시를변화시켜서, 편집대상의파라미터를편집한다.

6. 发明授权

KR102476392B1 스마트공장의 운영 분석 시스템 및 방법 有权
公开(公告)号：KR102476392B1
公开(公告)日：2022-12-12
申请号：KR1020190166315
申请日：2019-12-13
IPC分类号： G06Q50/04 , G05B19/418 , G06N3/08 , G05B23/02
摘要： 본발명은스마트공장의운영분석시스템에관한것으로, 연동되어동작하는복수개의현장센서를통해수집되는센싱데이터를저장하고, 저장된센싱데이터를이용하여공장운영분석대상을분석한후 분석결과에따른설비제어를수행하는스마트공장에서의운영분석시스템에있어서, 운영장치에구비되고, 공장운영분석대상에필요한센싱데이터목록을포함하는데이터셋을생성하고, 생성된데이터셀을제공하는분석대상정보제공부; 및분석대상정보제공부로부터데이터셋을모듈데이터베이스에저장하고, 모듈데이터베이스에저장된데이터셋을기준으로센싱하는환경센싱데이터와장비센싱데이터를선택적으로선정하고, 선정된센싱데이터를신경망네트워크를이용하여분석하는 IoT 스마트센서모듈을포함한다.

7. 发明授权

KR102475542B1 이기종 필드버스용 게이트웨이 시스템 有权
公开(公告)号：KR102475542B1
公开(公告)日：2022-12-07
申请号：KR1020180032480
申请日：2018-03-21
IPC分类号： H04L12/40 , H04L12/407 , H04L12/66 , G05B19/418
摘要： 이기종필드버스용게이트웨이시스템이개시된다. 본발명의시스템은, 마스터인버터및 복수의슬레이브인버터에동일한모니터링또는제어명령을전송하는것임을알리는데이터를전송하는제어장치와, 상기데이터로부터상기마스터인버터및 상기복수의슬레이브인버터에동일한모니터링또는제어명령을전송하는것임을확인하는경우, 해당명령에대한응답을상기제어장치로전송하고, 상기복수의슬레이브에각각해당명령을전송하여이에대한응답을수신하여상기제어장치로전송하는마스터인버터를포함한다.

8. 发明授权

KR102472817B1 시공 관리 장치, 시공 관리 시스템 有权
公开(公告)号：KR102472817B1
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：KR1020207006525
申请日：2019-02-20
IPC分类号： G06Q50/08 , G05B19/418 , G06Q10/06
摘要： 고정밀도의작업실적데이터를출력할수 있어, 관리업무를삭감할수 있는기술을제공한다. 시공관리장치는, 적재기계의동작내용을나타내는조작정보와, 운반차량으로부터송신되는위치정보를수신하는수신부와, 위치정보에기초하여위치이력을기억부에기억시키고, 조작정보에기초하여작업에어리어내에서행해지는적재기계의작업내용과당해작업을행한시간정보를대응시킨조작이력을기억부에기억시키는등록부와, 운반차량이언제작업에어리어에출입하였는지를나타내는운반이력을작성하고, 운반이력및 조작이력에기초하여, 적재기계가운반차량에대해적재작업을행한시간및 적재작업을행한작업에어리어를나타내는적재이력을작성하는이력작성부와, 운반이력과적재이력에기초하여어느작업에어리어로부터어느작업에어리어로적하를반송하였는지의작업실적데이터를출력하는작업실적데이터작성부를갖는다.

9. 发明授权

KR102466301B1 제품-작업자 맞춤형 스마트 팩토리 플랫폼 운용 방법 및 운용 서버 有权
公开(公告)号：KR102466301B1
公开(公告)日：2022-11-16
申请号：KR1020220014035
申请日：2022-02-03
IPC分类号： G06Q50/04 , G06Q10/06 , G06Q10/08 , G05B19/418
摘要： 본발명의일 실시예에따른제품-작업자맞춤형스마트팩토리플랫폼운용방법은 (a) 서버가제1 내지제N(N은 2 이상의정수) 제품중 하나이상의제품생산에연계되는하나이상의기반정보를관리자로부터수신하여등록하는단계, (b) 상기서버가상기제1 내지제N 제품중 하나이상의제품생산을담당할작업자에대한작업정보를포함하는작업지시서를관리자로부터수신하여등록하는단계및 (c) 상기서버가상기작업자로부터상기작업지시서에대한작업내역현황을수신하여등록하는단계를포함한다.

10. 发明授权

KR102464114B1 배터리 장비를 모니터링하기 위한 모니터링 서버 및 이를 포함하는 배터리 장비 모니터링 시스템 有权
公开(公告)号：KR102464114B1
公开(公告)日：2022-11-07
申请号：KR1020210062556
申请日：2021-05-14
IPC分类号： G05B23/02 , G06Q50/04 , G05B19/418
摘要： 배터리에대한공정을수행하는배터리장비의모니터링시스템이개시된다. 모니터링시스템은, 배터리들각각과연결되는복수의채널들을포함하고, 복수의채널들을통해배터리들에대한공정을수행하도록구성되는배터리장비, 배터리장비로부터배터리장비의상태를나타내는데이터를포함하는상태데이터를수신하고, 상태데이터를출력하도록구성되는컨트롤러및 컨트롤러로부터출력된상태데이터를수신하고, 상태데이터와미리저장된기준상태데이터를비교하여, 배터리장비들의복수의채널들각각에대한이상여부를판단하고, 이상여부에따라알림신호를출력하도록구성되는모니터링서버를포함한다.

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